公开(公告)号：CN101149354B

公开(公告)日：2010-12-29

申请号：CN200710053652.1

申请日：2007-10-26

申请人： 华中科技大学

发明人： 谢长生 ,  柏自奎 ,  胡木林 ,  张顺平 ,  曾大文

IPC分类号： G01N27/407 ,  G01N27/12

摘要： 本发明公开了一种气体敏感阵列传感器及其制备方法。传感器以金、铂或银等导电材料为电极，RuO2、MoSi2、W或Pt为加热膜材料，以ZnO、SnO2或Fe2O3，或者ZnO、SnO2或Fe2O3与Pt 0.1wt％-3wt％，Pd 0.1wt％-3wt％，Ni 1wt％-30wt％，TiO2 1wt％-30wt％，WO3 1wt％-40wt％，Co2O31wt％-15wt％，V2O5 1wt％-30wt％，Al2O3 1wt％-20wt％，MnO2 1wt％-30wt％中任一或几种的掺杂为敏感层材料，采用丝网印刷技术制备在耐高温、电绝缘、导热的氧化铝、氮化铝或硅的基片上，得到气体敏感阵列。气体敏感阵列通过轴固定在基座上，经超声热压焊接电极引线构成气体敏感阵列传感器。该气体敏感阵列传感器生产成本低、功耗低、机械稳定性好、各单元具有不同的气体敏感特性，制备工艺有助于大批量生产。

公开(公告)号：CN116967097A

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN202310697169.6

申请日：2023-06-13

申请人： 华中科技大学

发明人： 张顺平 ,  雷鸣

IPC分类号： B05D1/04 ,  G01N27/12 ,  B05D3/00

摘要： 本发明属于电子元器件制造领域，具体涉及一种阵列式气敏膜及其并行制造方法，该方法首次将气敏材料与光固化组分混合，制作成可光固化气敏浆料，通过雾化喷涂方法控制光固化浆料膜的厚度，再通过激光直写的方式，高精度的对光固化浆料膜进行选择性光固化成型以控制膜的长宽尺寸精度，可在基板表面得到膜厚高一致性、长宽尺寸高一致性的气敏膜，该气敏膜气敏响应性能好，并且即便多次重复叠加制造后仍能高度保持一致性。本发明的制造方法工艺灵活性高、可重复性高、制造效率高，可一次性制备出性能要求多样的气敏膜，可满足对复杂气氛的检测。

公开(公告)号：CN116354727A

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN202310276172.0

申请日：2023-03-20

申请人： 广东华中科技大学工业技术研究院

发明人： 卢亚 ,  谭划 ,  张海波 ,  张国军 ,  成龙 ,  郭新 ,  肖建中 ,  张顺平 ,  张晓东 ,  刘岚

IPC分类号： C04B35/563 ,  C04B35/622 ,  C04B35/645

摘要： 本发明公开一种超高硬度和高韧性的碳化硼陶瓷材料及其制备方法，其原料成分为B4C粉末和Si粉末，其中，B4C粉末的体积百分比含量为95～99.5％，Si粉末的体积百分比含量为0.5～5％。其制备方法包括以下步骤：A、粉末混合：将B4C粉末和Si粉末按比例进行行星球磨混合，球磨介质为氧化锆球和无水乙醇；B、放电等离子烧结：将球磨后的混合粉体放入石墨模具中，再将石墨模具放入放电等离子烧结腔体中进行烧结即得到超高硬度和高韧性的碳化硼陶瓷材料，待冷却后将超高硬度和高韧性的碳化硼陶瓷材料从石墨模具中取出。本发明克服了现有对于碳化硼陶瓷的致密化和韧性问题，成功制备出兼具超高硬度和高韧性的碳化硼陶瓷材料。

