-
公开(公告)号：CN108474929A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201680076929.X
申请日：2016-12-30
Applicant: 艾伦神火公司
CPC classification number: H04N7/22 , G02B13/0015 , G02B19/0009 , G02B19/0023 , G02B19/009 , G02B19/0095 , G06F3/0481 , G06F3/04842 , G06F3/14 , G06K9/00671 , G06Q30/0277 , G06Q30/0643 , G06T7/70 , G06T11/00 , G06T11/60 , G06T19/006 , G06T2200/04 , G08C23/04 , H04B10/114 , H04B10/1141 , H04B10/1143 , H04B10/116 , H04B10/50 , H04B10/516 , H04B10/5162 , H04B10/541 , H04B10/60 , H04B10/615 , H04B10/616 , H04B10/66 , H04B10/697 , H04B17/23 , H04M1/72522 , H04M1/737 , H04N5/23216 , H04N5/23293 , H04N5/23296 , H04N5/2351 , H04N5/272 , H04N21/4126 , H04N21/42204 , H04W4/21 , H04W8/005 , H04W84/18 , H04W88/16
Abstract: 本发明提供用于传输各种类型的内容的光学窄播系统及方法。可传输指示存在额外信息以及识别信息的光学窄播内容。亦可传输该额外信息(其可包含有大量广告信息、媒体或任何其他内容)作为光学窄播内容。光学窄播系统的元件可包含可被配置为在自(例如)400米至1200米的距离范围内操作的光学传输器及光学接收器。再者，该元件可以微型化尺度与诸如智能电话的小型用户装置一起实施，借此亦实现光学自组织联网及与其他类型的数据网络的互操作性。光学窄播内容可用于扩增真实体验、增强和/或孕育新形式的社交媒体及媒体内容。
-
公开(公告)号：CN104769503B
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201380058294.7
申请日：2013-10-25
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： M.恩德雷斯
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G21K1/067 , G02B5/09 , G02B5/1838 , G02B5/1861 , G02B19/0023 , G02B19/0095 , G02B27/4233 , G02B27/4277 , G03F7/70175 , H05G2/008
Abstract: 一种用于将来自EUV辐射源(3)的EUV辐射(14)传输至照明远场(17a)的EUV集光器(15)。所述集光器(15)包含至少一个正反射镜集光器子单元(23)，其包含至少一个用于正入射的反射镜(23)。另外，所述集光器(15)包含至少一个掠反射镜集光器子单元(30)，其包含至少一个用于掠入射的反射镜(30)。所述集光器子单元(23，30)的布置使得产生所述EUV辐射(14)在所述远场(17a)上的强度分布，其由通过至少还在所述正反射镜集光器子单元(23)处的反射产生的内部正反射镜强度分布以及通过至少还在所述掠反射镜集光器子单元(30)处的反射产生的外部掠反射镜强度分布构成。所述强度分布至少在所述远场(17a)的大于总远场(17a)的40％的部分上与所述远场(17a)的所述部分的平均强度偏离小于20％。这导致对布置在集光器下游的照明光学单元的光束引导的要求降低。
-
公开(公告)号：CN105182546B
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201510595554.5
申请日：2011-12-31
Applicant: 深圳市光峰光电技术有限公司
Inventor： 胡飞
CPC classification number: G02B19/0061 , G02B19/0023 , G02B19/0066 , G02B27/0927 , G02B27/0983
Abstract: 本发明公开了一种匀光元件和光源系统，该匀光元件用于对光源产生的入射光线整形，匀光元件包括一自由曲面，该自由曲面由位于光源的中心轴方向的预定位置的一标准曲面变形获得；除中心轴方向外，沿着从该中心轴至中心轴的侧向的方向，入射光线在自由曲面上的入射角度与该入射光线在标准曲面上的入射角度的差值保持同号，入射光线在自由曲面上的入射角度与该入射光线在标准曲面上的入射角度的差值的绝对值单调递增，且该入射光线在自由曲面上的入射角度与该入射光线在标准曲面上的入射角度的差值的绝对值的变化率递减，以使自由曲面的出射光线在预定立体角内比入射光线具有更均匀的光强分布。本发明能够避免串扰等造成的光利用率降低的问题。
-
公开(公告)号：CN107430267A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680016350.4
申请日：2016-03-11
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G02B26/085 , G01C9/06 , G01D5/2412 , G02B19/0023 , G02B19/0095 , G02B26/0841 , G02B26/101 , G02B26/105 , G03F7/702 , H02N1/008
Abstract: 本发明涉及一种位移装置(31)，用于以两个转动自由度来转动反射镜元件(20)，包括具有致动器电极(37i，42)的电极结构，所述致动器电极(37i，42)是梳状电极，并且全部致动器电极(37i)位于单个平面中并且致动器电极(37i，42)形成用于转动反射镜元件(20)的直接驱动器。
-
公开(公告)号：CN105874268A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201480070384.2
申请日：2014-10-22
Applicant: 美奥泰科公司
CPC classification number: B05D3/06 , B05C9/14 , B05D3/067 , B05D7/20 , F21V7/0025 , F21V7/04 , F21V7/08 , F21V7/22 , G02B5/0891 , G02B19/0023 , G02B19/0095
