公开(公告)号：CN109872942B

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN201811465281.2

申请日：2018-12-03

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 三宫晓史 ,  韩圭完 ,  柳济吉 ,  李京在

IPC分类号： H01L21/02

摘要： 提供一种激光结晶设备。所述激光结晶设备包括：第一光源单元，被构造为发射具有线性偏振激光束形状的第一输入光；第二光源单元，被构造为发射具有线性偏振激光束形状的第二输入光；偏振光学系统，被构造为使第一输入光和/或第二输入光以预定旋转角度旋转；光学系统，被构造为将穿过偏振光学系统的第一输入光和第二输入光转换为输出光；台，目标基底置于台上，并且输出光被引导到目标基底上；以及监测单元，被构造为从偏振光学系统接收第一输入光或第二输入光，并且测量第一输入光或第二输入光的激光束质量。

公开(公告)号：CN111266725B

公开(公告)日：2023-12-19

申请号：CN201911220089.1

申请日：2019-12-03

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 三宫晓史 ,  金炯柱 ,  亚历山大·乌若诺夫 ,  崔银善 ,  韩圭完

IPC分类号： B23K26/064

摘要： 本申请涉及激光加工装置。根据示例性实施方式的激光加工装置包括：光源，生成激光束；以及光会聚单元，将激光束会聚至待加工对象上的焦点，其中，光会聚单元包括：第一光学元件，包括穿透第一光学元件的通孔；第二光学元件，包括反射激光束的第一区域和透射激光束的第二区域；以及第三光学元件，包括作为凸透镜的聚焦透镜，第一光学元件的下表面是凹面镜，并且第二光学元件的上表面是凸的且第二光学元件的下表面是凹的。

公开(公告)号：CN116213919A

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN202310203686.3

申请日：2020-08-05

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 李成用 ,  铃木俊成 ,  明承镐 ,  韩京熙 ,  韩圭完

IPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/70

摘要： 本公开涉及一种激光设备，包括：第一真空腔室，其中在第一真空腔室中的目标基底上执行加工；激光器，面对第一真空腔室；载体，设置在第一真空腔室中，其中目标基底坐置在载体上；腔室窗，设置在第一真空腔室的一个表面中，其中由激光器发射的激光束穿过腔室窗；第一保护窗，位于载体和腔室窗之间；第二真空腔室，设置在第一真空腔室的第一侧处；和传送单元，配置为将第一保护窗传送到第二真空腔室。

公开(公告)号：CN114552368A

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202111246030.7

申请日：2021-10-26

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 三宫暁史 ,  柳济吉 ,  朴喆镐 ,  李惠淑 ,  蔡永洙 ,  韩圭完

IPC分类号： H01S5/02253 ,  H01S5/02326 ,  H01S5/14

摘要： 激光装置可以包括：激光产生器，在第一方向上射出第一激光束和第二激光束；光束变换单元，包括第一激光束入射的第一光学系统和第二激光束入射的第二光学系统；和聚光透镜，使从光束变换单元射出的第一激光束和第二激光束折射来进行聚光，第一光学系统和第二光学系统分别包括：透镜组，包括使第一激光束和第二激光束各自的尺寸延伸且对其进行压缩的第一透镜至第m透镜(m是2以上的自然数)；和光束品质因子变换部，分别在第二方向上分割从透镜组射出的第一激光束和第二激光束来形成多个块光束，并在第三方向上排列多个块光束来进行射出，从第一光学系统的第m‑1透镜射出的第一激光束向第一光学系统的第m透镜的第三方向上的离轴入射。

公开(公告)号：CN114247987A

公开(公告)日：2022-03-29

申请号：CN202111072143.X

申请日：2021-09-14

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 亚历山大·乌若诺夫 ,  韩圭完 ,  郑宇眩 ,  柳廷和

IPC分类号： B23K26/042 ,  B23K26/70 ,  G01J1/42

摘要： 提供了激光装置和激光照射方法。根据实施方式的激光装置包括激光源、激光偏转器、物镜、图像捕获装置和校正器，激光源向处理对象提供激光束，激光偏转器偏转从激光源供给的激光束，物镜聚焦入射到处理对象上并且然后被散射的激光束的散射光，图像捕获装置捕获在物镜中聚焦的散射光的图像，校正器通过使用捕获的图像来校正激光束的位置。

