公开(公告)号：CN108351210A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680064180.7

申请日：2016-10-27

申请人： 精工爱普生株式会社 ,  株式会社电装

发明人： 中岛公德 ,  吉田直记

IPC分类号： G01C19/5614

CPC分类号： G01C19/5614

摘要： 物理量检测装置具有：振子，其输出与物理量对应的检测信号；以及驱动电路，其对所述振子进行振荡驱动，其中，所述驱动电路包含：振荡检测部，其根据所述振子的驱动信号检测所述振子的振荡状态或者非振荡状态；起动振荡部，其在所述振荡检测部的检测结果是非振荡状态的情况下辅助所述振子的振荡动作；以及切换次数监视部，其检测所述振荡检测部中的所述振荡状态与所述非振荡状态之间的切换次数大于所设定的上限次数的情况。

公开(公告)号：CN104949666B

公开(公告)日：2018-07-13

申请号：CN201510130881.3

申请日：2015-03-24

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 西泽竜太 ,  中川啓史 ,  山口啓一 ,  松尾敦司 ,  市川史生

IPC分类号： G01C19/5642 ,  G01C19/5649

CPC分类号： G01L1/162 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/5614 ,  G01C19/5621 ,  G01L1/106 ,  H01L41/094

摘要： 本发明提供物理量检测装置、电子设备及移动体。物理量检测装置包括振动元件和电荷放大器。振动元件包括第一检测电极、第二检测电极、第三检测电极以及第四检测电极。第一检测电极与第四检测电极的电极性相同，第二检测电极与第三检测电极的电极性相同，第一检测电极与第二检测电极的电极性相反。第一检测电极和第四检测电极被连接于电荷放大器，第二检测电极和第三检测电极被连接于电荷放大器。

公开(公告)号：CN104702269B

公开(公告)日：2018-07-10

申请号：CN201410757917.6

申请日：2014-12-10

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 牧克彦 ,  仓科隆 ,  井伊巨树

IPC分类号： H03L7/08

CPC分类号： G01C19/5776 ,  G01C19/5614 ,  G01D5/12 ,  H03B5/364 ,  H03L7/0814 ,  H03L7/0816

摘要： 本发明提供一种检测装置、传感器、电子设备以及移动体等，其能够以小规模的电路来实现同步信号的微调与粗调。检测装置(20)包括物理量转换器的驱动电路、同步信号输出电路(52)、实施与物理量对应的物理量信号的检测处理的检测电路。同步信号输出电路(52)包括：DLL电路(150)，其包括输出延迟控制信号PNB的延迟控制电路(160)，与具有通过延迟控制信号PNB而对延迟时间进行控制的多个延迟单元D0～Dn‑1的延迟电路(170)；调节电路(130)，其至少具有一个通过延迟控制信号PNB而对延迟时间进行控制的延迟单元，并将基于来自驱动电路的输出信号的输入信号IN的被延迟后的信号DLI输出至DLL电路(150)；输出电路(180)，其根据来自DLL电路(150)的多相时钟信号而输出同步信号SYC。

公开(公告)号：CN104819710A

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201510262977.5

申请日：2015-05-21

申请人： 北京航空航天大学

发明人： 郭占社 ,  程扶诚 ,  黄漫国 ,  曹乐 ,  李博宇

IPC分类号： G01C19/5614

CPC分类号： G01C19/5614

摘要： 本发明提出了一种具有温度补偿结构的谐振式硅微机械陀螺，其消除温度对谐振式硅微机械陀螺工作的影响。该陀螺系统结构主要包括两个静电梳齿驱动器，平板质量块、杠杆放大装置，双端谐振音叉，补偿音叉。为了较好地补偿温度误差，补偿音叉与双端谐振音叉具有相同的结构。微机械陀螺工作时，谐振音叉的谐振频率受轴向力与温度影响，补偿音叉的谐振频率仅受温度影响；由于两音叉结构完全相同，可通过数据处理单元对两音叉频率进行解算以消除温度对谐振频率的影响，得到微机械陀螺运动产生的科式力大小，进而计算出待测角频率。本发明不仅能够实现对谐振式硅微机械陀螺温度误差的补偿，同时也依旧保持了微机械陀螺系统体积小，功耗低的特点。

公开(公告)号：CN103644902A

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN201310615814.1

申请日：2013-11-26

申请人： 上海交通大学

发明人： 张卫平 ,  汪濙海 ,  张弓 ,  孙殿竣 ,  成宇翔 ,  唐健 ,  许仲兴 ,  陈文元 ,  刘亚东

IPC分类号： G01C19/5776

CPC分类号： G01C19/5614 ,  G01C19/5649

摘要： 本发明提供了一种石英压电陀螺仪的开环驱动控制系统及控制方法，包括计算机控制模块、DDS驱动电路模块、石英压电陀螺仪模块和检测电路模块，计算机控制模块为DDS驱动电路模块进行对驱动信号波形、幅值、频率、相位的设定；DDS驱动电路模块为石英压电陀螺仪模块提供所需的四相位驱动信号或作为石英压电陀螺仪模块的激励源，同时为检测电路模块提供参考信号；石英压电陀螺仪模块在DDS驱动电路模块所给的信号下被激振或被驱动，并产生检测信号；检测电路模块对产生的检测信号进行处理。本发明通过DDS驱动电路为石英压电陀螺仪提供四相位的、稳定、可控、精确、有效的驱动信号，并为石英压电陀螺仪的检测电路提供高质量的参考信号。

