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公开(公告)号：CN218475456U
公开(公告)日：2023-02-14
申请号：CN202222278079.7
申请日：2022-08-29
申请人： 河南东微电子材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种靶材喷涂用定位装置，包括壳体和风箱，所述风箱固定连接在壳体的内壁上，所述风箱的内壁上固定连接有一号伺服电机，所述一号伺服电机的输出端固定连接有转杆，所述转杆上固定套接有两个主动齿轮，上端所述主动齿轮通过第一链条传动连接有从动齿轮。本实用新型，通过扇叶、软管、连接管、吸风罩和喷涂枪之间的配合设置，使得扇叶可以将未被喷涂到靶材加工件的喷涂粉料吸附到吸附网板上，工作人员只需拉动把手将吸附网板抽出，即可清理喷涂粉料，方便快捷，减少了工作人员的工作量。
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公开(公告)号：CN218113041U
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202222400692.1
申请日：2022-09-09
申请人： 河南东微电子材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种包套装粉振实装置，包括底座，所述底座上固定连接有四个支撑柱，四个所述支撑柱的上端固定连接有支撑板，所述支撑板的上端设有多个包套放置槽，所述支撑板上安装有限位机构，四个所述支撑柱共同固定连接有横板，所述横板上下贯穿设有滑动设置的驱动杆和两个导向杆，所述驱动杆和两个导向杆的上端固定连接有移动板，所述移动板的上端安装有可拆卸的多个敲打柱，所述底座上安装有驱动驱动杆上下移动的驱动机构。本实用新型可以批量的对包套装粉振实作业，同时，可以对包套稳定的限位，也方便对敲打柱进行更换，且设置橡胶垫可以降低振实敲打时的噪音，也实现对敲打柱和支撑板的保护。
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公开(公告)号：CN218110461U
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202222125359.4
申请日：2022-08-12
申请人： 河南东微电子材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种钽靶材喷砂装置，包括喷砂箱，喷砂箱内设置有上挡板和下挡板；下挡板直径大于等于钽靶材背板的直径；下挡板的下方设有转动支撑组件；转动支撑组件包括下固定板，贯穿下固定板的转动轴；下固定板固定在喷砂箱的内壁上；转动轴与下固定板之间转动连接，且转动轴的下端与驱动机构连接；转动轴的上端设置有截面为矩形的插块一，下挡板下表面的中心部位设置有与插块一配合的凹槽一，下挡块通过该凹槽一插接在插块一上；上挡板与钽靶材的溅射区大小一致，上挡板的上表面设置有凹槽二，凹槽二中插接有插块二，插块二的截面为矩形，且其上连接有固定轴，该固定轴的上端转动连接有压紧组件；喷砂箱内设置有喷砂组件一和喷砂组件二。
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公开(公告)号：CN213997269U
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN202022777408.3
申请日：2020-11-26
申请人： 河南东微电子材料有限公司
IPC分类号： B21D3/00
摘要： 本实用新型公开了一种合金靶材的矫直装置，包括安装板，所述安装板上方固定连接有固定块，且一端垂直固定连接有安装杆，所述固定块上滑动卡设有一对移动块，两个所述移动块相互远离的一端均固定连接有固定条，且相互贴近的一端中部均开设有安装口，两个所述安装口中均滑动连接有挤压块，两个所述挤压块相互贴近的一端均开设有矫直口，所述固定条的长度大于移动块的宽度。本实用新型中，通过转动转动块，使得两个移动块相互贴近，从而使得两个挤压块相互贴近，从而合金靶材与两个挤压块上开设的矫直口内壁贴合，从而达到了矫直的效果。
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公开(公告)号：CN213731233U
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202022849448.4
申请日：2020-12-02
申请人： 河南东微电子材料有限公司
IPC分类号： B24C9/00
摘要： 本实用新型公开了一种靶材的喷砂遮蔽治具，涉及靶材喷砂治具，它包括靶材与设置靶材上端的非喷砂部，所述靶材上设有用于遮挡非喷砂部的遮挡机构，所述遮挡机构包括设置在非喷砂部上的遮板，所述遮板上端固定连接有壳体，所述壳体下端对称连通设有多个吸气管，多个所述吸气管下端均设有吸盘，多个所述吸盘下端与靶材上端接触，所述靶材上设有用于抽出吸盘内空气的抽气机构。本实用新型能够对非喷砂部进行有效地遮挡，从而保证了喷砂后的靶材达到使用标准，另外装置能够紧紧吸附在靶材表面，喷砂过程装置不会脱落，进一步保证了靶材喷砂的质量。
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公开(公告)号：CN218885320U
