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公开(公告)号：CN100420575C
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200510138117.7
申请日：2005-12-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种可以实现设备的小型化，并可以有效地防止水分等进入到间隙内的静电驱动器等。其具备：具有固定电极的第1基板、具有与固定电极隔开距离地相对并利用在与固定电极之间产生的静电力动作的可动电极的第2基板的第2基板、堵塞密封部的第3基板。在第1基板或第2基板的一方上设置有贯通槽孔，该贯通槽孔用于将在固定电极和可动电极之间形成的空间与外界气体遮断的密封材形成在需要范围内，从贯通槽孔封入密封材而形成密封部，在第3基板的堵塞密封部的面上形成有基于密封部的大小的密封材避让槽，以使从贯通槽孔溢出的上述密封材和第3基板不接触。
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公开(公告)号：CN1757514A
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：CN200510107535.X
申请日：2005-09-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1623 , B41J2/14314 , B41J2/16 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14403 , B41J2002/14411
Abstract: 一种液滴喷头，具备：形成了喷出液滴的多个喷嘴孔(16)的喷嘴基板(5)、在底面形成有振动板(11)并形成了成为存留有液滴的喷出室(12)的凹部(12a)的空腔基板(3)、与振动板(11)相面对并形成了驱动振动板(11)的独立电极(7)的电极基板(2)、具有成为向喷出室(12)供给液滴的公共液滴室(13)的凹部(13a)、用于从公共液滴室(13)向喷出室(12)移送液滴的贯穿孔(14)、从喷出室(12)向喷嘴孔(16)移送液滴的喷嘴连通孔(15)的贮液室基板(4)，在贮液室基板(4)上，在一方的面上接合有喷嘴基板(5)，在另一方的面上接合有空腔基板(3)。
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公开(公告)号：CN105738997B
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201510966938.3
申请日：2015-12-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供能够抑制干涉滤波器的分辨率降低的光学滤波器装置、光学模块、以及电子设备。光学滤波器装置具备：波长可变干涉滤波器(5)，具备固定基板(51)、与固定基板相对且具有相对于固定基板进退的可动部(521)的可动基板(52)、设置在固定基板上的固定反射膜(54)、及设置在可动基板的可动部且与固定反射膜相对的可动反射膜(54)；固定波长可变干涉滤波器的底座(62)；以及固定材料(64)，将各基板(51、52)中的至少一方，在沿着基板厚度方向的一面侧的至少一个位置处固定在底座，其中，以通过固定材料固定的固定位置作为固定端的波长可变干涉滤波器的一阶共振频率，在可动部的一阶共振频率的一半以下。
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公开(公告)号：CN102902059B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201210251682.4
申请日：2012-07-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J3/0291 , G01J3/0208 , G01J3/0264 , G01J3/027 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/2823 , G01J3/32 , G01J3/44 , G01J3/51 , G02B5/284 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器、滤光器模块以及光分析装置。该波长可变干涉滤波器具备：固定基板；可动基板，与固定基板相对；第一反射膜，形成于固定基板的与可动基板相对的面；第二反射膜，设置于可动基板，并与第一反射膜有间隙地对置；第一电极，设置于固定基板的与可动基板相对的面；第二电极，设置于可动基板，并与第一电极相对；接合部，设置于固定基板和可动基板互相对置的面，接合固定基板与可动基板；以及槽部，设置于固定基板和可动基板彼此相对的面中的至少一个面，其中，形成第一反射膜与第二反射膜之间的间隙的空间与外部经由槽部连通。
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公开(公告)号：CN102798972B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201210144872.6
申请日：2012-05-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J1/04 , G01J1/0488 , G01J3/26 , G01J2003/1247 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供了一种滤光器、滤光器模块以及光分析装置，该滤光器具备：固定基板；可动基板，与固定基板相对；第一反射膜，设置在固定基板的与可动基板相对的面上；第二反射膜，设置在可动基板上，隔着间隙与第一反射膜相对；第一电极，覆盖所述第一反射膜，延伸至第一反射膜的外周的外侧的范围而形成；以及第二电极，设置在可动基板的与固定基板相对的面上，并与第一电极的一部分相对，其中，第一电极由透光性材料形成，第一电极与第二反射膜电连接，处于等电位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105738997A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201510966938.3
