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公开(公告)号:CN111247486A
公开(公告)日:2020-06-05
申请号:CN201880067544.6
申请日:2018-09-18
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 一种电路基板的制造方法及触摸面板的制造方法,其依次包括:在导电层上形成正型感光性组合物层的工序;对上述正型感光性组合物层进行图案曝光的工序;对上述经图案曝光的正型感光性组合物层进行显影的工序;将上述经显影的正型感光性组合物层用作掩模,蚀刻导电层的工序;对上述经显影的正型感光性组合物层进行全面曝光的工序;及去除上述经全面曝光的正型感光性组合物层的工序。
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公开(公告)号:CN110998441A
公开(公告)日:2020-04-10
申请号:CN201880049839.0
申请日:2018-05-30
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , C08F120/26 , G03F7/039 , G06F3/041
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物,其含有:聚合物,含有具有羧酸基被酸分解性基团保护的基团的结构单元;光产酸剂;及潜在性色素,共轭酸的pKa小于4.5或未形成共轭酸的化合物且显色时的波长范围400nm~780nm的极大吸收波长为500nm以上。并且,本发明提供一种使用了上述感光性树脂组合物的感光性转印材料、电路布线的制造方法或触摸面板的制造方法。
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公开(公告)号:CN110998440A
公开(公告)日:2020-04-10
申请号:CN201880049830.X
申请日:2018-07-24
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、包含上述感光性树脂组合物的感光性转印材料、使用了上述感光性转印材料的电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法,所述感光性树脂组合物含有:聚合物,含有具有羧酸基以缩醛的形式被保护的基团的结构单元;光产酸剂,是选自包括肟化合物及鎓盐化合物的组中的至少一种;及潜在性色素,显色时的波长范围400nm~780nm的极大吸收波长是500nm以上。
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公开(公告)号:CN105917274B
公开(公告)日:2019-11-26
申请号:CN201480052174.0
申请日:2014-09-25
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置。本发明的感光性树脂组合物含有特定的(A)聚合物成分、(B)光酸产生剂、以及(C)溶剂。相对于构成(A)聚合物成分的所有结构单元,结构单元(a2)的比例为10摩尔%~40摩尔%,结构单元(a4)的比例为1.0摩尔%~20摩尔%。该感光性树脂组合物可使耐化学品性良好、相对介电常数降低、进而使图案的尺寸稳定性良好。
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公开(公告)号:CN109416509A
公开(公告)日:2019-03-01
申请号:CN201780039804.4
申请日:2017-06-19
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性组合物及其应用,所述感光性组合物含有聚合物(P)及自由基聚合引发剂,该聚合物(P)包含来自于乙烯基苯衍生物的结构单元、具有自由基聚合性基的结构单元以及具有选自包括伯羟基及氨基的组中的至少一种官能团的结构单元且来自于乙烯基苯衍生物的结构单元的含量为30mol%以上。
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公开(公告)号:CN102540726B
公开(公告)日:2016-07-06
申请号:CN201110415283.2
申请日:2011-12-13
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/00 , G02F1/1333 , H01L27/32 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组成物、硬化膜及其形成方法、层间绝缘膜以及显示装置,所述正型感光性树脂组成物各种性能综合优异。本发明的正型感光性树脂组成物的特征在于:包含含有丁氧基甲基丙烯酰胺等的碱可溶性树脂及感放射线酸产生剂。
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公开(公告)号:CN105051608A
公开(公告)日:2015-11-11
申请号:CN201480017166.2
申请日:2014-03-25
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种可维持高灵敏度,并使耐化学品性变得良好,且进一步降低相对介电常数的感光性树脂组合物。该感光性树脂组合物包括:(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一种的聚合物的聚合物成分,(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物,(2)具有上述构成单元(a1)的聚合物及具有上述构成单元(a2)的聚合物;(B)光酸产生剂;以及(C)溶剂;在上述(A)聚合物成分中,包含至少一种(a4)含有内酯结构的构成单元,或包含至少一种(3)含有上述构成单元(a4)、且不含上述构成单元(a1)及上述构成单元(a2)的聚合物。
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公开(公告)号:CN104246608A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201380019967.8
申请日:2013-04-10
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: G03F7/0392 , G03F7/085 , G03F7/40 , H01L27/3258
Abstract: 本发明提供一种感光度及密接性、耐热透明性均优异的感光性树脂组合物。该感光性树脂组合物包括:(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分,(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物,(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物;(B)光酸产生剂;(C)由下述通式(I)所表示的化合物;以及(D)溶剂。
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公开(公告)号:CN102792227B
公开(公告)日:2014-11-12
申请号:CN201180013398.7
申请日:2011-01-21
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/039 , C08F212/14 , C08F220/28 , G02F1/1333 , G03F7/004 , H01L51/50 , H05B33/22
CPC classification number: C08F212/14 , C08F220/28 , G02F1/136227 , G03F7/0007 , G03F7/0045 , G03F7/0397 , G03F7/40 , H01L27/3246 , H01L27/3258
Abstract: 本发明的目的在于提供一种正型感光性树脂组合物,其可以形成具有高感度、可以抑制显影时的残渣的发生、且具有平滑性优异的表面的固化膜。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于,含有成分A:具有式(1)表示的构成单元、具有酸性基团的构成单元、和具有交联性基团的构成单元的树脂,以及成分B:具有肟磺酸酯基的产酸剂,式(1)中,R1表示氢原子或烷基,L1表示羰基或亚苯基,R21~R27分别独立地表示氢原子或烷基。
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公开(公告)号:CN102043335B
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:CN201010511721.0
申请日:2010-10-15
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , H01L27/32 , G02F1/1335
Abstract: 本发明提供一种保存稳定性、感度和显影边界(显影宽容度)优异的感光性树脂组合物,利用该组合物能够获得透明性和耐溶剂性优异的固化膜。所述感光性树脂组合物的特征在于,其含有(A)共聚物、(B)光产酸剂以及(C)溶剂,所述(A)共聚物含有:具有酚性羟基的单体单元(1),具有羧基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元、或具有酚性羟基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元(2),和具有3元环和/或4元环的环状醚残基的单体单元(3)。
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