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    电子显微镜用的半封闭式观测环境
    41.
    发明公开
    电子显微镜用的半封闭式观测环境 无效 转让

    公开(公告)号：CN1979747A

    公开(公告)日：2007-06-13

    申请号：CN200510130410.9

    申请日：2005-12-09

    申请人： 李炳寰

    发明人： 赵治宇 ,  谢文俊

    IPC分类号： H01J37/02 ,  H01J37/26 ,  G01N13/10

    CPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/20

    摘要： 本发明是有关一种电子显微镜用的半封闭式观测环境，包含有：一壳体，内部是以隔板分隔形成一容室，以及形成位于该容室下方的一气室，以及形成位于该气室下方的一缓冲室，该容室的顶面具有至少一观视孔设于该壳体，底面具有至少一观视孔设于该隔板并连通于该气室，该气室的底面具有至少一气孔设于另一隔板并连通于该缓冲室，该缓冲室的底面具有至少一外孔设于该壳体并连通于外界，该二观视孔与该气孔以及该外孔系同轴，且位于上方的该观视孔封设一薄膜；该壳体于该气室的一侧设有至少一注气孔，又该壳体于该缓冲室的一侧设有至少一抽气孔；由此可达到提供电子显微镜的观测环境，并且仍能具有清淅的观测结果。

    可供观测一般样品/活体细胞的电子显微镜用样品盒
    42.
    发明公开
    可供观测一般样品/活体细胞的电子显微镜用样品盒 无效 转让

    公开(公告)号：CN1979138A

    公开(公告)日：2007-06-13

    申请号：CN200510130411.3

    申请日：2005-12-09

    申请人： 李炳寰

    发明人： 赵治宇 ,  谢文俊

    IPC分类号： G01N23/00

    CPC分类号： H01J37/26 ,  B01L3/508 ,  B01L2300/0822 ,  B01L2300/14 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2004

    摘要： 本发明是有关一种可供观测一般样品/活体细胞的电子显微镜用样品盒，包含有：一壳体，内部具有一容室，该壳体的顶底面各具有至少一观视孔连通于该容室且彼此相对同轴，位于该壳体顶面的观视孔底端与位于该壳体底面的观视孔顶端相距小于50μm；通过此该容室具有极薄的厚度，即使内部注入液体样品，亦不会使电子显微镜的电子束无法穿透，进而可供观测；并可供置入一般样品或活体细胞，通过以配合供电子显微镜进行观测。

    基板检查方法、半导体器件的制造方法以及基板检查装置
    43.
    发明公开
    基板检查方法、半导体器件的制造方法以及基板检查装置 失效

    公开(公告)号：CN1838396A

    公开(公告)日：2006-09-27

    申请号：CN200610065365.8

    申请日：2006-03-23

    申请人： 株式会社东芝

    发明人： 山崎裕一郎

    IPC分类号： H01L21/66 ,  G01N23/225

    CPC分类号： H01J37/04 ,  H01J37/24 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/1514 ,  H01J2237/2809

    摘要： 一种基板检查方法，其中包括以下步骤：生成带电粒子射束；使所生成的上述带电粒子射束照射检查对象；会聚由从上述基板产生的二次带电粒子、反射带电粒子以及后方散射带电粒子中的至少一种构成的第1二次带电粒子射束，或透过了上述检查对象的第1透射带电粒子射束，并且，在上述二次带电粒子射束或上述透射带电粒子射束中，对应上述检查对象的结构而产生相位差；使上述二次带电粒子射束或上述透射带电粒子射束成像；检测成像的上述二次带电粒子射束或上述透射带电粒子射束，输出包含上述相位差的的信息的二次带电粒子射束像或透射带电粒子射束像的信号；使用上述二次带电粒子射束像或上述透射带电粒子射束像中所包含的上述相位差信息，检测上述检查对象的缺陷。

    粒子束发生器
    44.
    发明公开
    粒子束发生器 失效

    公开(公告)号：CN1663013A

    公开(公告)日：2005-08-31

    申请号：CN03813914.6

    申请日：2003-06-16

    申请人： NFAB有限公司

    发明人： 德里克·安托尼·伊斯特汉

    IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/317

    CPC分类号： H01J37/063 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/26 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/06375

    摘要： 电子源是真空中的纳米尖端，如近场显微镜方法中所使用的。离子源是相似的真空中的纳米尖端，其提供有如液体金属离子源中的液体金属(镓)。通过使尖端位于孔隙极板的中心并且向尖端施加适当的电压，从该纳米尺寸的尖端提取电子或者离子。该电子(离子)通过该极板，并且在使用另外的微米级(或者纳米级)圆柱形透镜聚焦之前，使用纳米级/微米级加速镜筒将该电子(离子)加速至数KeV。最终的元件是像差校正的微型(或者次微型)单透镜，其可以将粒子束聚焦在距离设备末端几毫米的位置处。

    透射电子显微镜原位样品杆杆头及具有该杆头的样品杆
    47.
    发明公开
    透射电子显微镜原位样品杆杆头及具有该杆头的样品杆 无效

    公开(公告)号：CN108183059A

    公开(公告)日：2018-06-19

    申请号：CN201711325331.2

    申请日：2017-12-13

    申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

    发明人： 肖娜 ,  田悦 ,  夏卫星 ,  颜光辉 ,  裴科 ,  张健 ,  刘平

    IPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  G01N23/02

    CPC分类号： H01J37/20 ,  G01N23/02 ,  H01J37/26

    摘要： 本发明公开了一种透射电子显微镜原位样品杆杆头，包括样品杆杆头本体，样品杆杆头本体前端设有一通孔，通孔内沿轴线方向设置有陶瓷加热环、样品托、样品压片，陶瓷加热环、样品托、样品压片依次叠加且轴线与通孔轴线重合，其中样品压片置于样品托中央放置样品的台阶孔内；样品托与通孔内侧之间以及陶瓷加热环与通孔内侧之间均有间隙；样品托侧面设有能够固定于样品杆杆头本体的固定耳；通孔的一端设有向轴线凸出的支撑块。陶瓷加热环结构实现原位陶瓷加热，简化加热过程，样品杆杆头本体与其内部结构之间设置间隙、采用固定耳固定样品托以及支撑块支撑陶瓷加热环，可减少样品托和陶瓷加热环与样品杆杆头本体的接触面积减少热量传递使样品获得充足均匀的热量完成加热。