申请日：2015-12-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供能够抑制干涉滤波器的分辨率降低的光学滤波器装置、光学模块、以及电子设备。光学滤波器装置具备：波长可变干涉滤波器(5)，具备固定基板(51)、与固定基板相对且具有相对于固定基板进退的可动部(521)的可动基板(52)、设置在固定基板上的固定反射膜(54)、及设置在可动基板的可动部且与固定反射膜相对的可动反射膜(54)；固定波长可变干涉滤波器的底座(62)；以及固定材料(64)，将各基板(51、52)中的至少一方，在沿着基板厚度方向的一面侧的至少一个位置处固定在底座，其中，以通过固定材料固定的固定位置作为固定端的波长可变干涉滤波器的一阶共振频率，在可动部的一阶共振频率的一半以下。
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公开(公告)号：CN104076504A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410103625.0
申请日：2014-03-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B5/28 , G01J3/26 , G01J3/51 , G01N21/31 , G01N21/3504 , G01N21/65 , G01N2021/1704 , G01N2021/317 , G01N2021/3185
Abstract: 本发明提供了光学滤波器装置、光模块及电子设备，该光学滤波器装置具备：波长可变干涉滤波器，具备设置有各电极垫（各电极垫563P、564P、551P、541P）的可动基板；底部基板，与可动基板相对，载置有所述波长可变干涉滤波器；固定部件7，配置于可动基板和底部基板之间，将这些基板固定，在俯视滤波器时，固定部件7配置于与上述各电极垫重叠的位置。
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公开(公告)号：CN103245998A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310045953.5
申请日：2013-02-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B5/284 , G01J3/2823 , G01J3/42 , G01J3/44 , G01J3/50 , G01J3/51 , G01J2003/1234 , G01J2003/2826 , G01N21/65 , G02B26/001 , Y10T29/49904
Abstract: 本发明提供了一种滤光器器件及滤光器器件的制造方法，该滤光器器件具备干涉滤波器和壳体。干涉滤波器具备固定基板、与固定基板接合的可动基板、设置在固定基板上的固定反射膜以及设置在可动基板上且隔着反射膜间间隙与所述固定反射膜相对的可动反射膜。壳体具备能配置干涉滤波器的底部基板。在可动基板与底部基板之间配置有固定部件。在从基板厚度方向俯视观察可动基板的情况下，可动基板在除了设置有所述可动反射膜的区域以外的一处通过固定部件被固定在底部基板上。
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公开(公告)号：CN102540311A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110406763.2
申请日：2011-12-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种可变波长干涉滤波器、光模块以及光分析装置。该可变波长干涉滤波器具备：第一电极，其设在第一基板上；第二电极，其设在具有可动部的第二基板上，并与第一电极对置；第一电极线，其被设置成从第一电极向第一基板的外周边缘延伸出；第二电极线，其被设置成从第二电极向第二基板的外周边缘延伸出；第一对置电极线，其被设置成与第一电极线相对且与第二电极绝缘；以及第一导通部，其导通第一电极线和第一对置电极线，其中，第二电极线和第一对置电极线在从第二基板的厚度方向看的俯视图中，被形成为沿通过以可动部的中心点为中心的假想圆的中心点、并以等角度间隔分割假想圆的方向延伸出。
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公开(公告)号：CN102135662A
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN201110025457.4
申请日：2011-01-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松野靖史
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/51 , G02B26/001
Abstract: 本发明涉及光滤波器、特性测量方法、分析设备以及光设备，该光滤波器具备：第一基板；与所述第一基板对置的第二基板；设置于所述第一基板的第一反射膜；设置于所述第二基板且与所述第一反射膜对置的第二反射膜；设置于所述第一基板的第一电极；设置于所述第二基板且与所述第一电极对置的第二电极；及电压控制部，其控制所述第一电极与所述第二电极之间的电位差，当通过切换所述第一电极与所述第二电极之间的所述电位差来切换被分光的光的波长，测量被分光后的光的光量时，所述电压控制部将所述电位差从第一电位差切换到比所述第一电位差大的第二电位差。
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