Abstract: 所公开的是用于借助于辐射能固化材料的装置和方法。所述装置包括第一反射器和第二反射器，它们是半椭圆。限定出所述第一反射器和第二反射器的椭圆具有长度不同的轴线，并且所述反射器如此对齐以至于所述反射器的交点重叠。位于反射器的近焦点处的辐射能来源可提供能量，从而在所述反射器的远焦点处固化基质上的涂层。所述两个反射器的不同尺寸使所述辐射能的聚焦误差减小并向所述固化系统提供改进的效率。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105637421A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201480056123.5
申请日：2014-08-25
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： M.德冈瑟
CPC classification number: G02B19/0023 , G02B5/09 , G02B19/0095 , G03F7/70075 , G03F7/70175 , G03F7/702 , G21K1/06 , G21K2201/064
Abstract: 本发明涉及一种聚光器(15)，其用于将EUV光从辐射源区域传输至照明镜头。聚光器的聚焦镜头(26)将辐射源区域(3)聚焦至下游焦点区域。聚焦镜头(26)设计为使得辐射源(3)由辐射源区域(3)与下游焦点区域之间以小于20°的波束角发射的EUV光(14)聚焦，具有至少一个第一放大率，并且使得辐射源(3)由以大于70°的波束角发射的EUV光(14)聚焦，具有至少一个第二放大率。一方面小于20°的波束角，另一方面大于70°的波束角的两个放大率相差不超过2.5倍。根据本发明的照明系统除了相应聚光器外还具有场分面传输镜头。一方面来自第一聚光器放大率和第一分面放大率的，另一方面来自第二聚光器放大率和第二分面放大率的分配给波束角的乘积相差不超过2.5倍。结果，通过聚光器，保证EUV光有效率地传输到照明或物场。
-
公开(公告)号：CN105339777A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201480016164.1
申请日：2014-03-12
Applicant: 贝克曼考尔特公司
CPC classification number: G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N21/53 , G01N2015/1447 , G02B19/0023 , G02B19/0085
Abstract: 本发明公开了一种流式细胞仪，其包括液流喷嘴、光源、光学系统和传感器分析仪。所述液流喷嘴提供沿流路流动的液流。所述光源生成照射所述液流的光束。所述光学系统收集由所述液流自所述光束射出的光线，或者至少部分地基于与所述光线相关联的发射角，传输或阻挡所述光线。
-
公开(公告)号：CN102844281B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201180016353.5
申请日：2011-03-29
Applicant: PPG工业俄亥俄公司
CPC classification number: C03C17/23 , C03C17/3417 , C03C17/36 , C03C17/3663 , C03C2217/212 , C03C2217/734 , C03C2218/365 , F24S23/82 , G02B19/0023 , G02B19/0042 , G02B19/008 , H01L31/0525 , H01L31/0547 , Y02E10/40 , Y02E10/52
Abstract: 一种太阳能镜，包括在透明基板的背向太阳的表面上的不透明的反射涂层以及在基板的相反表面上的透明反射涂层。透明反射涂层提高了在例如红外范围内的波长的选定范围内的波长的反射百分比，以增加由太阳能镜反射的总的太阳能，从而增加被引向用于将太阳能转换成电能和/或热能的接收器的太阳能。
-
公开(公告)号：CN104620157A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201380047650.5
申请日：2013-11-19
Applicant: 施肯拉公司
Inventor： 马提亚斯·拉贝 , 艾伦斯特·威廉·伯克勒尔
CPC classification number: G02B17/08 , B23K26/064 , B23K26/0643 , G02B17/0694 , G02B17/0896 , G02B19/0023 , G02B19/0028 , G02B19/0047 , G02B26/105 , G02B27/09
Abstract: 一种用于可变调节地改变电磁射线束(5)的散度改变装置(1)，具有：用于提供射线束(5)的射线源(10)；具有光学系统(15)和射线偏转装置(30)的基本远心布置(31)，该光学系统具有第一焦点(16)、第一系统区域(17)和第二系统区域(18)，射线偏转装置(30)被布置在第一焦点(16)上或临近第一焦点，且其这样地被布置和设置，使得射线束(5)从射线源(10)汇聚到射线偏转装置(30)上，其中，主射线(6)在第一焦点(16)上或临近第一焦点(16)地汇集到射线偏转装置(30)上，且射线偏转装置可将来自射线源(10)的射线束(5)以不同的入射角引导至光学系统(15)的第一系统区域(17)，其中，被光学系统(15)的第一系统区域(17)成像的射线束(5)借助于射线折转装置(34)被偏转到光学系统(15)的第二系统区域(18)，其中，射线束(5)被光学系统(15)的第二系统区域(18)成像成，使得射线束(5)再次汇集到射线偏转装置(30)上，且以恒定的位置离开散度改变装置(1)。
-
公开(公告)号：CN104380202A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380016215.6
申请日：2013-02-14
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/702 , G02B7/1827 , G02B19/0023 , G02B19/0047 , G02B26/0833 , G03F7/00 , G03F7/70075 , G03F7/70116 , G03F7/7015 , G03F7/70291
Abstract: 一种光学部件(40)，包含：反射镜阵列(22)，该反射镜阵列具有多个反射镜元件(23)，多个反射镜元件各连接到用于位移的至少一个致动器(131)；用于致动器到外部的信号传输连接的多个信号线(47)；用于预定单独反射镜元件(23)的绝对位置的全局控制/调节装置(134)；及用于调节反射镜元件(23)的定位的多个本地调节装置(136)，其中，所述调节装置(136)在各个情况中均完全集成在所述部件(40；40a)中。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
132
records
(took 0.026 seconds)
