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公开(公告)号：CN116526092A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202211488028.5
申请日：2022-11-25
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种窄带太赫兹带通滤波器及其制备方法，所述滤波器由铝箔纸组成，铝箔纸上有重复结构单元，结构单元由三条槽孔组成，呈“Y”型，结构单元之间的距离为100‑200μm，槽孔的宽度为20‑70μm，长度为30‑80μm；制备方法为：(1)将铝箔纸的下表面粘接于衬底上，再在其上表面涂覆光刻胶，再进行加热固化；(2)再对加热固化后的铝箔纸进行曝光，将光掩模板置于铝箔纸上表面的光刻胶上；(3)采用显影液对曝光后的光刻胶进行显影；(4)将显影后的铝箔纸置于弱碱性溶液中进行刻蚀；(5)将经刻蚀处理后的铝箔纸下表面上的衬底进行剥离处理，即得太赫兹带通滤波器。相较于现有技术，本发明太赫兹带通滤波器具有成本低、制备工艺简单且损耗少的优势。
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公开(公告)号：CN116047831A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211641812.5
申请日：2022-12-20
Applicant: 南京大学
IPC: G02F1/29
Abstract: 本发明公开了一种基于可调布儒斯特角效应的光控太赫兹宽带波束调控器，包括器件部件和器件部件前的光学控制系统，所述器件部件包括石英衬底，生长在石英衬底上表面的二氧化钒薄膜，用于加热的铜板和所述的石英衬底与铜板间用于优化热接触的导热硅脂，所述光学控制系统包括用于产生泵浦激光驱动所述二氧化钒薄膜相变的泵浦激光器，用于会聚泵浦激光光束为准平行光束的会聚透镜和用于调制泵浦激光的可切换掩模。本发明还公开了一种制备上述基于可调布儒斯特角效应的光控太赫兹宽带波束调控器的方法以及基于上述基于可调布儒斯特角效应的光控太赫兹宽带波束调控器的光学控制方法。本发明的太赫兹波束调控器件具有工作频带宽、可重构的特点。
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公开(公告)号：CN114709579B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202210353291.7
申请日：2022-04-06
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明提出了一种片上集成太赫兹功能芯片的波导封装，包括：金属上腔体封装盖、金属下腔体载片盒、置于金属下腔体载片盒上的太赫兹功能芯片，其中金属下腔体载片盒上设置波导矩形通道，与所述金属上腔体封装盖组装形成含有金属矩形波导封闭金属封装盒；所述太赫兹功能芯片安装在金属矩形波导的中心，功能芯片的传输端口置入矩形波导，将电磁场信号耦合到太赫兹功能芯片中。本发明加工简单，工艺成熟，显著降低了太赫兹集成系统的信号传输损耗，组成一体化封装的每个模块非常灵活，可以根据需要灵活调节尺寸参数，适用于多场景下的太赫兹信号片上探测与处理。
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公开(公告)号：CN112456434B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202011226273.X
申请日：2020-11-05
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于悬空微桥工艺的太赫兹探测器的制备方法，在Si和SiO2双层衬底上进行磁控溅射，生长Nb5N6热敏薄膜；在Nb5N6薄膜上旋涂光刻胶，通过深紫外曝光的方式绘制天线图形，磁控生长Au薄膜后，剥离出电极；在Nb5N6薄膜上旋涂光刻胶，通过深紫外曝光的方式绘制微桥图形，通过反应离子刻蚀法刻蚀多余的Nb5N6，形成Nb5N6薄膜微桥；在衬底表面旋涂AZ4620光刻胶，通过紫外光刻的方式在微桥两侧形成窗口，通过湿法刻刻蚀掉窗口中的SiO2，通过反应离子分步刻蚀法，先刻蚀掉窗口的部分Si，再横向刻蚀微桥下方，形成空气腔。本发明提高了工艺的稳定性和太赫兹阵列探测器的良品率。
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公开(公告)号：CN115148890A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210537121.4
申请日：2022-05-17
Applicant: 南京大学 , 网络通信与安全紫金山实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于金属掩膜的铌铝约瑟夫森结的制备方法，包括：金属掩膜遮挡部分衬底，沉积铝膜；铝膜氧化；磁控溅射沉积50nm铌膜；去除金属掩膜后，使用离子束刻蚀处理铌膜表面，露出其新的表面后，再次沉积160nm铌膜；光刻或电子束曝光显影确定结区和上电极图形；使用反应离子刻蚀即得到结区，然后在有机溶剂中去除光刻胶即可。该法采用金属掩膜、铌膜保护的方法制备约瑟夫森结，大大简化了超导量子电路中制备约瑟夫森结的工艺，突破了传统工艺制备约瑟夫森结时尺寸的限制，有效降低了有机试剂、水和空气对铝膜表面氧化势垒层的影响，有效提高了制备约瑟夫森结的成功率和可靠性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115015157A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210560740.5
