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公开(公告)号:CN102002666A
公开(公告)日:2011-04-06
申请号:CN201010515721.8
申请日:2010-10-22
申请人: 哈尔滨工业大学
摘要: 一种铜互联用氮化钽扩散阻挡层的制备方法,它涉及一种氮化钽扩散阻挡层的制备方法。本发明解决现有氮化钽沉积技术制备得到的氮化钽阻挡层厚度大、致密性差,导致氮化钽阻挡层的阻挡效果差的问题。制备方法:将衬底清洗后置于过滤阴极电弧沉积设备真空仓内的样品台上;然后对衬底进行离子清洗;抽真空后,将样品台加热,然后通入氮气,然后调入扫描波形,设置沉积参数;然后开启过滤阴极电弧沉积设备即可。铜互联用氮化钽扩散阻挡层厚度为10~20nm,而且阻挡层致密性好,表面均匀平整,能够保证后续电沉积铜层的优良质量;同时高温扩散阻挡性高,氮化钽扩散阻挡层受温度为600℃的热处理90分钟后,无铜硅化合物产生。
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公开(公告)号:CN100519602C
公开(公告)日:2009-07-29
申请号:CN200710144437.2
申请日:2007-10-12
申请人: 哈尔滨工业大学
IPC分类号: C08F220/14 , C08F2/44 , C08F4/04 , C08J5/00 , C08K5/00
摘要: 本发明提供的是一种掺杂菲醌的聚甲基丙烯酸甲酯材料及其制备方法。它是将甲基丙烯酸甲酯与占甲基丙烯酸甲酯的质量比为0.5%的偶氮二异丁腈和0.8-1.3%的菲醌进行混合;将混合液在55-60℃下进行预聚合2-5小时;升温至75-85℃进行链引发15-25分钟;迅速降温至55-60℃进行聚合48-72小时;按需要进行切割和抛光,制得的产品。本发明的光致聚合物全息记录材料颜色为黄色或橙黄色,形状为盘状或体块状,厚度可为几个毫米至一厘米。吸收对于波长小于550nm的光波较为敏感,衍射效率能够超过70%。曝光时体积收缩极小可近似忽略,散射较低。再现图像保真度高。成本低廉,非常适用于光全息存储。
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公开(公告)号:CN101134796A
公开(公告)日:2008-03-05
申请号:CN200710144437.2
申请日:2007-10-12
申请人: 哈尔滨工业大学
IPC分类号: C08F220/14 , C08F2/44 , C08F4/04 , C08J5/00 , C08K5/00
摘要: 本发明提供的是一种掺杂菲醌的聚甲基丙烯酸甲酯材料及其制备方法。它是将甲基丙烯酸甲酯与占甲基丙烯酸甲酯的质量比为0.5%的偶氮二异丁腈和0.8-1.3%的菲醌进行混合;将混合液在55-60℃下进行预聚合2-5小时;升温至75-85℃进行链引发15-25分钟;迅速降温至55-60℃进行聚合48-72小时;按需要进行切割和抛光,制得的产品。本发明的光致聚合物全息记录材料颜色为黄色或橙黄色,形状为盘状或体块状,厚度可为几个毫米至一厘米。吸收对于波长小于550nm的光波较为敏感,衍射效率能够超过70%。曝光时体积收缩极小可近似忽略,散射较低。再现图像保真度高。成本低廉,非常适用于光全息存储。
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公开(公告)号:CN114397670B
公开(公告)日:2024-07-05
申请号:CN202210042018.2
申请日:2022-01-14
申请人: 哈尔滨工业大学
摘要: 高速运动目标微多普勒测量的激光雷达系统及测量方法,属于激光雷达探测技术领域。为了解决在探测高速运动目标的微多普勒效应时,目标平动产生的多普勒频移太高,超出了光电探测器响应带宽,无法对高速运动目标进行有效的探测的问题。本发明利用激光光源模块单元产生本振光和信号光,并利用频率调制模块单元将本振光进行频移,使其在与信号光做外差探测,其频移量抵消信号光回波中目标平动所产生的多普勒频移,使两者的差频分量被光电探测器响应;最后利用平衡探测模块单元将信号光的回波与移频后的本振光进行合束,对合束后的光进行探测,采集中频信号并进行处理,获取含有高速运动目标微动信息的信号频谱分布。主要用于运动目标微多普勒测量。
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公开(公告)号:CN114611362B
公开(公告)日:2023-08-15
申请号:CN202210283632.8
申请日:2022-03-22
申请人: 中国工程物理研究院流体物理研究所 , 哈尔滨工业大学
摘要: 本发明公开了一种大型器械工作面的安装调试方法、电子装置及介质,包括以下步骤:计算装调工况理论位姿与工作工况理论位姿的理论偏差值以及理论坐标变换矩阵;获取工作面在装调工况下的实际位姿以及工作面在工作工况下的预期位姿;根据理论偏差值、实际位姿、预期位姿以及理论坐标变换矩阵获取装调工况下的位姿调整偏差值;基于位姿调整偏差值调整实际位姿。本发明的目的在于提供一种大型器械工作面的安装调试方法、电子装置及介质,抵消了安装调试等微小偏差的影响,因此在实际安装过程中,只需要对装调环境下各测量点的实际位姿测量一次就能获得理想调整值,根据理想调整值进行装配调整,即可使工作面在工作工况下获得理想的位姿精度。