公开(公告)号：CN115974569A

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN202211662056.4

申请日：2022-12-23

申请人： 华中师范大学深圳研究院 ,  广东华中科技大学工业技术研究院

发明人： 张海波 ,  马伟刚 ,  谭划 ,  刘凯 ,  张顺平 ,  张晓东

IPC分类号： C04B35/78 ,  C04B35/48 ,  C04B41/00 ,  C04B41/87 ,  C04B111/82

摘要： 本发明公开一种彩色氧化锆陶瓷及其制备方法，其制备方法包括以下步骤：S1、将纳米氧化铝粉体与氧化锆粉体按质量配比5：95进行球磨混合，干燥得到分散均匀的复合陶瓷粉末；S2、将复合陶瓷粉末进行成型，烧结得到纳米氧化铝增强白色氧化锆陶瓷；S3、将纳米氧化铝增强白色氧化锆陶瓷进行机械打磨；S4、将经打磨后的纳米氧化铝增强白色氧化锆陶瓷埋入氧化钴或氧化铬粉体中压实，得到表层着色的彩色氧化锆陶瓷；S5、将彩色氧化锆陶瓷进行机械精磨。本发明通过利用纳米氧化铝对氧化锆基体进行增韧，同时在基体表层通过着色氧化物与纳米氧化铝固相反应生成显色化合物来呈色的思路，得到了芯部高韧性，表面色彩纯正的高韧性彩色氧化锆陶瓷。

公开(公告)号：CN113358701A

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN202110622565.3

申请日：2021-06-04

申请人： 华中科技大学

发明人： 张顺平

IPC分类号： G01N27/00

摘要： 本发明属于气体传感器相关技术领域，其公开了一种大规模阵列气体传感器及其制备方法，所述传感器从下到上依次包括基底、信号电极阵列、中层绝缘层、测量电极阵列、顶层绝缘层、电极材料阵列以及一气敏膜，其中：信号电极阵列、测量电极阵列以及电极材料阵列的阵列单元相同，测量电极阵列中一半数量的阵列单元分别与电压供给端连接且每一连接支路上设置有开关，另一半数量的阵列单元分别与接地端连接且每一支路上设置有开关；极材料阵列的阵列单元中各阵列单元的材料组分互不相同；气敏膜覆盖于电极材料阵列表面。本申请通过电极材料均不相同的阵列单元与同一气敏膜可以实现多种不同的气敏膜‑电极界面信号，进而可以实现对多种气体的精准识别。

公开(公告)号：CN113219134A

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN202110508951.X

申请日：2021-05-11

申请人： 华中科技大学

发明人： 张顺平 ,  张江涛

IPC分类号： G01N33/00 ,  G01N27/12 ,  G01N1/24

摘要： 本发明属于气体检测相关技术领域，其公开了一种气体检测装置，包括：检测模块，其内设置有气体传感器；第二吸气泵的出口连接检测模块，第二吸气泵的进口连接气室，气室内设有气体处理器第二吸气泵工作时将经气室处理后的气体输入检测模块以实现对检测模块的清洗；检测模块包括检测腔和调理电路，检测腔内设有气体传感器用于识别气体，调理电路与气体传感器、第一吸气泵和第二吸气泵连接。本申请可以自动实现对气体传感器及时进行零气清洗无需人工参与，可以将该气体检测装置放置于任何环境中进行自动化检测，同时及时对气体传感器进行清洗可以保护气体传感器中敏感的检测器件不受气体的腐蚀，显著的提高了检测装置的使用寿命。

