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公开(公告)号：CN102844857A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201180019560.6
申请日：2011-04-14
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: H01L23/15
CPC classification number: H01L23/15 , H01L21/4807 , H01L23/49827 , H01L2924/0002 , Y10T428/24273 , Y10T428/24298 , H01L2924/00
Abstract: 提供与现有的半导体器件贯通电极用的玻璃基板相比具有更加良好的强度的玻璃基板。本发明涉及玻璃基板，其特征在于，其为具有第1表面和第2表面，且具有从所述第1表面延伸到所述第2表面的贯通孔的半导体器件贯通电极用的玻璃基板，其中，所述第1表面和第2表面的至少一个进行了化学强化。
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公开(公告)号：CN101959818A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980107137.4
申请日：2009-02-27
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03B19/1461 , C03B19/1453 , C03B2201/12 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/12 , C03C2203/46 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其在使用高EUV能量的光辐照时的线性热膨胀系数基本为零，适合作为EUVL用曝光工具的光学部件。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的卤素含量为100ppm以上；假想温度为1100℃以下；在20至100℃范围内的平均线性热膨胀系数为30ppb/℃以下；线性热膨胀系数为0±5ppb/℃时的温度宽度ΔT为5℃以上；线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于30至150℃的范围内。
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公开(公告)号：CN104854050B
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201380063518.3
申请日：2013-12-02
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C03C3/091 , G02F1/1333
CPC classification number: C03C3/091
Abstract: 本发明涉及一种无碱玻璃基板，其应变点为685℃以上且750℃以下，50～350℃下的平均热膨胀系数为35×10‑7～43×10‑7/℃，比重为2.50～2.80，光弹性常数为25nm/MPa/cm以上且小于29nm/MPa/cm，粘度达到104dPa·s时的温度(T4)为1250℃以上且小于1350℃，并且具有规定的组成。
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公开(公告)号：CN103261109B
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201180059101.0
申请日：2011-12-02
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种无碱玻璃，其中，应变点为725℃以上，50～300℃下的平均热膨胀系数为30×10‑7～40×10‑7/℃，玻璃粘度达到102dPa·s的温度T2为1710℃以下，玻璃粘度达到104dPa·s的温度T4为1320℃以下，以基于氧化物的摩尔%表示，包含SiO2：66～70、Al2O3：12～15、B2O3：0～1.5、MgO：大于9.5且为13以下、CaO：4～9、SrO：0.5～4.5、BaO：0～1和ZrO2：0～2，MgO+CaO+SrO+BaO为17～21，MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.4以上，MgO/(MgO+CaO)为0.4以上，MgO/(MgO+SrO)为0.6以上，并且实质上不含碱金属氧化物。
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公开(公告)号：CN104136383B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201380011257.0
申请日：2013-02-26
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03B5/027 , C03B5/235 , C03B5/43 , C03C3/087 , C03C3/091 , C04B35/484 , C04B2235/3201 , C04B2235/3217 , C04B2235/3232 , C04B2235/3234 , C04B2235/3272 , C04B2235/3409 , C04B2235/3418 , C04B2235/36 , C04B2235/725 , Y02P40/57
Abstract: 本发明涉及一种无碱玻璃的制造方法，将玻璃原料投入熔窑中，加热至1350～1750℃的温度而制成熔融玻璃后，利用浮法将该熔融玻璃成形为板状，所述无碱玻璃的制造方法中，所述熔窑中的加热联合使用利用燃烧器的燃烧火焰进行的加热和利用以浸渍在所述熔窑内的熔融玻璃中的方式配置的加热电极对该熔融玻璃进行的通电加热，在将所述熔融玻璃在1350℃下的电阻率设为Rg(Ωcm)、将构成所述熔窑的耐火物在1350℃下的电阻率设为Rb(Ωcm)时，按照Rb>Rg的方式选择所述玻璃原料和所述耐火物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105813996A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201480067980.5