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公开(公告)号:CN116430398A
公开(公告)日:2023-07-14
申请号:CN202310359199.6
申请日:2023-04-06
申请人: 哈尔滨工业大学
摘要: 基于TOF相机与双目视觉数据融合的测距方法及设备,属于融合测距技术领域。为了解决现有的距离测量方式存在由于系统不确定性、环境干扰及失效数据导致测距精度低的问题。本发明首先对每组数据利用高斯模型处理,剔除偏差过大的距离值,选择高概率距离值并计算平均值,得到测距最优值;测量数据在近距离段采用双目视觉测距平均值为最后测距值,在远距离段采用TOF相机测距平均值为最后测距值,在中间距离段采用自适应加权融合方法,对TOF测距平均值与双目视觉测距平均值分配不同权重,TOF相机与双目视觉的测距平均值与各自权重相乘后求和,作为中间距离段的最后测距值。
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公开(公告)号:CN114417681B
公开(公告)日:2022-06-17
申请号:CN202210335488.8
申请日:2022-04-01
申请人: 中国工程物理研究院流体物理研究所 , 哈尔滨工业大学
摘要: 本发明公开了基于动态决策和神经网络的二维结构变形监测方法及装置,包括获取二维平面结构不同位置不同时间的应变数据和结构变形值;构建数据集;构建深度神经网络模型并进行模型训练;对实时采集的应变数据进行动态决策分析,得到动态决策结果;将不同时刻的应变数据分别输入基于卷积神经网络的变形重构模型、基于时间卷积网络的变形预测模型,根据基于卷积神经网络的变形重构模型进行变形重构,得到各监测位置处的变形重构量;根据基于时间卷积网络的变形预测模型进行变形预测,得到各监测位置处的变形预测结果;根据变形重构量、变形预测结果,结合传感器坐标位置信息,采用三次样条插值法拟合出整个平面结构的变形场。发明变形重构精度高。
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公开(公告)号:CN114417642B
公开(公告)日:2022-06-10
申请号:CN202210314858.X
申请日:2022-03-29
申请人: 中国工程物理研究院流体物理研究所 , 哈尔滨工业大学
IPC分类号: G06F30/20 , G06F30/10 , G06F119/14
摘要: 本发明公开了一种大型结构表面变形预测方法,包括以下步骤:基于大型结构的相关参数计算各个背架与各个骨架在连接处的变形转角大小;基于重力场、温度场、风场以及所述变形转角大小构建骨架力学模型;基于所述骨架力学模型计算所述大型结构的形变函数;基于所述形变函数和所述变形转角大小计算所述大型结构在对应位置处的表面变形值,基于所述变形转角大小和应力函数计算所述大型结构在对应位置处的表面应力值。本发明提供一种大型结构表面变形预测方法,旨在解决现有技术中因忽略温度场以及风场对结构表面变形的影响从而导致预测的结构变形存在极大的误差的技术问题。
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公开(公告)号:CN114417537A
公开(公告)日:2022-04-29
申请号:CN202210335443.0
申请日:2022-04-01
申请人: 中国工程物理研究院流体物理研究所 , 哈尔滨工业大学
IPC分类号: G06F30/17 , G06F30/23 , G06F17/16 , G06F119/14
摘要: 本发明公开了一种开式行骨架结构变形场实时测量方法、装置及系统,包括:对结构施加模拟负载,采集数据,形成预标定数据集;获取被测结构的实时应力应变数据;对一定数量测量点的位移或坐标进行测量;将实时获取的一组应力应变数据与预标定数据集各组数据进行相似度计算;进行相似度排序,从预标定数据集中选取K组预标定数据;根据相似度数据,计算相似度系数矩阵;根据相似度系数矩阵和所选取的预标定数据,对当前受力状态下的监测点变形位移数据进行计算;采用差值方法对整个阵面变形场进行差值计算,拟合出整个阵面上任意点的变形量,得到实时变形场拟合数据。本发明方法计算效率高,速度快、变形场测量时间延迟低,且精度较高。
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公开(公告)号:CN109465542B
公开(公告)日:2020-01-07
申请号:CN201910010571.6
申请日:2019-01-07
申请人: 哈尔滨工业大学
IPC分类号: B23K26/064 , B23K26/142 , B23K26/70 , B08B7/00
摘要: 本发明公开了一种超长线光斑激光高效清洗装置,包括转接架、光学系统和光纤激光器,转接架的一端用于连接工作手臂,转接架的另一端与光学系统连接,光学系统后端设置有光纤激光器,光学系统包括第一柱面反射镜、第二柱面反射镜和透镜组,第一柱面反射镜和第二柱面反射镜均为月牙三棱柱型,第一柱面反射镜与第二柱面反射镜能够将光束进行清洗进给方向上的压缩和垂直进给方向上的扩束,透镜组设置在光纤激光器与第一柱面反射镜之间,透镜组能够将激光光束中心能量高的部分整形,保证中心和边缘的能量一致性高,使本发明适用于大型复杂构件,且其清洗效率高、清洗质量好,解决了目前大型复杂构件激光清洗效率较低和清洗质量均匀性差的问题。
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