公开(公告)号：CN114083116A

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN202110318399.8

申请日：2021-03-25

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 亚历山大·乌若诺夫 ,  三宫暁史 ,  丁一荣 ,  韩圭完 ,  柳廷和

IPC分类号： B23K26/064 ,  B23K26/00

摘要： 提供激光装置和激光装置处理方法。实施例涉及的激光装置包括：激光束输出部；校正部，校正从所述激光束输出部射出的激光束；激光扫描器，对由所述校正部校正的所述激光束进行扫描；反射体，将由所述激光扫描器扫描的所述激光束反射到处理基板；以及控制部，控制所述校正部，所述控制部根据所述激光扫描器的扫描条件来控制所述校正部。

公开(公告)号：CN113894410A

公开(公告)日：2022-01-07

申请号：CN202110136081.8

申请日：2021-02-01

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 沃罗诺夫·亚历山大 ,  韩圭完 ,  郑星采 ,  金元容 ,  朴成圭

IPC分类号： B23K26/046 ,  B23K26/064 ,  B23K26/082

摘要： 提供一种在显示面板形成贯通孔时即使利用倾斜的激光束对显示面板进行加工也可以实现均匀的激光束聚焦(focus)于显示面板的斑点的大小的激光加工装置。一实施例中，激光加工装置包括：激光束产生部，生成并输出激光束；光束扫描器，调整所述激光束的输出方向；扫描透镜部，将从所述光束扫描器输出的激光束聚焦至预定位置；以及倾斜提供部，配置在所述光束扫描器与所述扫描透镜部之间，使得所述扫描透镜部的垂直光轴相对于所述光束扫描器的垂直光轴倾斜第一角度。

公开(公告)号：CN113649705A

公开(公告)日：2021-11-16

申请号：CN202110115522.6

申请日：2021-01-28

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 柳廷和 ,  金炯柱 ,  三宫暁史 ,  丁一荣 ,  韩圭完 ,  崔银善

IPC分类号： B23K26/38 ,  B23K26/046 ,  B23K26/064

摘要： 提供了一种激光切割装置和透镜组件。激光切割装置可以包括产生激光束的光源和使从光源入射的激光束会聚的透镜组件。透镜组件可以包括第一壳体、第二壳体、第一透镜组和第二透镜组，第一壳体包括第一主体，第二壳体包括第二主体，第一透镜组设置在第一主体中，第二透镜组设置在第二主体中。第二壳体可以组合到第一壳体，并且第二主体可以设置在第一主体下方。第一开口可以限定在第一主体中，并且与第一开口叠置的第二开口限定在第二主体中。

公开(公告)号：CN112802774A

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：CN202010564149.8

申请日：2020-06-19

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 三宫晓史 ,  柳济吉 ,  韩圭完 ,  李惠淑 ,  崔银善

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/02 ,  H01L21/268

摘要： 实施例的激光晶化装置可包括：激光发生部，用于输出第一激光束和第二激光束；匀化部，用于接收由所述激光发生部输出的所述第一激光束和所述第二激光束并使之匀化；光学系统，用于接收经过所述匀化部的所述第一激光束和所述第二激光束并使之光转换；以及基板收容部，用于收容所述光转换后的所述第一激光束和所述第二激光束所照射的基板，所述第一激光束和所述第二激光束具有长轴和短轴，所述第一激光束和所述第二激光束可以以在沿所述长轴的方向上具有不同入射角度的方式被输入到所述匀化部。

公开(公告)号：CN112775555A

公开(公告)日：2021-05-11

申请号：CN202010552348.7

申请日：2020-06-17

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 金圭范 ,  金道善 ,  朴宰奭 ,  李政燮 ,  洪京浩 ,  林在夏 ,  韩圭完

IPC分类号： B23K26/362 ,  B23K26/12 ,  B23K26/60 ,  B23K26/70 ,  H01L51/56

摘要： 本发明提供一种蚀刻装置及显示装置的制造方法。蚀刻装置包括：真空腔室，作为在内部对对象基板执行蚀刻工艺的真空腔室，在上表面包括透光窗；基板移送单元，设置在所述真空腔室的内部，并且在下部安置所述对象基板；以及至少一个激光模块，设置在所述真空腔室的外部，并且包括激光照射单元，所述激光照射单元通过所述透光窗向所述真空腔室的内部照射激光束(Laser Beam)来执行所述蚀刻工艺。