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公开(公告)号：CN102421713A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201080021096.X
申请日：2010-05-11
申请人： 旭硝子株式会社
CPC分类号： C03B19/1453 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B32/00 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/42 , C03C2203/52 , G03F1/24
摘要： 本发明提供一种TiO2-SiO2玻璃体的制造方法，其包含如下工序：在将透明玻璃化后的TiO2-SiO2玻璃体的退火点设为T1(℃)时，将透明玻璃化后的玻璃体在从T1-90(℃)至T1-220(℃)的温度范围内保持120小时以上。
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公开(公告)号：CN102428046A
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN201080021581.7
申请日：2010-05-11
申请人： 旭硝子株式会社
CPC分类号： C03B25/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B19/1453 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , G03F1/24 , Y02P40/57 , Y10T428/24355
摘要： 本发明涉及一种TiO2-SiO2玻璃体的制造方法，其包含如下工序：在将透明玻璃化后的TiO2-SiO2玻璃体的退火点设为T1(℃)时，以T1+400℃以上的温度将透明玻璃化后的玻璃体加热20小时以上的工序；和以10℃/小时以下的平均降温速度将该加热工序后的玻璃体从T1(℃)冷却至T1-400(℃)的工序。
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公开(公告)号：CN101959812B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN200980106891.6
申请日：2009-02-27
申请人： 旭硝子株式会社
CPC分类号： C03B19/1453 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B2201/075 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C4/0071 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F7/70958 , Y02P40/57
摘要： 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其中当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用高EUV能量的光辐照时热膨胀系数基本为零，并且通过从玻璃中释出氢能够长时间保持多层的物理性能。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1100℃以下，氢分子浓度为1×1016分子/cm3以上，并且线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内。
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公开(公告)号：CN101959818A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980107137.4
申请日：2009-02-27
申请人： 旭硝子株式会社
CPC分类号： C03B19/1461 , C03B19/1453 , C03B2201/12 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/12 , C03C2203/46 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , Y02P40/57
摘要： 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其在使用高EUV能量的光辐照时的线性热膨胀系数基本为零，适合作为EUVL用曝光工具的光学部件。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的卤素含量为100ppm以上；假想温度为1100℃以下；在20至100℃范围内的平均线性热膨胀系数为30ppb/℃以下；线性热膨胀系数为0±5ppb/℃时的温度宽度ΔT为5℃以上；线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于30至150℃的范围内。
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公开(公告)号：CN101959820A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106555.1
申请日：2009-02-26
申请人： 旭硝子株式会社
CPC分类号： C03B19/1453 , C03B19/1415 , C03B2201/075 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/70 , C03B2207/81 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , Y02P40/57
摘要： 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用EUV光辐照时的范围内，其线性热膨胀系数基本为零，并具有极高的表面平滑度。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的TiO2含量为7.5至12质量％，线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内，并且条纹应力水平的标准偏差(σ)在至少一个面内的30mm×30mm的区域内为0.03MPa以下。
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公开(公告)号：CN101959817A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106333.X
申请日：2009-02-25
申请人： 旭硝子株式会社
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C2201/23 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54
摘要： 本发明提供一种TiO2-SiO2玻璃，其在用作EUVL用曝光工具的光学部件时，当用高EUV能量光辐照时，所述玻璃的线性热膨胀系数基本上为零。本发明涉及含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1000℃以下，OH浓度为600ppm以上，线性温度系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内，且在20至100℃温度范围内的平均线性热膨胀系数为50ppb/℃以下。
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公开(公告)号：CN101959812A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106891.6
申请日：2009-02-27
申请人： 旭硝子株式会社
CPC分类号： C03B19/1453 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B2201/075 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C4/0071 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F7/70958 , Y02P40/57
摘要： 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其中当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用高EUV能量的光辐照时热膨胀系数基本为零，并且通过从玻璃中释出氢能够长时间保持多层的物理性能。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1100℃以下，氢分子浓度为1×1016分子/cm3以上，并且线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内。
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