-
公开(公告)号：CN113234194B
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202110725188.6
申请日：2021-06-29
申请人： 北京科华微电子材料有限公司 , 北京科华丰园微电子科技有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
IPC分类号： C08F222/40 , C08F220/14 , C08F220/20 , C08F8/12 , C09J135/00 , G03F7/42
摘要： 本申请提供一种共聚物、底层胶组合物、双层体系及其在双层剥离工艺中的应用。属于半导体技术领域。共聚物由N取代马来酰亚胺单体、溶解速率控制单体、丙烯酸酯疏水性单体和丙烯酸羟乙酯亲水性单体聚合得到。本申请的共聚物不溶解于传统光刻胶的溶剂，可以溶解于碱性溶液中，不溶于水，且具有较高的玻璃化转变温度，并具有较好的化学稳定性和抗刻蚀能力，能够作为双层剥离工艺的底层树脂材料。双层体系包括顶层光刻胶和共聚物形成的底层胶。双层体系能够用于双层剥离工艺，且只需要单次显影和单次显影就可以得到目标光刻图案，大大提高光刻效率。
-
公开(公告)号：CN113716874A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202111207984.7
申请日：2021-10-18
申请人： 北京北旭电子材料有限公司 , 北旭(湖北)电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本申请提供一种玻璃材料、玻璃粉、玻璃粉的制备方法及其应用，属于封接材料技术领域。玻璃材料包括玻璃成分和陶瓷类填料，陶瓷类填料的质量百分比为0％～20％。玻璃成分按质量百分比计包括：30～55％P2O5、10～30％V2O5、3～15％CaF2、5～10％Bi2O3、1～10％Al2O3、1～9％ZnO及1～5％La2O3。玻璃粉的原料包括该玻璃材料，膨胀系数CTE为(30～79)×10‑7/℃；玻璃化转变温度Tg为280℃～390℃；压制成轴向高度15mm的圆柱状烧结1h后轴向高度≤14mm。该玻璃不含铅镉，Bi2O3添加少，玻璃化转变温度低、膨胀系数低、化学稳定性良好且烧结流动性良好。
-
公开(公告)号：CN113589649A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110930729.9
申请日：2021-08-13
申请人： 北京北旭电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本申请提供一种树脂组合物、光刻胶组合物及图案化方法，属于光刻技术领域。树脂组合物按质量百分比计包括20～50％的第一树脂和50～80％的第二树脂；第一树脂的结构如式Ⅰ所示；第二树脂的结构如式II‑1或者式II‑2所示。树脂组合物中，含有至少两种二甲酚结构单元质量百分比不同的第二树脂，且二甲酚结构质量百分比≥30％的第二树脂的质量百分占比＜60％。光刻胶组合物按质量百分比计包括：70～85％的溶剂、1～10％的感光剂以及10～20％的树脂组合物；感光剂包括G线感光剂和I线感光剂。该树脂组合物应用于光刻胶中，能够使得光刻胶兼具较高的分辨率和较快的感度。
-
公开(公告)号：CN113946099B
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202111145605.6
申请日：2021-09-28
申请人： 北京北旭电子材料有限公司 , 北旭(湖北)电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本申请提供了一种正性光刻胶组合物，基于所述正性光刻胶组合物的总重量，所述正性光刻胶组合物包括：酚醛树脂10‑20wt％，感光化合物4‑6wt％，交联剂5‑10wt％，流平剂0.05‑0.10wt％，粘附性促进剂0.05‑0.10wt％，溶剂65‑80wt％；其中，所述酚醛树脂为线性酚醛树脂，结构式如式I所示，其中，n1为自然数，85≤n1≤170。本申请提供的正性光刻胶组合物，具有高耐热的特性，耐热温度可达到230‑250℃，可用于具有高温工艺的生产流程，在曝光工艺中能够形成良好的图形形貌，同时具有良好的均一性，用于外围电路时，能够有效减少磨边时崩坏不良的发生。
-
公开(公告)号：CN116262813A
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202111518649.9
申请日：2021-12-13
申请人： 彤程化学(中国)有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
IPC分类号： C08G61/12
摘要： 本发明公开了一种芳烷基树脂，其结构如式(1)所示。本发明还公开了上述芳烷基树脂的制备方法，包括如下步骤：将烷基酚、催化剂、有机溶剂加入反应釜内，在一定的温度下，加入二苯醚类化合物，缩合反应一段时间后，在真空条件下脱去有机溶剂，即得到所述芳烷基树脂的前驱体；将上一步骤中所得到的前驱体溶于良溶剂中，滴加不良溶剂，得到的树脂再进行脱溶剂处理，即可得到式(1)所述结构的芳烷基树脂。本发明所述芳烷基树脂可应用与EMC和CCL中，由于烷基链的引入和C‑O单键的引入，可提供一定的柔顺性，使树脂具有低内应力，从而提高树脂的韧性；同时烷基化取代会赋予树脂优异的耐湿性能和电气性能。
