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公开(公告)号:CN113994454A
公开(公告)日:2022-01-28
申请号:CN202080040873.9
申请日:2020-03-20
申请人: 莱宝有限责任公司
摘要: 本发明涉及一种质谱仪(1),包括:离子阱(2),其具有用于存储离子(4a,4b)的内部(2a);信号生成器(5,6a,6b),其连接到离子阱(2)的限定内部(2a)的电极(3,7a,7b),用于耦合进电压信号(URF,UStim1,UStim2)、特别是射频电压信号;以及电离装置(15),用于电离待电离并供应到内部(2a)的气体(4)。电离装置(15)连接到信号生成器(5,6a,6b),以便使用耦合到电极(3,7a,7b)中的信号生成器(5;6a,6b)的电压信号(URF,UStim1,UStim2)以用于生成离子(4a,4b)。
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公开(公告)号:CN113906538A
公开(公告)日:2022-01-07
申请号:CN202080041578.5
申请日:2020-05-11
申请人: 莱宝有限责任公司
IPC分类号: H01J49/14
摘要: 本发明涉及一种离子化设备(12),包括:形成在容器(11)中的离子化空间(10);入口系统(6),其用于将待离子化的气体(2)供应到离子化空间(10);电子源(14),其具有至少一个丝极(15a,b),用于将电子束(19a)供应到离子化空间(10);以及出口系统(13),其用于使离子化气体(2a)离开离子化空间(10)。在丝极(15a,b)和离子化空间(10)之间设置电子光学器件(16a,b),其包括至少两个电极(17a‑c,18a‑c),和/或离子化设备(12)具有真空发生设备(21),其被设计成在电子源(12)的丝极(15a,b)处产生低于离子化空间(10)中的压强(p)的压强(pF)。本发明还涉及一种用于气体(2)的质谱分析的质谱仪(1),包括:如上所述设计的离子化设备(12),以及用于检测已经在离子化设备(12)中离子化的待分析气体(2a)的检测器(24)。
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公开(公告)号:CN103649709B
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201280034953.9
申请日:2012-05-18
申请人: 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
发明人: 格哈德·威廉·沃尔特 , 京特·霍尔斯坦 , 克里斯蒂安·拜尔
IPC分类号: G01M3/20
摘要: 检漏装置具有测试室(10),测试室与抽真空泵装置(14)连接用于抽真待测试空。此外,测试室(10)经由测试气体管路(20)与测试气体泵装置(18)连接。测试气体泵装置(18)在其主入口28)处与测试气体检测器(30)连接,使得能够按逆流原理对测试气体进行检测。在测试气体管路20)中设置有阀装置(38)。该阀装置具有测试气体室(44)用于缓存从测试室(10)中提取的测试气体。
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公开(公告)号:CN105378284A
公开(公告)日:2016-03-02
申请号:CN201480033243.3
申请日:2014-05-26
申请人: 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
发明人: 克里斯托弗·德佩斯
摘要: 本发明涉及一种真空泵,尤其是回转式叶片泵,其具有泵壳体(10),其设置在抽吸室(12)中。在抽吸室(12)中设置有输送元件(14,16)。在抽吸室(12)的入口(22)处设有止回阀(28)。为了在入口(22)的区域中存在低压的情况下关闭止回阀(28),除了螺旋弹簧(34)还设置有流体装置(36)。在切断真空泵时,将开关活塞(40)移动到如下部位中,流体在所述部位中通过输送通道(42)流入到连接通道(38)中,所述流体随后通过流入到入口通道(42)中而关闭止回阀(28)。
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公开(公告)号:CN103370553A
公开(公告)日:2013-10-23
申请号:CN201280009320.2
申请日:2012-02-09
申请人: 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
发明人: 汉斯·维绍特
IPC分类号: F16C27/06 , F16C35/077 , F04D19/04 , F04D29/66 , F04D29/059
CPC分类号: F16C27/066 , F04D19/042 , F04D29/059 , F04D29/668 , F16C19/06 , F16C35/077 , F16C2360/45
