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公开(公告)号：CN104655116A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410690504.0
申请日：2014-11-25
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 羽田秀生
IPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5776
CPC分类号： G05B19/0423 , G05B19/054 , G05B2219/25428 , G01C19/5621 , G01C19/5614
摘要： 本发明提供一种能够减小在对检测装置的输出数据进行了积分处理的情况下所产生的积分误差的检测装置、传感器、电子设备以及移动体等。检测装置(20)包括：检测电路(60)，其根据来自物理量换能器(12)的信号来实施物理量的检测处理，并输出物理量的检测数据PI；补正部(120)，其对检测数据PI实施补正处理，并将补正处理后的数据作为输出数据PQ进行输出。补正部(120)对m比特的检测数据PI实施减小在对输出数据PQ进行了积分处理的情况下所产生的积分误差的补正处理，并输出n比特的输出数据PQ，其中，n、m为n＜m的自然数。
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公开(公告)号：CN104634336A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201410638604.9
申请日：2014-11-06
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： G01C19/5607 , G01C19/5614
CPC分类号： H03G3/3005 , G01C19/5614 , G01C19/5649 , G01C19/5776 , H03F3/45183 , H03F2200/261 , H03F2203/45212 , H03F2203/45476 , H03F2203/45508 , H03F2203/45512 , H03F2203/45528 , H03F2203/45534 , H03F2203/45536 , H03F2203/45674 , G01C19/5607
摘要： 本发明提供一种检测装置、传感器、电子设备以及移动体等，其能够通过设定成与振子的等效串联电阻相对应的负性电阻来进行正弦波驱动。检测装置包括对振子(10)进行驱动的驱动电路(30)和对所需信号进行检测的检测电路(60)。驱动电路(30)具有：电流/电压转换电路(32)，其接收反馈信号(DI)并实施电流/电压转换；驱动信号输出电路(50)，其对电流/电压转换后的输入电压信号(DV)进行放大并输出正弦波的驱动信号(DQ)；增益控制电路(40)，其对驱动信号输出电路(50)中的驱动信号(DQ)的放大的增益进行控制。在将电流/电压转换用的电阻设为RI、将驱动信号输出电路(50)中的驱动信号(DQ)的放大的增益设为K、将振子(10)的基本波模式中的等效串联电阻设为R的情况下，增益控制电路以成为40K×RI＝R的方式而实施增益控制。
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公开(公告)号：CN104075702A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410115619.7
申请日：2014-03-26
申请人： 霍尼韦尔国际公司
IPC分类号： G01C19/5621
CPC分类号： G01C19/5621 , G01C19/5614 , G01C19/5726
摘要： 本发明涉及MEMS音叉陀螺仪中的传感电极的振荡电压。题述申请的实施例提供了一种用于操作微机电系统（MEMS）音叉陀螺仪的方法。该方法包括使相对于第一检验质块的第一侧面在平面外且接近于该第一侧面的第一传感电极上的电压以第一频率在第一电压与第二电压之间振荡。该方法还包括使相对于第一检验质块的第二侧面在平面外且接近于该第二侧面的第二传感电极上的电压以第一频率且与第一传感电极上的电压异相180度地在第一电压与第二电压之间振荡。该方法还包括通过首先以第一频率对来自第一检验质块的平面外信号进行解调且其次与第一检验质块的平面内运动同相地对该平面外信号进行解调来生成对应于第一检验质块的旋转速率的速率信号。
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公开(公告)号：CN102292616A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201080005410.5
申请日：2010-02-12
申请人： 松下电器产业株式会社
CPC分类号： G01C19/5726 , G01C19/5614 , G01C19/5776 , H03B5/32 , Y10T29/4913
摘要： 振荡电路包括：振子；将从振子输出的监视信号滤波并输出滤波信号的滤波器；将从滤波器输出的滤波信号放大并生成驱动信号的驱动单元；以及基于监视信号进行动作以调整滤波器的通过特性的控制单元。振子由驱动信号驱动并振动，根据振动而输出监视信号。该振荡电路可以使振子稳定地振荡。
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公开(公告)号：CN101346601A
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200680049209.0
申请日：2006-12-22
申请人： 松下电器产业株式会社
发明人： 植村猛
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08 , H01L41/187
CPC分类号： G01C19/5614 , G01C19/5607
摘要： 角速度传感器包括进行振动的振动器、分别输出第1差分信号与第2差分信号的第1差分电路与第2差分电路、以及对第1差分信号与第2差分信号进行同步检波的同步检波电路。第1检测部与第2检测部根据因惯性力而产生的变形，分别输出第1检测信号与第2检测信号。第1检测信号的相位与第2检测信号的相位反相。第1差分信号与从第2检测信号减去第1检测信号所得的差对应。第2差分信号与从第1检测信号减去第2检测信号所得的差对应。该角速度传感器可以准确地检测出振动器的角速度。
