-
公开(公告)号：CN108690954A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201710229298.7
申请日：2017-04-10
申请人： 株式会社新柯隆
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/54 , C23C16/455 , C23C14/548
摘要： 本发明公开一种成膜装置及成膜方法，其用于形成薄膜，所述成膜装置包括：真空腔室；排气机构，其与所述真空腔室相通以进行排气；基板保持机构，其用于将基板保持在所述真空腔室内；成膜机构，其设置于所述真空腔室内；导入机构，其与所述真空腔室相连通；所述导入机构能够在所述成膜机构的成膜过程中向所述真空腔室内导入含羟基气体。
-
公开(公告)号：CN104797826B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201380060293.6
申请日：2013-03-14
申请人： 株式会社新柯隆
发明人： 税所慎一郎
IPC分类号： F04F9/00
摘要： 提供一种油扩散泵，其具有能够解决使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。该油扩散泵为真空泵，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，使该油蒸气产生器(70)工作以使工作油(8)气化而成为油蒸气，将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去，并对吸入的气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具有：容器(71、72)，其在立起设置方向上延伸，且使由被加热材料构成的筒部件(71)的下端封闭，用于在内部贮油；感应线圈(75)，其隔着绝缘材料(73)缠绕于筒部件(71)(尤其是外壳内壁71b)的大气侧周围；以及供电单元，其对感应线圈(75)施加数10Hz至数100Hz的低频交流电。而且，构成为，通过使供电单元工作并对线圈(75)施加低频交流电，由此使筒部件(71)自身加热，使容器内的油气化。
-
公开(公告)号：CN106104009B
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201480077167.6
申请日：2014-06-24
申请人： 株式会社新柯隆
发明人： 税所慎一郎
IPC分类号： F04F9/00
摘要： 提供一种油扩散泵，其具备可消除在使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。一种真空泵，其中，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，通过使该油蒸气产生器(70)工作来使工作油(8)气化从而产生油蒸气，将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去而对吸入气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具备：在立起设置方向上延伸的筒状的外壳(71)(被加热体)；隔着绝缘材料(73)缠绕在筒部件(71)的周围的感应线圈(75)；以及对感应线圈(75)施加交流电的供电单元。外壳(71)和感应线圈(75)以浸渍于储存在壳体(51)内的工作油(8)中的配置被组装于壳体。并且，构成为，通过使供电单元工作而对感应线圈(75)施加交流电，由此使外壳(71)自身加热，从而使工作油(8)气化。
-
公开(公告)号：CN103154299B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201280003216.2
申请日：2012-09-26
申请人： 株式会社新柯隆
CPC分类号： C23C14/58 , C23C14/0031 , C23C14/022 , C23C14/24 , C23C14/541 , C23C14/546
摘要： 本发明提供一种能够高效地进行防污膜的成膜的成膜装置，该防污膜不但可耐实用而且耐磨耗性能也进一步得到提高。其是基板支架12可旋转地配设在真空容器10内的成膜装置1，所述基板支架12具有用于保持2个以上基板的基体保持面，成膜装置1的构成为具有蒸镀源34和离子源38，其中，所述蒸镀源34按照如下构成配置在真空容器10内：使其向旋转停止时的基板支架12工作的情况下，能够对所述基体保持面的部分区域即第1区域(A3)供给比该第1区域以外的其他区域(残余区域)更多量的成膜材料；所述离子源38按照如下构成、配置和/或朝向设置在所述真空容器10内：使其向旋转停止时的基板支架12工作的情况下，能够仅向着该基体保持面的部分区域即第2区域(A2)照射能量粒子。
-
公开(公告)号：CN103154298B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201280003215.8
申请日：2012-08-02
申请人： 株式会社新柯隆
