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    基于拍频效应的石英增强光声光谱气体检测装置及方法
    1.
    发明授权
    基于拍频效应的石英增强光声光谱气体检测装置及方法 有权

    公开(公告)号：CN107064012B

    公开(公告)日：2019-06-25

    申请号：CN201710234005.4

    申请日：2017-04-11

    申请人： 山西大学

    发明人： 董磊 ,  武红鹏 ,  弗兰克·蒂特尔 ,  肖连团 ,  贾锁堂

    IPC分类号： G01N21/17

    CPC分类号： G01N21/1702 ,  G01N2021/1704

    摘要： 本发明涉及一种基于拍频效应的石英增强光声光谱气体检测装置及方法。本发明的目的是解决现有的气体检测装置及方法在气体检测过程中存在的探测周期长、探测灵敏度不高且需要频繁校准石英晶振电学参数的技术问题。本发明的技术方案是：一种基于拍频效应的石英增强光声光谱气体检测装置，包括光声信号探测模块、气室、光源模块和数据采集模块；本发明通过探测石英音叉输出的压电信号与锁相放大器的解调信号经混频过程产生的拍频信号，可在毫秒量级的时间内精确获得石英晶振的电学参数以及待测气体的浓度，比现有技术中的石英增强光声光谱痕量气体检测装置快三个数量级，可用于环境监测、食品安全监测以及工业生产控制等领域的气体在线监测。

    微电子传感器装置和用于制造微电子传感器装置的方法
    2.
    发明公开
    微电子传感器装置和用于制造微电子传感器装置的方法 无效

    公开(公告)号：CN109313129A

    公开(公告)日：2019-02-05

    申请号：CN201780034237.3

    申请日：2017-05-24

    申请人： 罗伯特·博世有限公司

    发明人： C·凯泽

    IPC分类号： G01N21/3504 ,  G01N21/17 ,  G01N21/37 ,  G01N21/31

    CPC分类号： G01N21/37 ,  G01N21/1702 ,  G01N2021/1704

    摘要： 本发明实现一种微电子传感器装置和一种相应的用于制造微电子传感器装置的方法。微电子传感器装置包括红外源(10)和压力敏感的微膜片(20)，其中，在所述压力敏感的微膜片(20)的上侧(O1)上布置具有特定气体(G1)的气体室(30)。此外，在所述红外源(10)和所述气体室(30)之间构造吸收区域(A1)，在该吸收区域的内部能够感测所述特定气体(G1)，其中，调节所述压力敏感的微膜片(20)，以便测量在所述气体室(30)中的通过所述红外源(10)加热的所述特定气体(G1)的压力上升；并且，这样构造所述压力敏感的微膜片(20)，使得在所述吸收区域(A1)中出现所述特定气体(G1)的情况下能够测量在所述压力敏感的微膜片(20)上的压力降。

    一种光声光谱仪在线检测装置
    3.
    发明公开
    一种光声光谱仪在线检测装置 失效

    公开(公告)号：CN108732104A

    公开(公告)日：2018-11-02

    申请号：CN201810349911.3

    申请日：2018-04-18

    申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院

    发明人： 李大成 ,  李扬裕 ,  吴军 ,  王安静 ,  崔方晓

    IPC分类号： G01N21/17 ,  G01N21/25

    CPC分类号： G01N21/1702 ,  G01N21/25 ,  G01N2021/1704

    摘要： 本发明公开一种光声光谱在线检测系统，包括：GIS设备，用于产生SF6分解产物气体；第一电磁阀，用于控制SF6分解产物气体的流通速度；减压控制组件用于对所述SF6分解产物气体进行调压；共振光声光谱仪，用于检测SF6分解产物气体中H2S气体的含量；非共振光声光谱仪，用于检测SF6分解产物气体中CO、CF4和SO2的含量；泄压储气组件，用于维持共振光声光谱仪、非共振光声光谱仪内的气压保持设定气压，并将SF6分解产物气体通过所述第一电磁阀输送至GIS设备。本发明利用共振光声光谱仪检测SF6分解产物气体中H2S气体的含量，利用非共振光声光谱仪检测SF6分解产物气体中CO、CF4和SO2三种气体的含量，将H2S气体的检测灵敏度提高到了1ppm，满足SF6气体分解产物在线监测的需求。