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202223245685.5
申请日：2022-12-05
申请人： 河南东微电子材料有限公司
IPC分类号： G01M3/26
摘要： 本实用新型涉及漏气检测装置技术领域，尤其为一种靶材包套漏气检测装置，包括操作台，所述操作台的顶面中间处开设有滑槽，所述滑槽的内部设置有螺杆，所述螺杆的外壁套接有螺纹滑套，所述螺纹滑套的上侧设置有漏气检测组件，设置的立板、密封垫、密封槽能够将靶材包套主体的右端密封住，设置的插管、密封圈能够将靶材包套主体的左端密封住，从而能够在检测时，使靶材包套主体呈密封状态，设置的电机、螺杆、螺纹滑套能够带动漏气检测组件进行移动，从而方便漏气检测组件与靶材包套主体的连接，设置的充气泵、插管、充气箱电子气压显示器能够将气体充到靶材包套主体内，并检测气压的情况，从而能够方便对靶材包套主体进行漏气检测。
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公开(公告)号：CN218879986U
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202222877744.4
申请日：2022-10-31
申请人： 河南东微电子材料有限公司
IPC分类号： C21D9/00 , H01L21/67 , H01L21/687
摘要： 本实用新型公开了一种热处理用消除板材应力的固定装置，包括底座，所述底座的上侧壁均匀固定连接有多个导轨，每个所述导轨的外壁均滑动套设有滑块，位于同一侧的所述滑块的上侧壁固定连接有承重杆，每个所述承重杆的顶端均固定连接有夹板一，所述底座的上侧壁对称固定连接有竖板，两个所述竖板的顶端共同固定连接有连接板，所述连接板的上侧壁螺纹连接有螺纹杆。本实用新型通过夹板二向下移动，从而夹板二紧贴在微电子板材的外壁，从而完成对微电子板材的固定，使微电子板材在热处理的时候，避免微电子板材由内应力而造成其变形，多个夹板一和夹板二的配合使用，可以提高微电子板材热处理加工效率。
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公开(公告)号：CN218873320U
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202222693084.4
申请日：2022-10-13
申请人： 河南东微电子材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种靶材生产校平装置，包括设置在地面上且呈矩形状的底座，所述底座的顶部通过呈“U”型的支撑板连接有液压缸，所述液压缸的底部设置有对靶材进行校平的校平机构，位于液压缸下方的所述底座顶部开设有矩形槽，所述矩形槽的内部套设有截面呈矩形状的校正台，所述校正台的顶部开设有呈圆形的校平槽，所述校平槽的下方设置有取出机构。本实用新型在使用时，利用校平机构，将变形的靶材放在校正台上的校平槽内，液压缸通过伸缩杆控制校平板的下移，下移的校平板会对变形的靶材进行挤压和校平，当校平板的底部与校正台的顶部相抵时，就可以完成对变形靶材的校平处理。
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公开(公告)号：CN218873271U
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202223101129.0
申请日：2022-11-22
申请人： 河南东微电子材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种大尺寸靶材轧制过程中使用的金属钳装置，包括机架、移动横板、安装板与两个电动滑轨，所述移动横板下端通过安装筒与安装板上端固定连接，所述移动横板上通过安装杆转动连接有转动板，所述转动板下设有用于固定材料的固定机构，所述固定机构包括固定连接在转动板下端的两个安装块，两个所述安装块上设有双头螺杆，所述双头螺杆上设有两个移动夹板，所述安装板上端固定连接有第二液压缸。本实用新型设置了固定机构，可以自动将轧制工位的材料进行夹持取出，还可以进行角度的调整，过程中不需要人为协助，从而使得材料可以快速投入下个加工工序中，进而提高了装置的实用性与自动化程度。
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公开(公告)号：CN218872072U
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202223009183.2
申请日：2022-11-11
申请人： 河南东微电子材料有限公司
摘要： 本实用新型涉及熔炼坩埚技术领域，特别是一种熔炼坩埚翻转搅拌装置，包括支撑架。本实用新型的优点在于：通过设置液压缸，液压缸的输出端与防护外壳转动连接，进而液压缸伸长或者缩短动作，从而便于推动坩埚本体围绕两个限位柱的轴线进行转动，便于将坩埚本体内部的液体进行倒出，通过设置有两个导轨、两个第一电机、两个丝杆和上盖，进而两个第一电机同步运行，进而驱动上盖能够进行竖直运动，通过设置第二电机、连接杆和三个挡块，第二电机通电运行，通过连接杆带动三个的挡块进行转动，从而便于对坩埚本体内部的液体进行搅拌，提高熔化液体的均匀性，整体结构简单，便于使用者远距离操作使用，降低使用者的操作风险。
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