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公开(公告)号：CN1603842A
公开(公告)日：2005-04-06
申请号：CN200410083382.5
申请日：2004-10-08
申请人： 松下电器产业株式会社
发明人： 野添利幸
IPC分类号： G01P15/125 , G01C21/16
CPC分类号： G01P15/18 , G01C19/5607 , G01C19/5614 , G01P15/125 , G01P21/00 , G01P2015/0828 , G01P2015/084
摘要： 本发明所提供的惯性传感器，包括有提供诊断信号的自我诊断电路，通过在同步解调器之前施加交流偏压信号电压，检测出检测元件和检测电路的至少其中之一所发生的异常，只要监视是否从惯性传感器的传感器输出端子获得预先指定的DC偏置信号，就可以主动地诊断传感器自身是否有异常。
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公开(公告)号：CN1320207A
公开(公告)日：2001-10-31
申请号：CN99811470.7
申请日：1999-10-01
申请人： 伊兹德国有限公司
CPC分类号： G01C19/5621 , G01C19/5614 , G01P21/00
摘要： 一种自检验传感器,尤其用于测量转速及加速度,包括一个振荡结构或谐振结构2;一个致动单元,用于将该结构(2)激励成第一周期性振荡;一个压电电阻单元(5)用于产生与被测量相关的输出信号;及用于从输出信号中分离该检验信号分量的装置(5),其中检验信号分量由在第一振荡上叠加该结构(2)的第二周期性振荡来产生。一种用于传感器自检验的装置具有用于从传感器周期性输出信号中分离出检验信号分量的装置(5),该检验信号分量被叠加在有效信号分量上;及比较装置,用于将检验信号分量与一个预定值或一个传送给传感器的检验信号相比较。为了自检验,使结构(2)的第一振荡与第二周期性振荡相叠加;及检测输出信号,该输出信号包括关于被测量的信息。监测包含在输出信号中的检验信号分量。
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公开(公告)号：CN108663071A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810234466.6
申请日：2018-03-21
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： H03L7/0995 , G01C19/5614 , G01C19/5776 , G01P15/097 , G01P15/14 , G01P21/00 , H03L7/081 , H03L7/091 , G01D5/12 , G01C19/56
摘要： 电路装置、物理量检测装置、电子设备以及移动体，抑制因干扰导致的检测精度的下降，并且能够容易地进行频率调整。电路装置(20)具有：驱动电路(30)，其利用驱动信号对物理量转换器(18)进行驱动；PLL电路(150)，其以驱动信号作为基准信号并生成时钟信号；以及检测电路(60)，其具有根据基于时钟信号的工作用信号进行工作的电路，并且检测电路(60)根据来自物理量转换器(18)的检测信号进行检测处理，在设驱动信号的频率为fdr、时钟信号的频率为fck、i、j为1以上的整数、工作用信号的频率为fck/i的情况下，PLL电路(150)生成满足j×fdr≠fck/i的频率的时钟信号。
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公开(公告)号：CN107687845A
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201710811177.3
申请日：2017-09-11
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01C19/5621 , G01C19/5614
CPC分类号： G01C19/5621 , G01C19/5614
摘要： 本发明公开了一种转动输出的双质量块音叉角速率陀螺仪，包括上层真空封装盖板、下层硅衬底和中层单晶硅片，中层单晶硅片上设有陀螺机械结构，所述陀螺机械结构的两个子结构左右对称分布在横梁中部支撑直梁和驱动电容的两侧，并分别与横梁连接，该横梁通过中部支撑直梁和端部折叠梁与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固，使中层的机械结构部分悬空在上层封装盖板和下层硅衬底之间。本发明实现了转动模态输出，降低了驱动模态和检测模态之间的运动耦合，减少了驱动电容在工作中的变化，提高了陀螺性能的稳定性，并使高阶模态频率大于工作模态频率两倍以上，起到了有效的模态隔离，具有较强的抗振动干扰能力。
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公开(公告)号：CN107228660A
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201710161665.4
申请日：2017-03-17
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 上原纯
CPC分类号： G01P3/00 , G01C19/5614 , G01C19/5628 , G01C19/5776 , G01C19/5783 , G01P15/00 , G01P15/125 , G05F3/02 , H03H7/06 , H03M1/122 , G01C19/56
摘要： 本发明提供一种电路装置、物理量检测装置、电子设备及移动体，其能够减轻在设置有与多个物理量变换器对应的多个检测电路的情况下的特性的劣化等。电路装置(20)包括：第一、第二检测电路(61、62)；多路调制器；A/D转换电路(100)；逻辑电路(110)。第一检测电路(61)被配置在与电路装置(20)的第一边(SD1)相比靠第二方向(DR2)侧，第二检测电路(62)被配置在与第一边(SD1)相比靠第二方向(DR2)侧且与第一检测电路(61)相比靠第一方向(DR1)侧，A/D转换电路(100)被配置在第一、第二检测电路(61、62)中的至少一方与逻辑电路(110)之间。
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