-
公开(公告)号：CN112608434B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202011355353.5
申请日：2020-11-27
申请人： 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程化学(中国)有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种含苯并杂环结构单元酚类聚合物及其制备方法，所述含苯并杂环结构单元酚类聚合物是一种碱可溶性树脂，通过分子结构的特殊设计以及苯并杂环的引入，显著提升了其耐热性、稳定性并保持其良好的感光性。本发明还公开了上述含苯并杂环结构单元酚类聚合物在作为正性光刻胶组合物组分中的应用。所述含该酚类聚合物的正性光刻胶组合物可用于IC、LSI、液晶显示屏(LCD)、印刷电路板制造等领域，并赋予正性光刻胶组合物更好的热稳定性和良好的感光性。
-
公开(公告)号：CN113419404B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202110731453.1
申请日：2021-06-29
申请人： 北京科华微电子材料有限公司 , 北京科华丰园微电子科技有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本申请提供一种光刻胶组合物，属于光刻技术领域。光刻胶组合物包括：100重量份化学放大正性光刻胶基体树脂、0.2～30重量份光致产酸剂和0.01～5重量份碱性添加剂。光致产酸剂包括三嗪类化合物，碱性添加剂包括含有氧原子的胺类化合物。本申请将三嗪类光致产酸剂与含有氧原子的胺类化合物配合，能够使得化学放大正性光刻胶的加工窗口DOF显著提升。同时，三嗪类光致产酸剂与含有氧原子的胺类化合物配合还能够改善光刻胶的顶部形貌，降低顶部损失，降低粗糙度。
-
公开(公告)号：CN115616860A
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202211258412.6
申请日：2022-10-14
申请人： 北京科华微电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本发明涉及光刻胶技术领域，尤其是涉及一种深紫外化学放大正型光刻胶组合物和图案形成方法。深紫外化学放大正型光刻胶组合物，包括如下组分：聚合物、含有苯基的化合物、光致产酸剂、含氮化合物、表面活性剂和溶剂；聚合物包括聚合物A，聚合物A具有如式(I)所示的结构：式中，R1选自甲基、乙基、丙基、异丙基、正丁基、异丁基、环戊基和环己基中的任一种；R2选自氢、甲基和乙基中的任一种；结构单元x与结构单元y的摩尔百分比为65～80mol％：20～35mol％。该光刻胶具有光刻工艺窗口大、曝光宽容度大和焦深大的特点，在无抗反射底层保护的高反射基底上光刻可获得无驻波、CD波动小和侧壁角呈直角的光刻胶图案。
-
公开(公告)号：CN113716874B
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202111207984.7
申请日：2021-10-18
申请人： 北京北旭电子材料有限公司 , 北旭(湖北)电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本申请提供一种玻璃材料、玻璃粉、玻璃粉的制备方法及其应用，属于封接材料技术领域。玻璃材料包括玻璃成分和陶瓷类填料，陶瓷类填料的质量百分比为0％～20％。玻璃成分按质量百分比计包括：30～55％P2O5、10～30％V2O5、3～15％CaF2、5～10％Bi2O3、1～10％Al2O3、1～9％ZnO及1～5％La2O3。玻璃粉的原料包括该玻璃材料，膨胀系数CTE为(30～79)×10‑7/℃；玻璃化转变温度Tg为280℃～390℃；压制成轴向高度15mm的圆柱状烧结1h后轴向高度≤14mm。该玻璃不含铅镉，Bi2O3添加少，玻璃化转变温度低、膨胀系数低、化学稳定性良好且烧结流动性良好。
-
公开(公告)号：CN114047670A
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202111460811.6
申请日：2021-12-02
申请人： 北京北旭电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本申请提供了一种正型光刻胶组合物，其包含酚醛树脂、感光化合物以及混合溶剂，其中，混合溶剂包含第一溶剂和第二溶剂，第一溶剂选自乳酸乙酯、3‑乙氧基丙酸乙酯、4‑甲基‑2‑戊酮和2‑庚酮中的至少一种；第二溶剂选自乙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇二甲醚、丙二醇甲醚乙酸酯、乙酸乙酯和乙酸正丁酯中的至少一种。本申请提供的光刻胶组合物，其稳定性优于使用单一溶剂的光刻胶组合物，可以更好的应用于有机电致发光显示器中。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
312 条记录 (耗时 0.104 秒)
