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公开(公告)号：CN110031647B
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201910374194.4
申请日：2019-05-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种用于容栅式角位移传感器的ASIC接口，该ASIC接口包括直流电容对消阵列、C‑V转换器、谐振器、量化器、有数字信号控制的电容反馈阵列和数字解调滤波模块；所述直流电容对消阵列用于抵消检测电容中的直流量C0；C‑V转换器用于将检测电容信号经过C‑V转换为成比例的电压信号；谐振器用于将所述C‑V转换器输出的电压信号进行带通Σ‑Δ调制；量化器用于将所述谐振器输出的信号转换成位流信号；所述数字信号控制的电容反馈阵列用于根据所述量化器输出的位流信号调节所述C‑V转换器输入信号的动态范围；数字解调滤波电路用于将所述量化器输出的位流信号经过数字解调输出传感器测量信号的数字量。
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公开(公告)号：CN109738093B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201910097689.7
申请日：2019-01-31
Applicant: 清华大学
IPC: G01L1/10
Abstract: 本发明涉及一种用于微机电器件应力检测的片上谐振梁结构及检测方法，其包括微机电器件和谐振梁；微机电器件包括由上向下依次设置的结构层、锚点层和基片层；谐振梁采用U型结构，其设置在结构层和基片层之间，U型结构的顶部和底部的两端通过3个锚点固定到基片层上；谐振梁的U型结构内部设置有一个检测电极，该检测电极的端部通过锚点与基片层固定连接；谐振梁的U型结构的外部上、下两侧各设置一个外部检测电极，两外部检测电极通过锚点与基片层固定连接；谐振梁与内、外部检测电极之间设置有电容，在谐振梁与检测电极之间施加电压产生静电力驱动谐振梁振动，通过检测电极与谐振梁之间电容量的变化检测谐振梁的振动。本发明可以广泛应用于微机电器件的应力检测领域。
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公开(公告)号：CN106825567B
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201710047601.1
申请日：2017-01-22
Applicant: 清华大学
CPC classification number: B22F3/003 , B22F3/1055 , B22F2003/1056 , B23K15/08 , B28B1/001 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , Y02P10/295
Abstract: 本发明公开了一种电子束选区熔化与电子束切割复合的增材制造方法，其特点是同一套电子束发射聚集扫描装置可以发射加热、选区熔化和电子束切割三种模式的电子束。发射加热模式的电子束对粉末床进行扫描预热；发射选区熔化模式的电子束对截面轮廓内的粉末进行扫描熔化，形成所需的零件截面层；发射电子束切割模式的电子束对零件截面的内外轮廓进行一次或多次切割扫描，去除或切除轮廓上的粗糙边缘和熔接粉末，以获得精确平顺的零件截面内外轮廓。重复上述加热、熔化沉积和轮廓切割过程，最终得到所需的三维实体零件。本发明的电子束选区熔化与电子束切割复合的增材制造方法可以提高电子束选区熔化制品内外表面的光洁度和微小内孔的成形能力。
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公开(公告)号：CN108844531A
公开(公告)日：2018-11-20
申请号：CN201810303836.7
申请日：2018-04-03
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/567
CPC classification number: G01C19/567
Abstract: 本发明公开了一种高Q值微机电陀螺的快速起振控制方法及装置，其中，方法包括以下步骤：通过自激振荡方式用预设幅值的驱动信号驱动高Q值微机电陀螺，使微机电陀螺的振动频率趋近于自然频率和微机电陀螺的幅值趋近于设定值，并获取自然频率估计值；当陀螺的振动状态达到预设条件时，将自然频率估计值作为初始频率，并通过锁相环方式驱动微机电陀螺，以使得微机电陀螺的振动频率锁定至自然频率和微机电陀螺的幅值稳定于设定值。该方法可以在仅了解高Q值微机电陀螺自然频率大致散布范围的情况下，使其快速起振并精确地锁定至自然频率稳幅工作，并且有效提高高Q值微机电陀螺驱动控制鲁棒性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107246869A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201710379392.0
申请日：2017-05-25