申请日：2014-12-12
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03C3/087 , C03C4/18 , C03C21/002 , C03C2204/00
Abstract: 本发明涉及一种化学强化用玻璃，其为以氧化物基准的质量百分率表示含有63～75％的SiO2、3～12％的Al2O3、3～10％的MgO、0.5～10％的CaO、0～3％的SrO、0～3％的BaO、10～18％的Na2O、0～8％的K2O、0～3％的ZrO2和0.005～0.25％的Fe2O3的玻璃板，其中，粘度达到102dPa·s时的温度(T2)为1525℃以下，并且，R2O/Al2O3(式中，R2O为Na2O+K2O)为2.0以上且4.6以下。根据本发明的化学强化用玻璃，解决现有的铝硅酸盐玻璃难以熔融的问题点和CTE升高的问题点，并且可以进一步提高CS和DOL。
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公开(公告)号：CN104470866A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201380037141.4
申请日：2013-07-11
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C03B33/09 , B23K26/142 , B23K26/38 , B23K26/402
CPC classification number: C03B33/091 , B23K26/08 , B23K26/14 , B23K26/1476 , B23K26/364 , B23K26/38 , B32B17/06 , B32B2250/03 , C03B27/0413 , Y10T428/161
Abstract: 本发明提供外观设计性优良的小尺寸的物理强化玻璃板的制造方法及利用该小尺寸的物理强化玻璃板的结构体以及其制造方法。本发明的强化玻璃板的制造方法的切割工序中，利用激光(20)在退火点以下的温度下对中间层(17)局部地进行加热，使中间层(17)中局部地产生比内部残余拉应力CT小的拉应力或压应力，从而控制由内部残余拉应力引起的裂纹(30)的扩展速度。
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公开(公告)号：CN104364217A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380029856.5
申请日：2013-05-30
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种玻璃基板的精研磨方法，使用含有二氧化铈作为研磨磨粒的研磨浆料对玻璃基板的主面进行研磨，其中，所述玻璃基板的组成为下述的无碱玻璃，所述精研磨方法包括在下述条件下进行研磨的阶段：在将所述玻璃基板的主面的起伏换算为20mm间距的起伏而得到起伏的高度从0.14μm变化至0.10μm时的所述玻璃基板的研磨量设为X(μm)时，使0.04/X为0.12以上，所述无碱玻璃的应变点为710℃以上，50～350℃下的平均热膨胀系数为30×10-7～43×10-7/℃，玻璃粘度达到102dPa·s时的温度T2为1710℃以下，玻璃粘度达到104dPa·s时的温度T4为1320℃以下，以基于氧化物的摩尔％计，含有SiO2：66～70、Al2O3：12～15、B2O3：0～1.5、MgO：大于9.5且为13以下、CaO：4～9、SrO：0.5～4.5、BaO：0～1、ZrO2：0～2，MgO+CaO+SrO+BaO为17～21，MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.40以上，MgO/(MgO+CaO)为0.40以上，MgO/(MgO+SrO)为0.60以上。
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公开(公告)号：CN104334507A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201380028321.6
申请日：2013-05-30
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种无碱玻璃基板，其为通过氢氟酸(HF)蚀刻处理减薄了5μm以上的、板厚为0.4mm以下的无碱玻璃基板，其比模量为32MNm/kg以上，光弹性常数为31nm/MPa/cm以下，该基板的玻璃的应变点为710℃以上，50～350℃下的平均热膨胀系数为30×10-7～43×10-7/℃，粘度达到102dPa·s时的温度T2为1710℃以下，粘度达到104dPa·s时的温度T4为1320℃以下，该玻璃的组成以基于氧化物的摩尔％计含有：SiO2 66～70、Al2O3 12～15、B2O3 0～1.5、MgO大于9.5且为13以下、CaO 4～9、SrO 0.5～4.5、BaO 0～1、ZrO2 0～2，MgO+CaO+SrO+BaO为17～21，MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.40以上，MgO/(MgO+CaO)为0.40以上，MgO/(MgO+SrO)为0.60以上。
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公开(公告)号：CN104220388A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201380019467.4
申请日：2013-04-04
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03C21/007 , C03B18/20 , C03C3/087 , C03C3/093 , C03C15/02
Abstract: 本发明涉及如下的玻璃板，其为使连续供给至浮法槽内的熔融金属(例如熔融锡)上的熔融玻璃在熔融金属上流动而成形的玻璃板，其中，从在浮法槽内暴露于还原气氛的顶面起算的深度为0.3～0.5μm的位置处的玻璃的硫浓度为与从顶面起算的深度为3μm的位置处的玻璃的硫浓度同等以上。
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