公开(公告)号：CN101959818A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980107137.4

申请日：2009-02-27

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  岩桥康臣 ,  菊川信也

IPC: C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1461 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/12 ,  C03C2203/46 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其在使用高EUV能量的光辐照时的线性热膨胀系数基本为零，适合作为EUVL用曝光工具的光学部件。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的卤素含量为100ppm以上；假想温度为1100℃以下；在20至100℃范围内的平均线性热膨胀系数为30ppb/℃以下；线性热膨胀系数为0±5ppb/℃时的温度宽度ΔT为5℃以上；线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于30至150℃的范围内。

公开(公告)号：CN104661972B

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：CN201380050400.7

申请日：2013-09-06

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： M.特罗默 ,  M.施韦林 ,  S.格里姆 ,  F.弗勒利希 ,  J.基尔希霍夫

IPC: C03B23/047 ,  C03B37/014 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03B37/018 ,  C03B19/1461 ,  C03B23/047 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/027 ,  C03B2201/12 ,  C03C3/04 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/12 ,  C03C2203/46 ,  C03C2203/54

Abstract: 本发明涉及氟化灰料体的方法，其包括以下步骤：a)提供灰料体，和b)将所述灰料体在(1280‑n*250)℃至(1220‑n*100)℃的温度下用包含CnF2n+2和氢的气体混合物处理，其中n=1或者2。

公开(公告)号：CN105431388A

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201480045062.2

申请日：2014-07-22

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： S.奥赫斯 ,  K.贝克 ,  S.托马斯

IPC: C03B19/14 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03B19/1461 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/00 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/46 ,  C03C2203/52 ,  C03C2204/00 ,  G03F1/52 ,  G03F1/60

Abstract: 存在于掺杂Ti的石英玻璃中的Ti3+离子导致该玻璃的棕色着色，由此使得玻璃的检测变得困难。已知通过足够高含量的OH基团确保Ti-掺杂石英玻璃中的Ti3+离子减少，有利于Ti4+离子，由此发生伴随着氢向外扩散的内氧化，或在低OH基团含量时，在玻璃化前需要氧气处理，所述氧气处理需要高处理温度和专用耐腐蚀炉并因此昂贵。为提供成本有利的生产在小于120重量ppm的羟基含量的同时在400纳米至1000纳米波长范围内具有至少70%的内透射率（10毫米样品厚度）的Ti-掺杂石英玻璃的方法，由基于火焰水解灰料沉积法出发本发明建议，在玻璃化之前对所述TiO2-SiO2灰料体施以包括用氮氧化物处理的调整处理。如此制得的Ti-掺杂石英玻璃的特征为Ti3+/Ti4+的比率

公开(公告)号：CN1345295A

公开(公告)日：2002-04-17

申请号：CN00805475.4

申请日：2000-03-07

Applicant: 康宁股份有限公司

Inventor： E·M·德利索 ,  C·E·莱西 ,  D·L·玛拉蒂

IPC: C03B37/012

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/01446 ,  C03B2201/12 ,  C03B2203/26 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/46

Abstract: 一种使用氟掺杂剂气体控制折射率的方法,它使用CF4作为掺杂剂气体,使用CF4掺杂粉末预制棒(12),掺杂的时间和温度足以使最靠近与CF4接触的表面具有低的氟掺杂量。预制棒(12)安装在手柄(11)上,该手柄熔合到手柄(14)上并且组件(20)在马弗炉膛(15)中加热。CF4如箭头(17)所示流过炉膛(15),它较好含有稀释气体如氦。在多个实例中任选的由氦组成的中央气体(16)可流过轴线孔(18)。多孔预制棒(12)的顶端可任选地包括毛细管(19)以防止炉膛气体(17)进入预制棒。

公开(公告)号：CN103619767B

公开(公告)日：2017-07-28

申请号：CN201280030434.5

申请日：2012-11-16

Applicant: 住友电气工业株式会社

Inventor： 田村欣章 ,  春名彻也 ,  平野正晃

IPC: C03B37/018 ,  C03B20/00

CPC classification number: G02B6/03622 ,  C03B37/01413 ,  C03B37/018 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01815 ,  C03B37/027 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/50 ,  C03B2203/22 ,  C03B2203/23 ,  C03B2203/34 ,  C03B2203/36 ,  C03C13/04 ,  C03C13/045 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/46 ,  G02B6/02019 ,  G02B6/02242 ,  G02B6/02266 ,  G02B6/036 ,  G02B6/03611 ,  G02B6/03627 ,  G02B6/03694 ,  Y02P40/57 ,  Y10T428/2964

Abstract: 本发明提供了一种容易制备的光纤预制件，通过对该光纤预制件进行拉丝可获得光纤,该光纤的芯可含有足够浓度的碱金属。所述光纤预制件(10)含有石英玻璃作为主要成分,并且具有芯部分(20)和包层部分(30)。所述芯部分(20)包括：第一芯部分(21)，其包括中心轴；和第二芯部分(22)，其设置在所述第一芯部分(21)的外周。所述包层部分(30)包括：设置在所述第二芯部分(22)的外周的第一包层部分31；以及设置在所述第一包层部分(31)的外周的第二包层部分(32)。所述芯部分(20)含有平均浓度为5原子ppm以上的碱金属。所述第一包层部分(31)的外周部分中的OH基团浓度为200摩尔ppm以上。

公开(公告)号：CN103619767A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201280030434.5

