一种快速换靶双面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机

    公开(公告)号:CN104611680B

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201510066454.3

    申请日:2015-02-09

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: C23C14/56 C23C14/35

    摘要: 本发明公开了一种快速换靶双面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于镀膜设备领域。本发明利用开卷机构和收卷机构之间的基带经过设于真空室内的换向辊换向后呈“S”形缠绕于两组冷辊上,实现基带的双面镀膜,合理利用了真空室的空间;开卷机构和收卷机构处各设置一组纠偏装置,利用两组纠偏装置实现基带的往复连续运动,使基带的收卷边缘整齐,达到连续镀多层膜的加工目的;通过在每组冷辊上对应设置至少两组回转换靶装置,一次镀膜行程可以完成基材两面多层膜的镀制,大大提高了镀膜机双面镀膜的效率,且镀膜精度高,同时利用回转换靶装置在不打开镀膜真空室的情况下即可及时更换阴极靶,节省了传统换靶后再次抽真空所需的时间。

    一种双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机

    公开(公告)号:CN104611682B

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201510066782.3

    申请日:2015-02-09

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: C23C14/56 C23C14/35

    摘要: 本发明公开了一种双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于真空镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、两组冷却辊、收卷机构、回转换靶装置和纠偏装置,开卷机构和收卷机构之间的基带经过换向辊换向后呈“S”形缠绕于两组冷却辊上,开卷机构和收卷机构处各设置一组纠偏装置;两组冷却辊缠绕有基带的圆周表面上各对应设置有一组两面开口的阴极小室,两组阴极小室各对应设置一组回转换靶装置;开卷机构和收卷机构带动基带往复运动。本发明在不打开镀膜真空室的情况下即可及时更换阴极靶,并利用双冷却辊及基材的往复运动设计实现了双面多层膜层的连续镀制,简化了镀膜机的电气控制装置及程序,提高了镀膜效率;结构紧凑,占地空间小。

    一种柔性基材双面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线

    公开(公告)号:CN104651799B

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201510103282.2

    申请日:2015-03-09

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: C23C14/56 C23C14/35

    摘要: 本发明公开了一种柔性基材双面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线,属于镀膜设备领域。本发明包括开卷室、收卷室和镀膜真空室,开卷室与镀膜真空室之间还设有放卷储料室,收卷室与镀膜真空室之间还设有收卷储料室,放卷储料机构的前方设有热合机构,收卷储料机构的后方设有切断机构和基材变向机构;缠绕于两组开卷辊上的其中一卷基材的一端依次经过热合机构、放卷储料机构和前处理机构后,经换向辊换向后反向缠绕于两组冷辊上,并依次经过收卷储料机构、切断机构和基材变向机构后缠绕于其中一组收卷辊上。本发明利用开卷的提前备料和收卷的提前备辊实现多卷基材的连续镀制,大大提高了镀膜效率,并利用基材在两组冷辊上反向缠绕实现基材双面镀膜。

    基于机器视觉的非连续性锂电池薄膜缺陷检测方法及其装置

    公开(公告)号:CN103499585B

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201310498576.0

    申请日:2013-10-22

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: G01N21/88

    摘要: 本发明涉及利用机器视觉和图像处理技术进行在线检测的技术领域,主要涉及锂电池涂布机现场利用机器视觉系统对非连续性锂电池薄膜缺陷进行在线检测的方法,提供一种基于机器视觉的非连续性锂电池薄膜缺陷在线自动检测方法,该方法采用三条水平扫描线的相邻灰度点求差法得到灰度突变点,从而确定连续性薄膜区间,采用最优阈值算法实现灰度图像的二值化分割,对于二值化图像采用保留大面积缺陷法定位缺陷目标,提取缺陷几何和投影特征作为识别参数,最后采用最小欧式距离实现缺陷目标快速识别和分类。

    一种快速换靶单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机

    公开(公告)号:CN104674181A

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201510068221.7

    申请日:2015-02-09

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: C23C14/56 C23C14/35

    摘要: 本发明公开了一种快速换靶单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、冷却辊、收卷机构、阴极小室、纠偏装置和回转换靶装置,开卷机构和收卷机构处各设有一组纠偏装置;冷却辊、阴极小室和回转换靶装置处于同一轴线上;回转换靶装置包括机座、回转盘、回转机构、轴向伸缩机构、两个或两个以上的伸缩轴套、极靶座板和径向伸缩机构,当轴向伸缩机构收缩后,径向伸缩机构刚好位于一个伸缩轴套的下方;开卷机构和收卷机构带动基带实现往复运动。本发明在不打开真空室的情况下即可快速更换阴极靶,并利用基材往复运动实现多层膜层的连续镀制,每层膜均能单独镀制,便于膜层参数的控制;设备结构紧凑。

