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公开(公告)号：CN117766627A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311788420.6
申请日：2023-12-23
申请人： 苏州捷得宝机电设备有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0224 , C25D7/12
摘要： 本发明揭露了一种电池片的制作方法，其在对掩膜层进行曝光显影先将电池片上种子层未被掩膜层掩盖的部分去除，从而可以避免后续电镀时绕镀的情况发生，进而避免了电池片正面与反面的导通，使得电池片的开压大大提高，电池片的光电转换效率大大提高。
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公开(公告)号：CN117737812A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202410173384.0
申请日：2024-02-07
申请人： 苏州智程半导体科技股份有限公司
IPC分类号： C25D17/00 , H01L21/288 , C25D7/12
摘要： 本发明涉及一种改善阳极极化的半导体晶圆电化学沉积设备，包括旋转圆盘电极和固定在底板上的阳极区域、阴极区域；阳极区域包阳极腔，带孔侧壁以及离子膜，阴极区域包括内腔，内腔和阳极腔之间设置的阴极补液口，内腔内有均流板，内腔外有外腔，外腔和内腔之间为溢流区，外腔的侧壁底部有阴极排液口。阳极腔内还设置有至少2个伸缩气囊，伸缩气囊伸缩过程中进气量和排气量相等。有益效果为：本申请能够解决半导体晶圆电化学沉积过程中的阳极极化问题，保持工艺腔小尺寸结构，控制技术可靠稳定，成本相对低，经济效益明显；对金属离子的传质影响小，也不会产生气泡干扰传质，在现有技术的各类工艺腔内可以直接改造，无需增加其他成本，装配效率高。
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公开(公告)号：CN117716481A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202280041240.9
申请日：2022-08-08
申请人： 株式会社荏原制作所
发明人： 矢作光敏
摘要： 实现能够进行不同的前处理的小型的预湿模块。预湿模块(200)包括：工作台(220)，其构成为对使被处理面(WF‑a)向上的基板(WF)的背面进行保持；旋转机构(224)，其构成为使工作台(220)旋转；清洗液供给部件(260)，其构成为具有配置于工作台(220)的上方的喷嘴(262)，经由喷嘴(262)向工作台(220)的方向供给清洗液；以及脱气液供给部件(250)，其构成为对被工作台(220)保持的基板(WF)的被处理面(WF‑a)供给脱气液，该脱气液供给部件(250)构成为能够在喷嘴(262)与基板(WF)的被处理面(WF‑a)之间的供给位置以及从喷嘴(262)与基板(WF)的被处理面(WF‑a)之间退避的退避位置之间移动。
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公开(公告)号：CN117661084A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202211189778.2
申请日：2022-09-28
申请人： 苏州太阳井新能源有限公司
摘要： 本发明公开了一种太阳能电池片电镀设备，包括夹持组件及用于沿传输方向传输夹持组件的传输机构，沿传输方向具有间隔设置的第一位置与第二位置。夹持组件具有沿传输方向间隔设置的多组，每组夹持组件均具有闭合状态与打开状态。电镀设备还包括开合机构，开合机构用于在第一位置处驱使夹持组件在打开状态与闭合状态之间切换，以及用于在第二位置处驱使夹持组件在打开状态与闭合状态之间切换。本发明提供的太阳能电池片电镀设备，通过设置开合机构，能够自动实现在第一位置处夹持电池片，以及在第二位置处释放电池片，无需人工介入，显著提高了太阳能电池片的电镀效率。
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公开(公告)号：CN117661062A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202211197542.3
申请日：2022-09-29
申请人： 苏州太阳井新能源有限公司