申请日：2012-11-16

Applicant: 住友电气工业株式会社

Inventor： 田村欣章 ,  春名彻也 ,  平野正晃

IPC: C03B37/018 ,  C03B20/00

CPC classification number: G02B6/03622 ,  C03B37/01413 ,  C03B37/018 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01815 ,  C03B37/027 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/50 ,  C03B2203/22 ,  C03B2203/23 ,  C03B2203/34 ,  C03B2203/36 ,  C03C13/04 ,  C03C13/045 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/46 ,  G02B6/02019 ,  G02B6/02242 ,  G02B6/02266 ,  G02B6/036 ,  G02B6/03611 ,  G02B6/03627 ,  G02B6/03694 ,  Y02P40/57 ,  Y10T428/2964

Abstract: 本发明提供了一种容易制备的光纤预制件，通过对该光纤预制件进行拉丝可获得光纤,该光纤的芯可含有足够浓度的碱金属。所述光纤预制件(10)含有石英玻璃作为主要成分,并且具有芯部分(20)和包层部分(30)。所述芯部分(20)包括：第一芯部分(21)，其包括中心轴；和第二芯部分(22)，其设置在所述第一芯部分(21)的外周。所述包层部分(30)包括：设置在所述第二芯部分(22)的外周的第一包层部分31；以及设置在所述第一包层部分(31)的外周的第二包层部分(32)。所述芯部分(20)含有平均浓度为5原子ppm以上的碱金属。所述第一包层部分(31)的外周部分中的OH基团浓度为200摩尔ppm以上。

公开(公告)号：CN101639624A

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：CN200910158613.7

申请日：2009-07-07

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 每田繁 ,  大塚久利

IPC: G03F1/14 ,  C03B20/00

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B23/0026 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/46 ,  C03C2203/52 ,  Y10T428/31616

Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃元件及制备方法，该石英玻璃元件具有反射至多70nm波长的EUV光的表面，其中该表面中的折射率分布在该元件的中心80％区域内仅具有一个极点。该掺杂二氧化钛的石英玻璃元件具有高精度水平的表面且因此可形成为平整度和热膨胀性能得到改善的EUV光刻法光掩模衬底。该石英玻璃元件的制备方法包括：提供掺杂二氧化钛的石英玻璃坯锭；在空气中于700-1300℃下将该坯锭保持1-200小时以退火；以1-20℃/h的速率将该坯锭缓慢冷却至500℃；将该坯锭置于在炉子中旋转的成型坩埚中，所述炉子的温度分布具有在1700℃下至少1.5℃/cm的温度梯度；在该坩埚中热加工该掺杂二氧化钛的石英玻璃。

公开(公告)号：CN1105088C

公开(公告)日：2003-04-09

申请号：CN98116271.1

申请日：1998-08-10

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 小峯典男 ,  藤原诚志 ,  神保宏树

IPC: C03B8/02 ,  C03B20/00

CPC classification number: C03B19/1484 ,  C03B19/1423 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/36 ,  C03B2207/66 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/46

Abstract: 提供在耐紫外线性能和折射率均匀性两方面都具有优异性能的石英玻璃的制造方法，基本上不合氯(C1)的石英玻璃的制造方法中包含自石英玻璃制喷嘴分别喷出四氟化硅(SiF4)气体、氧气和氢气的过程，四氟化硅(SiF4)气体与氧气和氢气反应生成的水进行反应产生石英玻璃微粒的过程，石英玻璃微粒在靶表面上堆积的过程，和把在靶表面上堆积的石英玻璃微粒熔融、玻璃化使之成为石英玻璃的过程，并且四氟化硅(SiF4)气体的喷出速度在9～20L·min-1·cm-2的范围内。

公开(公告)号：CN105271649B

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201510427428.9

申请日：2015-07-20

Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司

Inventor： 马尔特·斯威林 ,  马丁·特罗姆尔 ,  斯特芬·兹瓦格

IPC: C03B20/00 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03B19/066 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B23/045 ,  C03B23/095 ,  C03B23/099 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/01453 ,  C03B37/0146 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/36 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/46

Abstract: 本发明涉及生产掺杂石英玻璃的方法。此外，本发明涉及根据所述方法能够获得的石英玻璃及其在光学领域中的应用，例如用作光学组件。

公开(公告)号：CN107406309A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680017759.8

申请日：2016-03-22

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 三浦丈宜 ,  宫坂聪史 ,  林泰夫 ,  山中一彦

IPC: C03C23/00 ,  C03C15/00 ,  C03C21/00

CPC classification number: C03C21/007 ,  C03C3/085 ,  C03C3/087 ,  C03C15/00 ,  C03C21/00 ,  C03C21/002 ,  C03C23/008 ,  C03C23/0095 ,  C03C2201/12 ,  C03C2203/46

Abstract: 本发明的目的在于，提供一种即使对玻璃表面进行磨削处理或研磨处理、也能够有效地抑制化学强化后的翘曲的玻璃板。本发明涉及一种玻璃板，其为具有第1主面和在厚度方向上位于第1主面相反侧的第2主面的玻璃板，其中，由下述式(1)表示的X为-0.29＜X＜0.29，并且通过下式(II)求出的F0-3为0.02以上，A×Δ1H/30Si+B×ΔNa2O+C×ΔSn+D×ΔF＝X   (1)F0-3＝[第1主面中的深度0～3μm的由SIMS得到的平均氟浓度(重量％)]×3  (II)。