    基于低相干光纤微分干涉非接触测振的光声光谱测量装置及方法
    6.
    发明公开
    基于低相干光纤微分干涉非接触测振的光声光谱测量装置及方法 失效

    公开(公告)号：CN105424605A

    公开(公告)日：2016-03-23

    申请号：CN201510800199.0

    申请日：2015-11-18

    申请人： 安徽大学

    发明人： 甄胜来 ,  王晓光 ,  俞本立 ,  徐峰 ,  曹志刚 ,  朱军 ,  吕亮 ,  高大明 ,  丁波

    IPC分类号： G01N21/17 ,  G01N21/25

    CPC分类号： G01N21/1702 ,  G01N21/25 ,  G01N2021/1704

    摘要： 本发明涉及白光干涉测量和气体光声光谱测量技术领域，具体为一种基于低相干光纤微分干涉非接触测振的光声光谱测量装置及方法，该装置包括：ASE光源、第一环形器、第二环形器、第一耦合器、第二耦合器、第三耦合器、延迟光纤、第一光纤接头、第二光纤接头、陶瓷套管、高灵敏度压力敏感膜片、具有PZT调制器的光纤光栅、第一光电探测器、第二光电探测器、第三光电探测器、数据采集单元和计算机，本发明采用低相干光源，探测光光路为马赫曾德和赛格纳克混合干涉仪结构，利用三个探测器对返回光进行三路探测解调，具有对低频扰动不敏感，测量动态范围大，可实现光纤白光干涉的远距离非接触绝对幅值测量，光压振动干扰小、不易受电磁干扰等优点。

    光声气体传感器
    8.
    发明授权
    光声气体传感器 有权 转让

    公开(公告)号：CN102636437B

    公开(公告)日：2014-08-13

    申请号：CN201210085207.4

    申请日：2007-11-01

    申请人： 矿井安全装置公司

    发明人： R·E·乌伯

    IPC分类号： G01N21/17

    CPC分类号： G01N21/1702 ,  G01N2021/1704

    摘要： 光声传感器包括用于光声检测的传感器系统、至少一个噪声消除压力传感器、和与该噪声消除压力传感器有效连接以主动消除环境中的噪声对传感器系统的作用的控制系统。另一光声传感器包括测量腔、光能源、光声压力传感器、和至少一个震动消除传感器(例如传声器或加速度计)。另一光声传感器包括测量腔、光能源、和光声压力传感器。测量腔在除与光源光学连通的窗口与测量腔相交的地方之外的基本上整个内表面上具有连续弧形的内表面。

    用于检测硫酰氟气体残留浓度的光声光谱检测装置
    9.
    发明公开
    用于检测硫酰氟气体残留浓度的光声光谱检测装置 无效

    公开(公告)号：CN103954578A

    公开(公告)日：2014-07-30

    申请号：CN201410200573.9

    申请日：2014-05-14

    申请人： 江苏舒茨测控设备有限公司

    发明人： 陈默 ,  李茂

    IPC分类号： G01N21/3504 ,  G01N21/01

    CPC分类号： G01N21/1702 ,  G01N2021/1704

    摘要： 本发明公开了一种用于检测硫酰氟气体残留浓度的光声光谱检测装置，包括：光源，斩波器，波数860、中心波长为11.6微米的窄带滤光片，非谐振圆柱体结构的光声池，多个微音器，数据收集分析处理模块，以及红外湿度传感器；所述数据收集分析处理模块，包括：与微音器一一对应连接的锁相放大器，与各个锁相放大器分别连接的数据采集电路，以及与所述数据采集电路连接的数据定量分析子模块。本发明设置有多个微音器，能降低单个微音器在转换出电信号时引起的误差，且多个微音器均布在光声池的环形侧壁上，能减少由于微音器测量位置引起的误差。

    测量装置和测量方法
    10.
    发明公开
    测量装置和测量方法 无效

    公开(公告)号：CN103376237A

    公开(公告)日：2013-10-30

    申请号：CN201310146610.8

    申请日：2013-04-25

    申请人： 特斯托股份公司

    发明人： C·鲍尔

    IPC分类号： G01N21/17

    CPC分类号： G01N21/1702 ,  G01N2021/1704 ,  G01N2021/1706

    摘要： 本发明涉及一种用于检查固态、液态或气态样品中的至少一个组成部分的测量装置和测量方法。在具有测量室（2）的测量装置（1）中，在测量室中借助于具有一个载波频率并用一个调制频率进行调制的电磁波（4）调制到样品上，所提出的是，与所述调制频率相调谐的声学接收器（6）设置在测量室（2）之外并且通过声学输出耦合器（7）连接到测量室（2）上，用于检测由在样品中通过所作用的电磁波（4）产生的声学激励（5）。