申请日：2022-05-20
Applicant: 南京大学 , 网络通信与安全紫金山实验室
IPC: G01N21/3586 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开一种基于超导太赫兹源辐射光斑的太赫兹成像装置，包括太赫兹波发生系统、太赫兹波检测系统和信号采集与转换系统；太赫兹波发生系统为成像装置提供太赫兹源；太赫兹波检测系统实现太赫兹信号的检测；信号采集与转换系统把测到的电流信号、电压信号和辐射强度信号转换成计算机可识别的数字信号，并绘制成图片。本发明超导太赫兹源产生的太赫兹波经过平凸透镜扩束后得到较大光斑用于给物体成像，再经斩波器调制后被太赫兹检波器所测量。本发明能够利用超导太赫兹源辐射出的光斑进行成像，具有成本低、系统简单和效率高等优点，降低了现有的太赫兹成像系统的复杂度，有着广阔的研究价值和应用前景。
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公开(公告)号：CN114744407A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210349957.1
申请日：2022-04-02
Applicant: 南京大学
IPC: H01Q15/00
Abstract: 本发明公开了一种太赫兹波束检测与调控一体化的智能超表面，包括蓝宝石衬底，生长在所述蓝宝石衬底上表面的金属结构和二氧化钒微桥，生长在所述蓝宝石衬底下表面的金属接地面及所述金属接地面和加热铜板间用于优化热接触的导热硅脂。本发明还公开了一种上述太赫兹波束检测与调控一体化的智能超表面的制备方法以及基于上述太赫兹波束检测与调控一体化的智能超表面所搭建的波束自适应调控的测试系统。本发明的智能超表面同时具有太赫兹检测和调控功能，具备尺寸小、集成度高和功能可编程定制等特点。
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公开(公告)号：CN113252167B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202110544264.3
申请日：2021-05-19
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种宽光谱高效率超导单光子探测器及其制备方法，包括超导纳米线单元、电极、玻璃插芯、玻璃板套夹和光纤，光纤包括纤芯和包层；光纤嵌入在玻璃插芯内，玻璃插芯呈一定角度嵌入在玻璃板套夹内，该光纤、玻璃插芯和玻璃板套夹的端面均处于同一水平面上；超导纳米线单元设置在光纤的上表面并覆盖住纤芯；电极设置在包层上表面并位于超导纳米线单元两侧；本发明通过将超导纳米线单光子探测器设计在光纤端面，可制备得到宽光谱响应、高效率的光纤端面超导纳米线单光子探测器，大幅度提高了超导单光子探测器的集成度，降低了工艺制作步骤，从而扩展了应用领域。
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公开(公告)号：CN112747820B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202011541647.7
申请日：2020-12-23
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明提出了一种集成硅光子晶体波导的太赫兹探测器，包括二维光子晶体平板、渐变耦合输入波导、线缺陷传输波导、多个L3型光子微腔，以及多个太赫兹探测器，其中：二维光子晶体平板由若干晶体单元组成，每个晶体单元上晶格周期排列形成三角晶格结构，不同的晶体单元上水平晶格常数不同，而垂直晶格常数相同，以此保持晶体单元分块的水平拼接对应；每个晶体单元上设置一个L3型光子微腔，每个L3型光子微腔上设置一个太赫兹探测器，各个晶体单元通过线缺陷传输波导连接，二维光子晶体平板通过渐变耦合输入波导与外接输入波导连接。本发明能够同时检测多个频段的太赫兹信号。
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公开(公告)号：CN112540056B
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202011415931.X
申请日：2020-12-07
Applicant: 南京大学
IPC: G01N21/3581 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种阵列式太赫兹接收装置及其读出装置。该读出装置包括基于梳妆信号发生器和本振源的信号发生模块、基于同相正交混频器组的信号处理模块和以及基于阵列式太赫兹接收装置和低温真空光学杜瓦的信号探测装置。阵列式太赫兹接收装置包括共面波导器和阵列式布置的谐振探测单元。每个谐振探测单元包括有大小叉指电容和曲折电感以及连接大小叉指电容和曲折电感的基于超导氮化铌测辐射热计的超导天线耦合探测单元。探测太赫兹信号时，信号发生模块以频分复用的方式向阵列式太赫兹接收装置注入各个谐振探测单元的谐振微波信号，同相正交混频器以解频分复用的方式分别解调出各个谐振探测单元的接收到的太赫兹信号。本发明可用于太赫兹成像。
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