摘要: 用于真空泵、尤其涡轮分子泵的快速转动的轴的轴承装置,具有两个支承轴(10)的轴承元件(12)。两个轴承元件(12)中的至少一个具有:带有包围滚动体(22)的轴承外环(20)的轴承(16)。在泵壳体(14)和所述轴承外环(20)之间设置有阻尼元件(32)。此外,固定至少一个阻尼元件(32)的保持元件(28)与泵壳体(14)连接。
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公开(公告)号:CN102450115A
公开(公告)日:2012-05-09
申请号:CN201080023678.1
申请日:2010-06-07
申请人: 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
IPC分类号: H05K7/20
CPC分类号: F04C29/047 , F04C18/16 , F04C2220/10 , F04C2240/30 , F04C2240/808
摘要: 本发明涉及一种真空泵,包括布置在泵送腔(12)中的泵送元件(14)。电马达(24)驱动所述泵送元件(14)之一。提供有变频器(30)以用于改变电马达(24)的旋转速度。变频器(30)布置在紧连于泵壳体(10)的变频器壳体(32)中。空气冷却器(34)和液体冷却器(36)布置在变频器壳体(32)内以用于冷却变频器(30)。
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公开(公告)号:CN101253331A
公开(公告)日:2008-08-27
申请号:CN200680031557.5
申请日:2006-08-17
申请人: 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
CPC分类号: F04D19/04 , F04D27/0261 , F04D27/0292
摘要: 本发明涉及一种真空涡轮分子泵(10),其通过具有定子线圈和永磁电机转子的无电刷驱动电机(16)驱动。电机转子在旋转时产生与旋转方向相反的电动力。设有与定子线圈连接的电机控制装置(22),其从供电电压产生引入定子线圈的电流。此外设有旋转频率调节器(32),其将驱动电机(16)的旋转频率(f)限制于额定旋转频率(fN)。设有电源(20),其与电机控制装置(22)连接并提供恒定的直流电压作为电机控制装置(22)的供电电压。电源(20)设计成使得恒定的供电电压(UV)这样低地选择,从而在极限旋转频率(fG)时电动力等于由电机控制装置(22)和定子线圈可产生的最大驱动力,其中极限旋转频率(fG)小于额定旋转频率(fN)的1.3倍。由此电机功率受到限制并将驱动电机(16)的旋转频率在物理上可靠地限制于极限旋转频率(fG)。
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公开(公告)号:CN101156008A
公开(公告)日:2008-04-02
申请号:CN200680010895.0
申请日:2006-03-30
申请人: 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
IPC分类号: F16J15/447 , F04C27/00
CPC分类号: F16J15/406 , F04C18/16 , F04C27/009 , F04D29/104
摘要: 本发明公开一种轴封,所述轴封特别适用于诸如螺旋泵的真空泵。所述轴封包括:内部密封环(18),其能与轴(10)连接;以及外部密封环(20),其包围所述内部密封环(18)。在所述外部密封环(20)中设置有周向凹槽(30),密封气体适于经由供应通道(22)供应至所述周向凹槽(30)中。此外,密封气体盘(34)与所述轴(10)可连接,所述密封气体盘(34)包括向所述凹槽(30)延伸的凸起(32)。由此密封气体室(28)限定在所述凹槽(30)中。所述密封气体室(28)经由室间隙(36)连接至位于所述内部密封环(18)和所述外部密封环(20)之间的密封间隙(40),密封气体适于流动通过所述室间隙(36)。邻接所述密封间隙(40)设置有由所述内部密封环(18)和所述外部密封环(20)限定的分离室(42),所述分离室(42)与排出通道(44)连接以用于排出所述密封气体。
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公开(公告)号:CN117120703A
公开(公告)日:2023-11-24
申请号:CN202280026223.8
申请日:2022-03-29
申请人: 莱宝有限责任公司
IPC分类号: F01C17/00
摘要: 提供了特别是用于双轴或多轴真空泵的一对相互啮合的优选无油的运行齿轮,其包括第一运行齿轮和第二运行齿轮,其中,至少该第一运行齿轮分别包括第一齿轮和第二齿轮。该第一齿轮和第二齿轮轴向布置成直接接触,其中,该第一齿轮包括相同尺寸的预定数量的第一轮齿,并且该第二齿轮包括预定数量的第二轮齿,其中,该预定数量的第二轮齿为至少一个。所有该预定数量的第一轮齿具有的尺寸比该预定数量的第二轮齿的尺寸大至一预定量。该第一齿轮由具有第一弹性模量的材料制成。该第二齿轮由具有第二弹性模量的材料制成,其中,该第一弹性模量与该第二弹性模量不同。
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