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公开(公告)号：CN110931404A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911088249.1
申请日：2019-11-08
申请人： 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种双转动组合式曲柄，包括上部曲柄和下部曲柄，所述上部曲柄上设有凹槽和用以嵌装转动轴承的第一转动槽，凹槽的槽底上设有止动槽；所述下部曲柄的一端端面上设有止动孔、另一端端面上设有凸起部，凸起部上设有用以嵌装转动轴承的第二转动槽，下部曲柄扣合在凹槽内并使其凸起部抵接在上部曲柄的端面上。本发明上部曲柄和下部曲柄扣合固定为一个组合式曲柄，可以降低曲柄在转动时下部曲柄与上部曲柄之间产生的同步转动力矩对曲柄偏转造成的影响，使曲柄转动更加稳定，从而可以稳定、安全的运送晶圆片。
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公开(公告)号：CN111063642B
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN201911142917.4
申请日：2019-11-20
申请人： 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 本发明提供具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，包括连杆驱动夹持模组以及用于固定连杆驱动夹持模组的固定框架，连杆驱动夹持模组包括连杆驱动组件以及与连杆驱动组件相连的夹持组件，固定框架包括主立板、对称固定在主立板竖直两边的两个侧连接板以及与两个侧连接板另一端固定连接的对向立板，主立板与对向立板相对设置，主立板背向对向立板的一面的上下两侧分别固定有顶部盖板以及底部盖板。本发明能够将晶圆进行稳定的夹持托举，方便进行托篮交换，同时托举夹持的方式能够降低对晶圆的损坏，以解决现有的晶圆在交换托篮时容易损坏，同时交换效率较低的问题。
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公开(公告)号：CN112757259B
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202011636191.2
申请日：2020-12-31
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： B25J9/00 , B25J15/00 , H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种联动侦测晶圆盒传递机械夹持手臂，其特征在于，包括第一夹持手、第二夹持手、第一夹持臂、第二夹持臂、安装底座、气缸安装座、驱动气缸、驱动机构，所述驱动机构安装于所述安装底座上，所述驱动气缸安装于气缸安装座上，所述第一夹持手安装于所述第一夹持臂的一端，所述第二夹持手安装于所述第二夹持臂的一端。本发明配备对称的U型夹持手，在驱动机构的驱动下做开合动作，进行晶圆盒的夹取动作，针对不同的晶圆盒的尺寸对应调整夹持手的开合间距，保证了夹持动作的完整性与稳定性。
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公开(公告)号：CN112820663B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN201911118915.1
申请日：2019-11-15
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种自动复位的对开型晶圆盒托架，包括设于联动传送机构上的托架支撑板，具有对称结构的左托臂和右托臂，以及设于托架支撑板上且驱动所述左托臂和右托臂水平开合的开合驱动机构，所述左托臂的内边缘和所述右托臂的内边缘分别具有定位沟槽，所述左托臂的定位沟槽和所述右托臂的定位沟槽彼此结构对称，所述定位沟槽为台阶结构，其三个槽壁均为倾斜面。本发明采用对开的结构形式提高了托架使用范围的适用性，并且还能够将晶圆盒的托耳自动复位在托架上，具有正确、有效抱持晶圆盒以避免晶圆盒放置位置发生偏移的优点。
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公开(公告)号：CN111312627B
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202010125638.3
申请日：2020-02-27
申请人： 至微半导体(上海)有限公司 , 江苏启微半导体设备有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明公开了一种用于晶圆干燥的提升氮气移除水分子的能力的方法，包括在干燥腔室外侧壁设计一维持热氮气稳定的热动能的阳极氧化保温层，且所述阳极氧化保温层内嵌有辅助型管式加热器用于进行辅助加热；以及，通过在干燥腔室外侧壁和干燥腔室内侧壁分别置入用于侦测温度的电子温度计并联动侦测对应于内外两侧的温度差异来控制辅助型管式加热器的加热，以达成对干燥腔室内热氮气的温度的控制以及调节；还包括将干燥腔室底部设计成带有向下的倾斜角度的锥形结构以使得异丙醇液体在排放时可形成螺旋式流动分布。本发明提供了一种能够提升加热氮气移除水分子的能力的方法。
