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公开(公告)号：CN105895497B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201610378862.7
申请日：2016-05-31
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，属于极紫外光刻光源技术领域。它解决了在采用毛细管放电Z箍缩方法产生极紫外光的过程中，通过更换不同长度的毛细管的方式，难以满足等离子体长度微调的要求，操作难度大的问题。本发明所述的一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，包括放电电极、主放电电极、锁紧螺母、压圈和接线端子，预放电电极为圆筒形结构，主放电电极的一端为圆锥体，中部为一号圆柱体，另一端为二号圆柱体，接线端子通过压圈固定设置在位于二号圆柱体的一个底面上的凹孔中，二号圆柱体的一个底面为其一端的端面，其另一端设置在圆筒形结构内，两者螺纹连接，并通过锁紧螺母固定。本发明适用于毛细管极紫外光刻光源。
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公开(公告)号：CN105892240B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201610437955.2
申请日：2016-06-17
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，涉及收集镜片的集成技术领域。为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求。轮缘为不锈钢圆环，圆环的环形内设有6根辐条；每根辐条上均开有N个凹槽，6根辐条的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，N为正整数，一组凹槽用于安装一层收集镜片，采用真空胶将收集镜片固定在凹槽中；不锈钢圆环的外径Φ为600mm，宽度为40mm、厚度为40mm。本发明的装置结构简单，能牢固固定收集镜片。本发明适用于集成收集镜片。
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公开(公告)号：CN104619105B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201510084937.6
申请日：2015-02-16
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： H05G2/00
摘要： Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的放电室，涉及极紫外(EUV)光源技术。它为了解决常规的放电室结构放电性能和冷却性能不够好的问题。本发明中的主脉冲电源的高压极与预脉冲电源的地极共用一个电极，位于外壳的右端面上，预脉冲高压电极和共用电极均设置在外壳内部，且预脉冲高压电极和共用电极的位置沿轴向可调，使得预脉冲高压电极与主脉冲地电极的距离及共用电极与主脉冲地电极的距离均可调，提高了主脉冲电源和预脉冲电源的放电性能。预脉冲高压电极和共用电极内部设置有水冷系统。本发明具有良好的绝缘性能、放电性能、冷却性能和真空性能，适用于Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源。
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公开(公告)号：CN104619104B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201510084923.4
申请日：2015-02-16
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源系统，涉及一种13.5nm的极紫外光源。它为了解决常规的高功率EUV光源体积庞大、价格昂贵，不适合用作EUV光刻机各种部件的检测光源的问题。本发明中，主脉冲电源采用磁脉冲压缩网络对脉冲进行压缩陡化，主脉冲电源的高压电极和预脉冲电源的地电极共用一个电极，利用水冷系统对预脉冲高压电极和共用电极进行制冷，光学收集系统采用内嵌式Wolter I型收集系统，该系统包括10层收集镜，每层收集镜包括一个回转椭球面和一个回转双曲面，回转椭球面和回转双曲面具有一个公共几何焦点。本发明体积小，真空度高，且价格低，适合用作EUV光刻机各种部件的检测光源。
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公开(公告)号：CN106154378A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610782664.7
申请日：2016-08-30
申请人： 哈尔滨工业大学
CPC分类号： G02B5/10 , G02B19/0023
摘要： 一种SiC球面反射镜及利用该反射镜聚焦46.9nm激光的方法，涉及46.9nm激光的聚焦技术，目的是为了解决采用多层镀膜球面反射镜聚焦46.9nm激光的各种缺陷。本发明的SiC球面反射镜采用SiC制成，反射面为凹陷的球面。采用上述反射镜聚焦46.9nm激光的方法包括：利用ZEMAX软件模拟聚焦光路，确定SiC球面反射镜的焦点位置的步骤；利用波长为632.8nm的氦氖激光调节光路，进一步确定焦点位置的步骤；使46.9nm激光入射至SiC球面反射镜的步骤。上述SiC球面反射镜不需要镀膜，制作成本低，不易被激光损伤，对激光没有干涉作用，上述方法得到的聚焦光斑完全能够满足烧蚀材料的要求。