摘要： 本发明涉及一种阴极上电结构，用于太阳能电池片的水平电镀，包括电源及阴极上电组件，所述电源具有负极，所述阴极上电组件用于使得所述负极与所述太阳能电池片电连接，所述阴极上电组件包括具有第一端及第二端的电源连接件及电池片连接件，所述第一端与所述负极电连接；所述电池片连接件具有第三端及第四端，电镀工作状态下，所述第三端与所述太阳能电池片电连接且一起移动；所述第二端与所述第四端动连接，且所述第二端与所述第四端电连接；本发明还提供一种具有前述阴极上电结构的电镀设备；通过第二端与第四端之间的动连接，实现了静止状态的电源负极与移动着的太阳能电池片的稳定上电，进而实现在电池片上的待电镀区域电镀金属栅线。
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公开(公告)号：CN117661061A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202211092528.7
申请日：2022-09-08
申请人： 新阳硅密(上海)半导体技术有限公司
IPC分类号： C25D7/12
摘要： 本发明提供了一种晶圆电镀预处理装置、系统及方法，其中，晶圆电镀预处理装置包括工艺腔室、密封盖板、密封驱动装置、晶圆支撑结构以及超/兆声波装置；工艺腔室包括上、下腔室，超/兆声波装置包括超/兆声波振板，超/兆声波振板设于下腔室；密封盖板用于密封上腔室，密封盖板上设置有真空抽气口；晶圆支撑结构包括挂架和用于放置晶圆的晶圆支撑架，晶圆支撑架经挂架固定于密封盖板面向上腔室的一侧；密封驱动装置连接密封盖板，密封驱动装置驱动密封盖板打开上腔室或密封上腔室。本发明通过采用特定的机械结构实现真空技术与超/兆声波预处理液体介质传导相结合，不仅提高预处理效率，且提升预处理效果，有效保障晶圆电镀工艺的品质。
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公开(公告)号：CN117661049A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311503928.7
申请日：2023-11-13
申请人： 天合光能股份有限公司
发明人： 颜凯
IPC分类号： C25D3/12 , C25D17/00 , C25D7/12 , H01L31/18 , H01L31/0224
摘要： 本申请提供一种用于光伏器件电极的镀镍液、电极制备方法和太阳能电池，镀镍液包括镍盐、还原剂、络合剂、稳定剂和添加剂；络合剂为乳酸、柠檬酸钠和醋酸钠的组合，稳定剂为苯并三氮唑、DL‑半胱氨酸和碘酸钾的组合，镀镍液的pH小于7。本申请实现了在太阳能电池电极上化学镀镍，在电极层表面镀覆形成纳米级镍层，以阻隔银与水汽和氧气接触，有效消除或降低发生在电极表面的电化学腐蚀。
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公开(公告)号：CN117626367A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311660092.1
申请日：2023-12-05
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： C25D3/60 , C25D7/12 , H01L21/768
摘要： 本发明公开了一种高稳定性Sn‑Ag合金电镀液及其制备方法和应用，属于电镀技术领域。所述Sn‑Ag合金电镀液包含如下组分：有机酸、锡离子源、银离子源、含硫吡啶类物质、氨基酸、抗氧化剂。其中所述含硫吡啶类物质具有单硫键或双硫键。该Sn‑Ag合金电镀液具有高稳定性，可在室温下稳定存放及连续使用6个月以上，具有较宽的电流密度窗口和较高的电流效率，实现微纳尺度晶圆级平整致密的Sn‑Ag微凸点的制备，可应用于高密度集成电路芯片互连制造中。
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公开(公告)号：CN117604598A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202410090635.9
申请日：2024-01-23
申请人： 苏州智程半导体科技股份有限公司
摘要： 本发明属于晶圆电镀技术领域，尤其是一种晶圆电镀机的晶圆翻转机构及翻转方法，包括升降垂直滑轨，所述升降垂直滑轨的顶端表面固定安装有防护罩，所述防护罩的顶部和内部均设置有晶圆输料机构，所述晶圆输料机构实现晶圆在垂直方向向下运动输送的动作。该晶圆电镀机的晶圆翻转机构及翻转方法，本装置在晶圆电镀操作中通过设置的晶圆翻转机构和晶圆吸附机构，实现晶圆在垂直方向上自动吸附且翻转到底部进行电镀操作，达到了顶部的晶圆直接翻转到底部进行电镀操作，减少了传统方式下的多次翻转步骤，从而节省了电镀的时间，这有助于提高电镀的生产效率，减少等待时间，提高设备利用率。
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