    一种快速换靶双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机

    公开(公告)号:CN104674180A

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201510068156.8

    申请日:2015-02-09

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: C23C14/56 C23C14/35

    CPC分类号: C23C14/562 C23C14/35

    摘要: 本发明公开了一种快速换靶双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、收卷机构、两组冷辊、回转换靶装置和纠偏装置,开卷机构和收卷机构之间的基带经过换向辊换向后呈“S”形缠绕于两组冷辊上,开卷机构和收卷机构处各设置一组纠偏装置,且开卷机构和收卷机构带动基带实现往复运动;两组冷辊缠绕有基带的圆周表面上各对应设置有一组两面开口的阴极小室,两组阴极小室各对应设置一组回转换靶装置。本发明在无需打开镀膜真空室的情况下即可及时快速地更换阴极靶,并利用双冷辊及基材的往复运动设计实现了双面多层功能膜的连续镀制,提高了镀膜效率;基材两面的每层功能膜均单独镀制,便于膜层参数控制。

    一种高效率单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机

    公开(公告)号:CN104674175A

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201510067746.9

    申请日:2015-02-09

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/56

    摘要: 本发明公开了一种高效率单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于真空镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、收卷机构、设于真空室内的冷辊、纠偏装置、两个或两个以上的回转换靶装置、以及与每个回转换靶装置位置相对应的上下两面开口的阴极小室,开卷机构与换向辊之间、收卷机构与换向辊之间各设有一组纠偏装置;阴极小室分布于冷辊包覆有基带的圆周面上;极靶座板旋转到对应的阴极小室下方,并向外伸出将靶芯嵌入阴极小室内,开卷机构和收卷机构带动基带往复运动。本发明在不打开镀膜真空室的情况下即可及时更换阴极靶,并利用基材往复运动实现多层膜层的镀制,大大提高了镀膜机镀多层功能膜的效率;同时,设备结构紧凑,占地空间小。

    基于LED相对光谱随温度变化的结温测试方法

    公开(公告)号:CN103267588B

    公开(公告)日:2015-04-01

    申请号:CN201310221606.3

    申请日:2013-06-05

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: G01K11/00

    摘要: 本发明公开了一种基于LED相对光谱随温度变化的结温测试装置及其方法,属于LED光电检测领域。本发明的一种基于LED相对光谱随温度变化的结温测试装置及其方法,主要包括驱动电源、恒温器、积分球仪、光谱分析仪,根据LED结温与相对光谱之间存在相关性的原理,一方面通过恒温器控制待测LED的温度,并利用小电流驱动待测LED发光;另一方面,通过光谱分析仪采集待测LED的相对光谱,并采用不同温度下的相对光谱与参考相对光谱围成的面积为结温表征参数,通过拟合得到结温表征参数与LED结温的关系公式。本发明的主要用途是提供一种测量更加准确、可靠、方便,且简单、实用、廉价的LED结温检测装置及其方法。

    一种用加权宽度表征GaN基LED结温的方法

    公开(公告)号:CN104006898A

    公开(公告)日:2014-08-27

    申请号:CN201410268532.3

    申请日:2014-06-16

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: G01K11/00 G01R31/26 G06F19/00

    摘要: 本发明公开了一种用加权宽度表征GaN基LED结温的方法,首先要对LED结温建立公式,小电流所产生的LED光源的自加热过程对结温影响较小,恒温器与LED光源之间的热阻较小,使用恒温器温度代替LED结温。测量不同恒温器温度下的加权宽度,建立加权宽度与结温的关系式。再根据公式及测量的工作条件下LED光源的加权宽度,便可方便的求出工作条件下LED的结温。本发明单次标定,多次测量。操作简单,仅需常规的光电测试装置。加权宽度容易准确测量,测量的可重复性高。不接触LED引脚。可以用于单颗LED结温测量,也可以用于多颗LED组成的阵列的平均结温测量,使用范围广。

    一种基于物联网技术的窄小空间侦查小车

    公开(公告)号:CN117963004A

    公开(公告)日:2024-05-03

    申请号:CN202311705945.9

    申请日:2023-12-13

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: B62D21/18 B60B19/12 B60R11/00

    摘要: 本发明公开了一种基于物联网技术的窄小空间侦查小车,包括车架,所述车架的两侧对称设安装有麦克纳姆轮,且车架上还安装有驱动麦克纳姆轮转动的步进电机,所述车架上还固定安装有电路板,所述电路板上设置有ESP‑12F单片机和AT8222芯片,用于控制步进电机,实现在窄小空间内全向移动。本申请通过融合物联网技术和机器人技术,实现对狭窄空间的高效侦察和监测。这种侦察车可以通过传感器和网络连接收集环境数据,并通过手机APP显示侦察画面和远程控制其行驶路线,从而提供实时的侦察结果。降低人类在窄小空间内的工作难度和安全隐患。