公开(公告)号：CN111413375A

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN202010346070.8

申请日：2020-04-27

申请人： 华中科技大学

发明人： 张顺平

IPC分类号： G01N27/12

摘要： 本发明属于气敏传感器相关技术领域，其公开了一种基于气敏膜-电极界面电阻信号的气体传感器，传感器包括基底、测温电极、加热电极及多个气敏组件，所述测温电极、所述加热电极及多个所述气敏组件间隔设置在所述基底上；所述气敏组件包括至少三个测量电极及气敏膜，至少三个所述测量电极对称设置；至少三个所述测量电极间隔设置在所述基底上，所述气敏膜设置在所述基底上，且覆盖至少三个所述测量电极。本发明可以提供更多且更均匀的活性位点分布，可进一步增强传感器对气体的选择性；气敏膜-测量电极接触界面易于调控，能够从器件层面增强对气体的选择性；且气敏膜-测量电极接触电阻信号不易受到气敏膜颗粒生长的影响，长期稳定性好。

公开(公告)号：CN110361436A

公开(公告)日：2019-10-22

申请号：CN201910629988.0

申请日：2019-07-12

申请人： 华中科技大学

发明人： 张顺平

IPC分类号： G01N27/40

摘要： 本发明属于半导体传感器气敏检测领域，并具体公开了一种梯度叠层阵列、制备方法及气体多组分浓度检测方法，该梯度叠层阵列包括从上至下依次布置的至少两个微孔过滤膜/半导体气敏膜叠层器件，各微孔过滤膜/半导体气敏膜叠层器件上的微孔过滤膜的孔径从上至下依次减小；其制备方法包括：先制备不同孔径的微孔过滤膜/半导体气敏膜叠层器件，然后将不同孔径的微孔过滤膜/半导体气敏膜叠层器件按照孔径由大到小的规律从上至下依次布置；上述制备方法制备的梯度叠层阵列可用于气体多组分浓度的检测。本发明可实现已知多组分气体的各组分浓度的检测，具有检测快速准确、适用范围广等优点。

公开(公告)号：CN105510402B

公开(公告)日：2018-09-04

申请号：CN201510897491.9

申请日：2015-12-07

申请人： 华中科技大学

发明人： 张顺平 ,  雷涛 ,  谢长生

IPC分类号： G01N27/12

摘要： 本发明公开了一种提高金属氧化物传感器气体敏感度的方法，该方法是在洁净背景气氛下，将金属氧化物气体传感器在特定工作温度(200‑400℃)稳定，然后设定降温速度为1‑50℃/s范围内的某一特定速度，程序降温到特定低温(室温‑200℃)，获得传感器的电阻随温度的变化曲线Rair‑T，作为基底信号；检测气体氛围下，以相同流程控制传感器温度，获得传感器的电阻随温度的变化曲线RGas‑T，作为响应信号；将基底信号与响应信号相除，得到Rair/RGas‑T的曲线，取该曲线上的最大值max(Rair/RGas)，作为对该气体的敏感度。本发明在不改变金属氧化物材料组分下，相比恒定工作温度测试的方法大幅度提高了气体传感器的敏感活性，增大气体敏感度，从而实现低浓度级别(ppb级)气体的高精度检测。

公开(公告)号：CN106541711B

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201610899309.8

申请日：2016-10-12

申请人： 华中科技大学

发明人： 张顺平 ,  雷涛 ,  张春雷

IPC分类号： B41J3/407 ,  B41J29/393 ,  B05C9/02

摘要： 本发明属于气敏膜合成技术领域，更具体地，涉及一种基于微滴预混和转印的气敏膜的并行合成装置及合成方法，该气敏膜并行合成装置包括限位载物台、控制模块、三维滑台、微滴预混模块和微滴转印模块，微滴预混模块采用阵列蠕动泵和阵列微滴针头相结合来实现气敏原材料预混，微滴转印模块采用气密自动微量进样器、图像定位摄像头和预制定位膜的基片共同协调实现转印过程中的定量微滴和气敏膜的精准定位定形。本发明还公开了气敏膜的制备方法。本发明能够实现不同材料不同组份气敏材料的定量均匀混合，精准快速地制备多种气敏膜，同时能够避免打印过程中的堵塞问题，且适用于尺寸不大于1μm的纳米气敏原材料悬浊液的nL级定量微滴预混转印。