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公开(公告)号：CN108474941B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201680079469.6
申请日：2016-12-22
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 致动器装置(1)包括：支撑部(5)；可动部(6)；以可动部(6)可在第二轴线(X2)周围摇动的方式将可动部(6)在第二轴线(X2)上与支撑部(5)连结的连结部(8)；设置于连结部(8)上的第一配线(21)；和设置于支撑部(5)上的第二配线(31)。构成第一配线(21)的第一金属材料与构成第二配线(31)的第二金属材料相比，刚性高。第二配线(31)与第一连接部分(25)中位于支撑部(5)上的第一连接部分(25)中的支撑部(5)的相反侧的表面(25a)连接。
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公开(公告)号：CN110799890A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201880042541.7
申请日：2018-06-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 致动器装置具备：支撑部；可动部；第一连结部，其以可动部能够在第一轴线周围摇动的方式在第一轴线上将可动部连结于支撑部；以及第一配线，其被设置于第一连结部上。第一配线具有由维氏硬度为50HV以上的金属材料构成的第一主体部。第一主体部包括面对第一连结部的第一表面和第一表面以外的第二表面。第二表面在垂直于第一配线的延伸方向的截面上具有曲率在整个第二表面上连续的形状。
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公开(公告)号：CN118466008A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410169634.3
申请日：2024-02-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 在镜装置中，第一梁部具有朝向第一方向的一侧延伸的一对第一部分、和在第一部分之间延伸的第一延伸部分。第二梁部具有朝向第一方向的另一侧延伸的一对第二部分、和在第二部分之间延伸的第二延伸部分。第三梁部具有朝向第二方向的一侧延伸的一对第三部分。第四梁部具有朝向第二方向的另一侧延伸的一对第四部分。梁部不具有形成于第三部分之间及第四部分之间，且以从第三方向观察时与第二轴线交叉的方式延伸的部分。第一～第四部分为互不相同的部分。
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公开(公告)号：CN112567284B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN201980052975.X
申请日：2019-08-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Inventor： 铃木大几
Abstract: 本发明的致动器装置具备：支撑部；第一可动部；框状的第二可动部，其包围第一可动部；第一连结部，其以第一可动部能够绕第一轴线摆动的方式，将第一可动部和第二可动部互相连结；第二连结部，其通过使第二可动部摆动从而以第一可动部能够绕第一轴线摆动的方式，将第二可动部和支撑部互相连结；以及驱动部，其使驱动力作用于第二可动部。关于绕第一轴线的第一可动部和第二可动部的振动的两个固有角频率ω1、ω2满足以下的式(1)和式(2)中的一个，而不满足另一个，其中，ω1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112074766B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN201980030165.4
申请日：2019-05-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光学装置具备：支撑部；具有光学面的第一可动部；包围第一可动部的框状的第二可动部；互相连结第一可动部与第二可动部的第一连结部；互相连结第二可动部与支撑部的第二连结部；以及具有软化特性，当第一可动部在第一轴线周围摇动时应力进行作用的软化构件。软化构件在从垂直于光学面的方向观察的情况下，配置于第二可动部中在驱动元件与第一连结部之间延伸的部分，且未与外部电连接。
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公开(公告)号：CN110998408B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN201880051445.9
申请日：2018-08-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的镜装置具备支承部、可动部(4)、以及配置于第一轴线(X)上的可动部(4)的两侧的一对扭力杆(7、8)。可动部(4)具有连接有一对扭力杆(7、8)的框状的框架(42)和配置于框架(42)的内侧的镜部(41)。镜部(41)在位于与第二轴线(Y)平行的方向上的镜部(41)的两侧的一对连接区域(40a、40b)的各个与框架(42)连接。镜部(41)和框架(42)之间的区域中一对连接区域(40a、40b)以外的区域为空间。在从垂直于第一轴线(X)及第二轴线(Y)的方向观察的情况下，镜部(41)的外缘和框架(42)的内缘在一对连接区域(40a、40b)的各个以曲率连续的方式连接。
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公开(公告)号：CN115657297A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211330346.9
申请日：2018-08-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够高精度地形成梁部的光学器件的制造方法。本发明的光学器件的制造方法包括：第1步骤，准备具有与基底、可动部和弹性支承部对应的部分的半导体基板(100)；第2步骤，在第1半导体层(101)的与绝缘层(103)相反侧的表面中与基底对应的区域形成第1抗蚀层(104)；第3步骤，通过将第1抗蚀层(104)用作掩模对第1半导体层进行蚀刻直至厚度方向上的中间部，而在第1半导体层形成凹部(105)；第4步骤，在凹部(105)的底面(105a)中与梁部对应的区域、凹部的侧面(105b)和第1半导体层的与绝缘层(103)相反侧的表面(101a)形成第2抗蚀层(106)；第5步骤，通过将第2抗蚀层(106)用作掩模对第1半导体层(101)进行蚀刻直至绝缘层(103)，而形成梁部(224)。
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公开(公告)号：CN110809729B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN201880040391.6
申请日：2018-08-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供能够实现可靠性的提高和成本降低的光学组件和光学组件的制造方法。光学组件(100)包括具有可动反射镜部(10)的反射镜单元(40)、产生作用于上述可动反射镜部的磁场的磁体部(50)和收纳上述磁体部的封装件(60)。上述磁体部具有包含力沿第1方向作用的第1磁体(51)和力沿第2方向作用的第2磁体(52、53)的海尔贝克结构。上述封装件(60)具有底壁部(61)、侧壁部(62)和限制上述第2磁体向上述第2方向的移动的限制部(63)。上述可动反射镜部配置在由磁体部的上表面(50a)和上述限制部(63)形成的空间中。
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公开(公告)号：CN114930223A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202080093051.7
申请日：2020-10-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明提供光学单元，其包括：基体，其由金属构成，具有主面和所述主面的相反侧的背面；光学面，其设置于所述主面；和振动元件，其设置于所述主面或所述背面，所述基体包括：支承部；从所述支承部延伸的第一延伸部和第二延伸部；配置在所述第一延伸部与所述第二延伸部之间的可动部；和将所述第一延伸部与所述可动部连结的第一连结部以及将所述第二延伸部与所述可动部连结的第二连结部，所述振动元件设置于所述支承部，通过使所述支承部振动而在所述第一连结部和所述第二连结部引发扭转振动来使所述可动部摆动，所述光学面在所述可动部中设置于所述主面。
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