半导体基板热处理装置

    公开(公告)号:CN102484071A

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN201080040569.0

    申请日:2010-09-30

    CPC classification number: H01L21/67109

    Abstract: 本发明提供一种半导体基板热处理装置,其向基座施加水平磁通量,并且能够抑制批量处理时所产生的由于上下端部的散热而引起的处理不良。该半导体基板热处理装置具有:晶舟(12),其在垂直方向层叠配置多个处理对象基座(14)与辅助基座(16)而构成,该处理对象基座(14)载置晶片(18),该辅助基座(16)以沿垂直方向夹着多个处理对象基座(14)的方式配置;感应加热线圈,其配置在晶舟(12)的外周侧,并且在与处理对象基座(14)的晶片载置面平行的方向形成交流磁通量;电源部(36),其向所述感应加热线圈供给电力,所述感应加热线圈构成为具有:处理对象基座(14)的加热比例高的主加热线圈(22);辅助基座(16)的加热比例高的辅助加热线圈(24、26),电源部(36)具有区域控制装置,该区域控制装置对向主加热线圈(22)和辅助加热线圈(24、26)供给的电力比例进行控制。

    煤灰中的未燃碳的除去方法

    公开(公告)号:CN101547754B

    公开(公告)日:2012-04-25

    申请号:CN200680056560.2

    申请日:2006-12-11

    CPC classification number: B03B9/04 B03D1/02 C04B18/08 C04B2111/1087 Y02W30/92

    Abstract: 本发明提供煤灰中的未燃碳的除去方法,其包括下述步骤:使用分级机将煤灰中的未燃碳机械分离的步骤;利用粉碎机对上述通过分级机除去了部分未燃碳的煤灰进行粉碎或破碎的步骤;向上述利用粉碎机粉碎或破碎后的煤灰中加入水而制成浆的步骤;向上述制成浆的煤灰中添加捕集剂的步骤;对添加了捕集剂的浆赋予剪切力,使捕集剂选择性地附着在煤灰中的未燃碳上的步骤;向捕集剂附着在未燃碳上之后的浆中添加起泡剂的步骤;和从添加起泡剂之后的浆中与气泡一起浮选未燃碳而分离的步骤。

    荧光检测装置及荧光检测方法

    公开(公告)号:CN102292630A

    公开(公告)日:2011-12-21

    申请号:CN201080005461.8

    申请日:2010-01-25

    Inventor: 林弘能

    CPC classification number: G01N15/147 G01N15/1429 G01N21/6408 G01N2015/0038

    Abstract: 本发明提供一种能够提高荧光弛豫时间的测量精度的荧光检测装置及荧光检测方法,该装置包括:激光光源部,向所述测量对象物照射激光;受光部,输出测量对象物受到激光照射后发出的荧光的荧光信号;光源控制部,生成将从激光光源部发射的激光强度用至少两个频率成分进行时间调制的调制信号;处理部,使用从受光部输出的荧光信号和调制信号,求出测量对象物的荧光的荧光弛豫时间,其中,处理部求出相对于至少两个频率成分的调制信号的荧光信号的相位滞后,利用相位滞后求出各频率成分的荧光弛豫时间,通过对荧光弛豫时间进行加权平均来求出平均荧光弛豫时间。

    建设用起重机的伸缩伸臂的伸缩机构

    公开(公告)号:CN102234075A

    公开(公告)日:2011-11-09

    申请号:CN201110110095.9

    申请日:2011-04-29

    Abstract: 本发明提供一种将用于建设高层的支柱、塔架等塔状构造物的起重机上升至所需高度的伸缩伸臂的伸缩机构。在组装成嵌套式的伸臂的内侧收容主缸,使在该主缸的工作的作用下往返运动的活塞杆指向下方地设置。在活塞杆的前端部设置正六边形的杆座,在3个侧面配置杆连结销。在主缸的缸盖部设置正六边形的缸盖座,在3个侧面配置缸盖连结销。将杆连结销和缸盖连结销配置在重叠的位置上,共用与该杆连结销和缸盖连结销卡合、脱离的连结孔地将该连结孔设置在伸臂的下端部。在与缸盖座的其他3个侧面面对的位置上具备固定部件,该固定部件由伸臂固定用销和供伸臂固定用销插入、拔出的连接孔构成。

    起重机装置
    48.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102171130A

    公开(公告)日:2011-08-31

    申请号:CN200980138944.2

    申请日:2009-03-27

    CPC classification number: B66C13/12

    Abstract: 在蓄电装置(6)中,将公共母线(9)上的剩余电力作为蓄电电力PB进行蓄电,并且在驱动电力PM不足时,以预先设定的限制量PBx以下的放电量将该蓄电电力PB提供给公共母线(9)。

    定日镜的校正方法及其校正装置

    公开(公告)号:CN102077035A

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:CN200980124040.4

    申请日:2009-06-11

    Inventor: 鸿巢真

    Abstract: 提供一种能够对定日镜的镜面与中央反射器的镜面正对的情况一边进行实测一边在当场进行调整的调整方法和调整装置。设置有向中央反射器(30)的上部焦点(p)和定日镜(20)分别照射激光(L1,L2)的照射装置(3),以照射到定日镜(20)的激光的反射光(L4)与照射到中央反射器(30)的上部焦点(p)的激光(L1)形成同一轴线的方式,调整定日镜(20)的俯仰角和/或旋转角。

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