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公开(公告)号：CN106152969A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610437986.8
申请日：2016-06-17
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01B11/24
CPC分类号： G01B11/24
摘要： 收集镜片面型的简便检测装置及基于该装置的检测方法，涉及毛细管放电Z箍缩极紫外光源收集镜片面型的简便检测技术。为了解决现有检测装置无法检测轴长比较长的大口径收集镜片的内表面面型的问题。半导体激光器出射的激光入射至毛玻璃，由毛玻璃的小圆孔透射的光经收集镜片汇聚至CCD传感器；计算机用于测量CCD传感器接收到的光斑和记录光斑信息。调整第一五维调整台使半导体激光器出射激光的光轴与毛玻璃上小圆孔的轴线重合；调节收集镜片支撑件，使收集镜片的轴线与所述光轴重合；调节第二五维调整台及可升降套筒使CCD传感器接收到光束；根据计算机得到光斑信息，判断收集镜片是否符合要求。本发明适用于检测收集镜片的内表面面型。
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公开(公告)号：CN106078088A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610437954.8
申请日：2016-06-17
申请人： 哈尔滨工业大学
CPC分类号： B23P15/00 , G02B19/0095 , G03F7/2004
摘要： 放电等离子体光刻光源中极紫外光收集镜直接车削方法，涉及光学及精密加工领域，为了解决现有对收集镜进行加工的方法，加工工艺要求非常高，增加了加工成本的问题。该方法为：毛坯成型，粗车加工，预车加工，镀镍磷合金层，精车加工，人工抛光处理，面型检测，车削边沿，完成收集镜的制作。本发明采用直接车削的方法，加工时间短，大幅度的降低了成本，适用于车削加工放电等离子体光刻光源中极紫外光收集镜。
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公开(公告)号：CN106054537A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610378019.9
申请日：2016-05-31
申请人： 哈尔滨工业大学
CPC分类号： G03F7/70033 , H05G2/00
摘要： 一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统，涉及EUV光源负载设计领域。本发明是为了解决常规DPP EUV光源的电源设计时，负载特性难以模拟，电源设计参数难以确认的问题。本发明所述的左侧部分：预脉冲高压电极位于最中心，左侧绝缘套套在预脉冲高压电极的外侧，主脉冲高压电极套在左侧绝缘套的外侧，三者孔对应，通过孔固定连接；右侧部分：右侧绝缘套套在地电极的外侧，两者孔对应，且通过孔固定连接，毛细管夹在主脉冲地电极和预脉冲高压电极的之间。它用于模拟真实负载的电极结构。
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公开(公告)号：CN103559993B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201310589661.8
申请日：2013-11-20
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 预脉冲隔离电感及利用该电感的毛细管放电软X射线激光装置，涉及一种预脉冲电源保护装置及利用该装置的X射线激光装置。本发明解决了现有毛细管放电软X射线激光装置的主脉冲电压在预脉冲电路中产生幅值较高的电流脉冲干扰信号对预脉冲电源产生破坏的问题，本发明利用线绕电感、尼龙绝缘套筒、连接套筒、不锈钢法兰、一号金属杆、环形气体放电开关、尼龙连接套筒、二号金属杆和尼龙棒获得预脉冲隔离电感；利用电感对快上升沿的阻碍作用，降低主脉冲高压对预脉冲电源的干扰，将电感串联在毛细管与预脉冲电源之间。本发明适利用毛细管放电Z箍缩效应获得软X射线激光脉冲装置。
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公开(公告)号：CN103447552A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310438498.5
申请日：2013-09-24
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法，它涉及一种光学收集镜粗加工方法，以解决采用复制法对EUV光源中光学收集镜进行加工，需要先加工出一个与所需收集镜面型匹配的实心轴，再对实心轴表面进行镍沉积处理，之后将镍壳剥离形成收集镜基底，按照此方案的技术要求，加工过程中精度控制要求非常严格，增加了加工成本的问题，所述极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法是按照以下步骤实现：一、坯料粗车，首先将铝合金坯料利用普通车床粗车成筒形工件；二、数控车削，由数控车床按收集镜面型车削筒形工件。本发明用于EUV光源中光学收集镜直接车削加工粗加工。
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