-
公开(公告)号：CN102414613A
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201080018918.9
申请日：2010-04-20
申请人： 富士机械制造株式会社
IPC分类号： G03B17/17 , B23B25/06 , B23Q17/20 , B23Q17/24 , G01K5/48 , G03B15/00 , G03B17/02 , H04N5/225
CPC分类号： B23B25/06 , B23Q11/0003 , B23Q17/09 , B23Q17/0909 , B23Q17/0928 , B23Q17/0985 , B23Q17/20 , B23Q17/249 , B23Q17/2495 , G01K5/50 , G01K2217/00 , G01N21/86 , H04N7/18 , Y10T83/162
摘要： 提供一种能高精度地检测切削工具对工件的位移量并高精度地校正加工位置的装置及其方法。其中，转塔量规(46)由殷钢体(47)和热膨胀率不同的量规主体(48)构成。在一眼观看到量规主体(48)的A点和殷钢体的尖端(47A)的状态下，在初始设定时及校准周期(CS)时进行拍摄，并比较各个图像数据，检测量规主体(48)的温度。另外，由图像数据得到CS时的量规主体(48)的A点及B点的长度。由于考虑到将该实际长度与基于CS时的量规主体(48)的温度的理论上的A点及B点的长度相比较，所以能正确地检测出滚珠丝杠的热位移量，并能高精度地校正切削工具的加工位置的位移，提高工件的加工精度。
-
公开(公告)号：CN102738039B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201210090367.8
申请日：2012-03-30
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/67 , G01K11/00 , H01J37/244 , H01J37/32
CPC分类号： H01L21/67248 , G01K5/50 , G01K11/00 , H01J37/32972
摘要： 提供一种测量装置以及等离子体处理装置，提高波长分辨率而扩大可测量的被检体的范围。该测量装置(150)的特征在于，具备：衍射光栅(104)，其将厚度D的晶圆W的表面上反射的光以及在晶圆W的背面反射的光作为入射光而进行分光；光电二极管阵列(108)，阵列状地设置多个光电二极管(108a)来得到该电二极管阵列(108)，所述光电二极管(108a)接收由衍射光栅(104)分光得到的光并检测接收到的光的功率；以及压电元件(200)，其安装于光电二极管阵列(108)，将所输入的电压变换为力，其中，在由于压电元件(200)变换得到的力而使光电二极管阵列(108)沿阵列方向发生移动d/m位移时，光电二极管阵列(108)检测接收到的光的功率，m是2以上的整数，d是各光电二极管(108a)的阵列方向的宽度。
-
公开(公告)号：CN101545561B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN200910130539.8
申请日：2009-03-27
申请人： 株式会社不二工机
CPC分类号： G01K5/50 , F25B41/062 , G01K1/18
摘要： 本发明的膨胀阀用感温筒能通过减缓膨胀阀的温度反应速度来防止振荡。在感温筒(1)中，作为传热延迟部件(3)的陶瓷烧结材利用设在两端部(13，13)的固定用弹簧(4，4)以与筒状部件(2)不直接接触的形态固定。与陶瓷烧结材和筒状部件直接接触的情况相比，可减缓热量从筒状部件(2)向陶瓷烧结材的传递。而且，由于陶瓷烧结材利用固定用弹簧(4，4)以从筒状部件(2)浮起的状态固定，因此无论周围的哪个部位都不与筒状部件(2)直接接触，在将感温筒(1)朝对方配管上安装时，无论安装成感温筒(1)的哪个外表面接触，温度都不会从对方配管直接通过筒状部件传递，可减缓膨胀阀对于温度上升的反应速度。
-
公开(公告)号：CN101527274A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200910118232.6
申请日：2009-03-03
申请人： 佳能安内华股份有限公司
发明人： 山本武
IPC分类号： H01L21/66 , G01K7/02 , H01L21/00 , H01L21/02 , H01L21/324
摘要： 本发明涉及一种基板表面温度测量方法，使用该方法的基板处理设备，和半导体器件制造方法。使用观测基板(106)的边缘表面的观测器(115a，115b)测量基板(106)的膨胀量。使用基板(106)的膨胀量计算基板(106)的中间平面的温度。使用热通量传感器(110)测量基板(106)中的热通量。从测量的基板(106)的热通量和基板(106)的热阻，计算基板(106)的中间平面与上表面之间的温度差。使用所述温度差和基板(106)的中间平面的温度，获得基板(106)的表面的温度。
-
公开(公告)号：CN104684842B
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201380049967.2
申请日：2013-10-11
申请人： 梅赛尼斯新西兰有限公司
发明人： 彼得·坎贝尔·泰特
CPC分类号： G01K3/04 , B01J8/001 , B01J8/062 , B01J19/0013 , B01J2208/00097 , B01J2208/00504 , B01J2219/00195 , B01J2219/00213 , B01J2219/00225 , B01J2219/00231 , C01B3/384 , C01B2203/0233 , C01B2203/061 , C01B2203/0811 , C01B2203/1058 , C01B2203/1241 , C01B2203/1619 , C01B2203/169 , C01B2203/1695 , G01K5/50 , G01K5/56 , G01K2213/00