CPC分类号： B05D1/00 , C23C14/022 , C23C14/06 , C23C14/22 , C23C14/546
摘要： 提供可有效地进行防污膜的成膜的成膜装置，该防污膜的耐磨耗性能不但可耐实用而且耐磨耗性能也进一步得到提高。本发明的成膜装置(1)为将具有用于保持两个以上基板(14)的基体保持面的基板支架(12)可旋转地配设在真空容器(10)内的成膜装置(1)，其中，该成膜装置(1)是具有离子源(38)以及作为成膜单元的蒸镀源(34)和限制板(36)的构成，所述离子源(38)按照可向着上述基体保持面的一部分区域照射离子束这样的构成、配置和/或朝向被设置在真空容器(10)内，所述作为成膜单元的蒸镀源(34)和限制板(36)按照可向着作为上述基体保持面的一部分且与基于离子源(38)的离子束的照射区域的至少一部分重复的区域来供给成膜材料这样的构成被设置在真空容器(10)内。
-
公开(公告)号：CN105810872A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201410836480.5
申请日：2014-12-29
申请人： 吉世尔(合肥)能源科技有限公司
摘要： 本发明涉及燃料电池技术领域，特别是关于一种平板或平管式固体氧化物燃料电池堆电路连接结构。电池组中通过双面导气的阳极连接体连接两个电池片的阳极，两个电池片的阴极分别连接两个阴极连接体，构成一个电池组，多个电池组之间通过绝缘板隔离，连接部件将每个电池组中的第一阴极连接体和所述第二阴极连接体与相邻的一个电池组中的阳极连接体相连接，使得复数个电池组形成串联。通过上述实施例的平管式固体氧化物燃料电池堆电路连接结构，优化了电池堆输出的电压和电流。
-
公开(公告)号：CN104395690A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201280073820.2
申请日：2012-06-13
申请人： 株式会社新柯隆
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/52 , C23C14/547 , G01B11/0625
摘要： 提供能够高精度地测量光学膜厚的膜厚测量装置。膜厚测量装置(6)具备：通过照射侧光纤(f1)向监视基板(Sm)照射光的投光器(11)、通过受光侧光纤(f2)接收从投光器(11)照射后由监视基板(Sm)反射的光的受光装置(22)、和捆扎多个照射侧光纤(f1)和多个受光侧光纤(f2)而形成的光学传感器用探头(13)，其中，在光学传感器用探头(13)的与监视基板(Sm)对置的末端面上分别配置有多个照射侧光纤(f1)的端面和多个受光侧光纤(f2)的端面，照射侧光纤(f1)的各个端面以与受光侧光纤(f2)的端面相邻的状态呈圆弧状或圆环状排列，并且，受光侧光纤(f2)的各个端面以与照射侧光纤(f1)的各个端面相邻的状态呈圆弧状或圆环状排列。
-
公开(公告)号：CN104169676A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201280069673.1
申请日：2012-02-27
申请人： 株式会社新柯隆
CPC分类号： G01B11/0633
摘要： 提供能够增大光量变化量的膜厚测量用的LED光源装置(30)。LED光源装置(30)配置有：多个LED发光源(34～36)；多个准直构件(342、352、362)，它们配置于各发光源的下游侧，并使来自各发光源的入射光分别准直地射出；多个第1滤光构件(37、38)，它们配置于各准直构件的下游侧，并仅使入射光中的特定波长区域以上的光透射和/或反射，或者仅使特定波长区域以下的光透射和/或反射而射出；以及聚光构件(39)，其配置于第1滤光构件(38)的更下游侧，并使来自各第1滤光构件的入射光会而射出，并且，在各准直构件(342、352、362)的下游侧且在各第1滤光构件(37、38)的上流侧，配置有仅使来自各准直构件的入射光中的特定范围的波长透射而射出的第2滤光构件(344、354、364)。
-
-
公开(公告)号：CN1993492A
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200580026467.2
申请日：2005-08-05
申请人： 株式会社新柯隆
CPC分类号： C23C14/35 , C23C14/34 , C23C14/564
摘要： 本发明提供一种薄膜形成装置，该薄膜形成装置能够使等离子中一定程度的比例的离子与薄膜接触来进行成膜。薄膜形成装置(1)具有：等离子发生单元(80)，其设在真空槽(11)的与所述开(11a)对应的位置，并在真空槽(11)内产生等离子；基板保持架(13)，其在真空槽(11)内保持基体；离子消灭单元(90)，其设在等离子发生单元(80)和基板保持架(13)之间。离子消灭单元(90)在从等离子发生单元(80)面向基板保持架(13)的方向上相对于等离子发生单元(80)遮蔽基板保持架(13)的面积，小于离子消灭单元(90)在从等离子发生单元(80)面向基板保持架(13)的方向上的剩余面积。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
110 条记录 (耗时 0.034 秒)