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公开(公告)号：CN112827376A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202011634981.7
申请日：2020-12-31
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
摘要： 本发明公开了一种导体湿法清洗溶液中混酸浓度的控制方法，该方法通过在湿法清洗设备的进液端安装混酸装置，能够精确控制湿法清洗溶液中的混酸浓度，提高了发应性溶液的配比精度，同时也能大大提高反应性溶液的配比效率，解决了酸液混合过多或不足量造成的湿法工艺执行不稳定的问题，有效提高了湿法工艺的性能和洁净能力。
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公开(公告)号：CN111063642A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201911142917.4
申请日：2019-11-20
申请人： 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 本发明提供具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，包括连杆驱动夹持模组以及用于固定连杆驱动夹持模组的固定框架，连杆驱动夹持模组包括连杆驱动组件以及与连杆驱动组件相连的夹持组件，固定框架包括主立板、对称固定在主立板竖直两边的两个侧连接板以及与两个侧连接板另一端固定连接的对向立板，主立板与对向立板相对设置，主立板背向对向立板的一面的上下两侧分别固定有顶部盖板以及底部盖板。本发明能够将晶圆进行稳定的夹持托举，方便进行托篮交换，同时托举夹持的方式能够降低对晶圆的损坏，以解决现有的晶圆在交换托篮时容易损坏，同时交换效率较低的问题。
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公开(公告)号：CN214577929U
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202120175373.8
申请日：2021-01-21
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种下沉式FFU系统安装结构，其技术方案要点是包括包括气氛导流部，所述气氛导流部位于外壳顶面上，外壳顶面上设置有两组第一定位部和四组第二定位部，四组所述第二定位部位于两组所述第一定位部之间，所述气氛导流部位于四组所述第二定位部之间，四组所述第二定位部和所述气氛导流部之间形成有第一容纳空间，所述第一容纳空间与FFU壳体相适配。通过在外壳上设置两组第一定位部和四组第二定位部，四组第二定位部和气氛导流部之间形成有第一容纳空间，第一容纳空间与FFU壳体相适配，通过第一定位部和第二定位部使得FFU壳体与第一容纳空间便于相互分离。
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公开(公告)号：CN213936137U
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN202120176836.2
申请日：2021-01-21
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构，其技术方案要点是包括气流空间，气流空间位于外壳顶部，气流空间内设置有分隔部和导流部，通过分隔板将气流空间分成第一空间和第二空间，机器手臂区域位于第一空间下方，工艺槽体区域位于第二空间下方，工艺槽体区域内进行化学反应之后，酸气向上挥发至第二空间，通过分隔板使得酸气难以进入第一空间，使得机器手臂区域的器械不受腐蚀，将第一导流板设置于第一空间内，将第二导流板设置于第二空间内，且第一导流板和第二导流板均倾斜设置，FFU系统中的气流从上往下流经第二导流板之后，气流的流速变快，从而带动酸气远离第二空间。
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公开(公告)号：CN215822411U
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202023280074.5
申请日：2020-12-30
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种酸洗槽去除气泡装置，涉及到去气泡技术领域，包括帮浦、酸液过滤器、分流管路、导流结构和破气泡结构，其中，酸液过滤器位于帮浦的上侧，且帮浦连接酸液过滤器，酸液过滤器的出液口连接分流管路；分流管路包括第一管路和第二管路，第一管路的一端与出液口连接，第一管路的另一端与第二管路的一端连接，其中，第二管路的一端内壁上设有一液体回流面和设于液体回流面下侧的破气泡结构，第二管路的一端内壁上还设有一导流结构，导流结构与破气泡结构相正对。其利用简易的分流管路与帮浦的推动力作用，即可产生将液泡分离的作用，达成在输送各种溶剂或是混合溶液至晶圆湿法工艺区移除气泡的具体作用。
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