摘要： 本发明涉及测量重整器内的实时温度条件的方法和装置。然后将数据用于过程控制优化、过热保护、以及改善蠕变破坏和疲劳寿命预测。
-
公开(公告)号：CN104684842A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201380049967.2
申请日：2013-10-11
申请人： 梅赛尼斯新西兰有限公司
发明人： 彼得·坎贝尔·泰特
CPC分类号： G01K3/04 , B01J8/001 , B01J8/062 , B01J19/0013 , B01J2208/00097 , B01J2208/00504 , B01J2219/00195 , B01J2219/00213 , B01J2219/00225 , B01J2219/00231 , C01B3/384 , C01B2203/0233 , C01B2203/061 , C01B2203/0811 , C01B2203/1058 , C01B2203/1241 , C01B2203/1619 , C01B2203/169 , C01B2203/1695 , G01K5/50 , G01K5/56 , G01K2213/00
摘要： 本发明涉及测量重整器内的实时温度条件的方法和装置。然后将数据用于过程控制优化、过热保护、以及改善蠕变破坏和疲劳寿命预测。
-
公开(公告)号：CN101545561A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200910130539.8
申请日：2009-03-27
申请人： 株式会社不二工机
CPC分类号： G01K5/50 , F25B41/062 , G01K1/18
摘要： 本发明的膨胀阀用感温筒能通过减缓膨胀阀的温度反应速度来防止振荡。在感温筒(1)中，作为传热延迟部件(3)的陶瓷烧结材利用设在两端部(13，13)的固定用弹簧(4，4)以与筒状部件(2)不直接接触的形态固定。与陶瓷烧结材和筒状部件直接接触的情况相比，可减缓热量从筒状部件(2)向陶瓷烧结材的传递。而且，由于陶瓷烧结材利用固定用弹簧(4，4)以从筒状部件(2)浮起的状态固定，因此无论周围的哪个部位都不与筒状部件(2)直接接触，在将感温筒(1)朝对方配管上安装时，无论安装成感温筒(1)的哪个外表面接触，温度都不会从对方配管直接通过筒状部件传递，可减缓膨胀阀对于温度上升的反应速度。
-
公开(公告)号：CN105102672B
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201480019564.8
申请日：2014-03-11
申请人： 株式会社神户制钢所
发明人： 藤井博文
CPC分类号： G01K5/50 , C23C14/52 , C23C14/541 , C23C16/52 , G01N25/00
摘要： 本发明提供一种能够准确地计测被收容在腔室的内部并被加热的工件的实际温度的处理装置(1)以及方法。处理装置(1)具备收容工件(W)的腔室(2)、被设置在腔室(2)的内部的测量件(6)以及计测部(8)。测量件(6)在腔室(2)的内部的温度的影响下热伸缩。计测部(8)通过计测测量件(6)的热伸缩量来计测工件(W)的实际温度。
-
公开(公告)号：CN105102672A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480019564.8
申请日：2014-03-11
申请人： 株式会社神户制钢所
发明人： 藤井博文
CPC分类号： G01K5/50 , C23C14/52 , C23C14/541 , C23C16/52 , G01N25/00
摘要： 本发明提供一种能够准确地计测被收容在腔室的内部并被加热的工件的实际温度的处理装置(1)以及方法。处理装置(1)具备收容工件(W)的腔室(2)、被设置在腔室(2)的内部的测量件(6)以及计测部(8)。测量件(6)在腔室(2)的内部的温度的影响下热伸缩。计测部(8)通过计测测量件(6)的热伸缩量来计测工件(W)的实际温度。
-
公开(公告)号：CN102414613B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201080018918.9
申请日：2010-04-20
申请人： 富士机械制造株式会社
IPC分类号： G03B17/17 , B23B25/06 , B23Q17/20 , B23Q17/24 , G01K5/48 , G03B15/00 , G03B17/02 , H04N5/225
CPC分类号： B23B25/06 , B23Q11/0003 , B23Q17/09 , B23Q17/0909 , B23Q17/0928 , B23Q17/0985 , B23Q17/20 , B23Q17/249 , B23Q17/2495 , G01K5/50 , G01K2217/00 , G01N21/86 , H04N7/18 , Y10T83/162
摘要： 本发明提供一种能高精度地检测切削工具对工件的位移量并高精度地校正加工位置的装置及其方法。其中，转塔量规(46)由殷钢体(47)和热膨胀率不同的量规主体(48)构成。在一眼观看到量规主体(48)的A点和殷钢体的尖端(47A)的状态下，在初始设定时及校准周期(CS)时进行拍摄，并比较各个图像数据，检测量规主体(48)的温度。另外，由图像数据得到CS时的量规主体(48)的A点及B点的长度。由于考虑到将该实际长度与基于CS时的量规主体(48)的温度的理论上的A点及B点的长度相比较，所以能正确地检测出滚珠丝杠的热位移量，并能高精度地校正切削工具的加工位置的位移，提高工件的加工精度。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
11 条记录 (耗时 0.012 秒)