公开(公告)号：CN102200438A

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN201110069066.2

申请日：2011-03-22

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 雨宫正树

IPC分类号： G01C19/56 ,  G01P9/04

CPC分类号： G01C19/5733 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/5614

摘要： 物理量检测元件、物理量检测装置及电子设备，具备在Z轴方向上具有厚度的双T型压电振动片并能检测绕X轴的角速度。本发明的物理量检测元件(100)中，一对驱动振动臂中的一方(30a)和另一方(30b)以相反的相位在X轴方向弯曲振动，一对第1检测振动臂(40a、40b)和一对第2检测振动臂(50a、50b)随一对驱动振动臂(30a、30b)的弯曲振动而以相反的相位在Y轴方向振动，通过由绕X轴的旋转的角速度产生的科里奥利力，使一对第1检测振动臂中的一方(40a)和另一方(40b)除Y轴方向的振动外，还以第1相位在Z轴方向弯曲振动，且使一对第2检测振动臂中的一方(50a)和另一方(50b)除Y轴方向的振动外，还以与第1相位相反的第2相位在Z轴方向弯曲振动。

公开(公告)号：CN1777789A

公开(公告)日：2006-05-24

申请号：CN200580000022.7

申请日：2005-02-03

申请人： 松下电器产业株式会社

发明人： 黑田启介 ,  植村猛

IPC分类号： G01C19/56

CPC分类号： G01C19/5776 ,  G01C19/5614

摘要： 可提供一种具有平滑时间常数大的平滑电路的可以实现传感器的小型化、IC化的角速度传感器。构成此角速度传感器的平滑电路(9)包括：第1开关(11)、第1电容器(12)、第2开关(13)、第2电容器(17)及控制信号供给单元(15)。控制信号供给单元(15)供给用来对第1开关(11)及第2开关(13)进行导通、断开控制的信号。采用这种构成，即使第1电容器(12)和第2电容器(17)的电容值小，如果减小控制信号供给单元(15)的切换用控制信号的频率，也可以等效地设定大的平滑时间常数。因此，特别是即使在IC中形成电容器的场合也可以减小其占有面积，因此可以实现角速度传感器的小型化、IC化。

公开(公告)号：CN109724580A

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201811265252.1

申请日：2018-10-29

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 村岛宪行 ,  樋口哲平

IPC分类号： G01C19/5649

CPC分类号： B60W50/0205 ,  B60W2050/0215 ,  G01C19/5614 ,  G01C21/12 ,  G01C25/00

摘要： 物理量测量装置、电子设备以及移动体。物理量测量装置包含：传感器元件，在该传感器元件的驱动电极与第一检测电极之间以及驱动电极与第二检测电极之间形成耦合电容；以及电路装置，其具有驱动电路、检测电路和故障诊断电路，其中，该驱动电路向驱动电极供给驱动信号，该检测电路根据来自第一、第二检测电极的第一、第二检测信号，检测与物理量对应的物理量信息，电路装置具有设置在输入第一、第二检测信号的第一、第二端子与检测电路之间的第一、第二开关，故障诊断电路根据使第一、第二开关的连接状态发生变化时的检测电路的检测结果来进行故障诊断。

公开(公告)号：CN104634336B

公开(公告)日：2018-07-20

申请号：CN201410638604.9

申请日：2014-11-06

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 牧克彦 ,  金井正博

IPC分类号： G01C19/5607 ,  G01C19/5614

CPC分类号： H03G3/3005 ,  G01C19/5614 ,  G01C19/5649 ,  G01C19/5776 ,  H03F3/45183 ,  H03F2200/261 ,  H03F2203/45212 ,  H03F2203/45476 ,  H03F2203/45508 ,  H03F2203/45512 ,  H03F2203/45528 ,  H03F2203/45534 ,  H03F2203/45536 ,  H03F2203/45674

摘要： 本发明提供一种检测装置、传感器、电子设备以及移动体等，其能够通过设定成与振子的等效串联电阻相对应的负性电阻来进行正弦波驱动。检测装置包括对振子(10)进行驱动的驱动电路(30)和对所需信号进行检测的检测电路(60)。驱动电路(30)具有：电流/电压转换电路(32)，其接收反馈信号(DI)并实施电流/电压转换；驱动信号输出电路(50)，其对电流/电压转换后的输入电压信号(DV)进行放大并输出正弦波的驱动信号(DQ)；增益控制电路(40)，其对驱动信号输出电路(50)中的驱动信号(DQ)的放大的增益进行控制。在将电流/电压转换用的电阻设为RI、将驱动信号输出电路(50)中的驱动信号(DQ)的放大的增益设为K、将振子(10)的基本波模式中的等效串联电阻设为R的情况下，增益控制电路以成为40K×RI＝R的方式而实施增益控制。

公开(公告)号：CN106257239A

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201610392601.0

申请日：2016-06-06

申请人： 飞思卡尔半导体公司

发明人： 迈克尔·瑙曼

IPC分类号： G01C19/5747

CPC分类号： G01C19/5621 ,  G01C19/5614 ,  G01C19/5733 ,  G01C19/5747

摘要： 本公开描述一种MEMS装置，其包括耦合一对能运动块的两个弹簧系统。所述弹簧系统中的每个弹簧系统包括受约束的刚性梁和一对挠曲部，其中，一个挠曲部直接耦合至所述刚性梁的一端并耦合至所述能运动块中的一个能运动块，并且另一挠曲部直接耦合至所述刚性梁的相对端并耦合至另一个能运动块。响应于所述能运动块的驱动运动，所述挠曲部使得所述受约束刚性梁能够枢转运动，使得所述刚性梁在围绕所述刚性梁的中心铰接点的相对方向枢转。这种枢转运动使得所述驱动块能够反相线性振荡运动同时基本上遏制或以其他方式抑制所述能运动块的同相运动。