Applicant: 清华大学
IPC: G01C21/18
CPC classification number: G01C21/18
Abstract: 本发明提供了一种捷联式微机械惯性导航系统，属于惯性导航技术领域。本发明包括外壳，位于该外壳内部的惯性测量单元(IMU)、无线供电和无线数据传输及处理模块、转动控制部件，以及位于该外壳表面的外部接口；其中，IMU的安装工装呈六面台体结构；通过无线供电和无线数据传输及处理模块可实现内部无线供电、无线数据传输；利用转动控制部件的轴向永磁电机带动IMU旋转，实现单轴旋转的控制，可以调制垂直于旋转轴方向的惯性器件零偏分量。本发明采用一体化集成技术，减小了系统体积、重量和功耗，提高了惯性导航精度，可以在小型无人机、小型舰艇、行人导航等领域应用。
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公开(公告)号：CN106643470A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611215267.8
申请日：2016-12-26
Applicant: 清华大学
CPC classification number: G01B7/30 , G01D5/2412
Abstract: 本发明涉及一种绝对式电容角位移测量传感器，其特征在于包括敏感结构、信号调制解调电路和误差补偿及融合模块；敏感结构包括纵向平行设置的第一定子、转子和第二定子；第一定子顶部外侧设置精测采集电极，第一定子顶部内侧设置精测激励电极；转子底部外侧设置精测敏感电极，转子底部内侧设置精测耦合电极，转子顶部外侧设置粗测敏感电极，转子顶部内侧设置粗测耦合电极，精测/和粗测敏感电极及精测/和粗测耦合电极为等势体；第二定子底部外侧设置粗测采集电极，第二定子底部内侧设置粗测激励电极；信号调制解调电路用于测量精测角位移和粗测角位移；误差补偿及融合模块用于进行误差补偿后计算绝对角位移，本发明可广泛用于角位移测量传感器中。
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公开(公告)号：CN106546717A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201610953868.2
申请日：2016-11-03
Applicant: 清华大学
CPC classification number: G01N33/386 , G01N13/02 , G01N2013/0241
Abstract: 本发明涉及一种可视化高温热成形工艺试验系统，其包括密闭金属外壳，密闭金属外壳两端分别设置有观察口，观察口处设置有石英玻璃观察窗；位于密闭金属外壳内设置有高温腔室，高温腔室均热区域处设置有保温腔室，保温腔室两端分别设置有观察孔，观察孔与密闭金属外壳上的两观察口对应设置；位于高温腔室底部设置有升降平台，在高温腔室顶部设置有耐高温金属管，耐高温金属管下端位于高温腔室内部匀热区域，且下端螺纹连接有耐高温滴头；耐高温金属管上端依次穿过高温腔室和密闭金属外壳顶部通过连接阀门与储气瓶连通；位于高温腔室内还设置有加热电极，加热电极加热端位于高温腔室内，加热电极控制端穿过高温腔室和密闭金属外壳与外部已有温度控制器连接。
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公开(公告)号：CN1586395A
公开(公告)日：2005-03-02
申请号：CN200410074345.8
申请日：2004-09-10
Applicant: 清华大学
IPC: A61B5/117
Abstract: 本发明涉及活体手掌血管造影图像采集仪，属于生物特征识别和自动身份鉴别技术领域。它包括红外光源、数字摄像头，其特征在于，还包括一箱体，该红外光源和数字摄像头分别安装在该箱体内的下部和上部，以及安装在箱体中部带有可通过红外光的窗口及手掌定位装置的采集平台，所述的数字摄像头、红外光源与窗口的中心处在同一垂直线上。本发明具有采集图像清晰，能够全面反映手掌血管网络的全貌，能够实时采集等特性。
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公开(公告)号：CN112209332B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN201910619306.8
申请日：2019-07-10
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种单片六轴IMU的双面电极制作及圆片级真空封装方法。本发明方法所形成的整体结构包括基底层、器件层和盖帽层，在基底层上实现多层互联结构，优化走线布局，减小寄生电容，便于后续和外部电路之间的连接；器件层包括敏感结构、硅柱以及硅墙，硅柱用于连接盖帽层上的与基底层金属电极；硅墙分别与基底层和盖帽层键合形成真空封闭腔室。本发明方法将真空封装与MEMS敏感结构的加工合并，避免对裸芯片二次真空封装时可能带来的污染，同时可实现双面电极制作，为非平面运动信号的检测提供可能。
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