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公开(公告)号：CN116060799A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202211087409.2
申请日：2022-09-07
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供照明光学系统和激光加工装置。能够独立地调整激光光束的不同方向的尺寸。一种照明光学系统，其将激光向照射面引导，其中，采用了如下的结构：所述照明光学系统具有光量均匀化部，该光量均匀化部使激光均匀化，将z轴设为光轴方向，将与z轴和y轴垂直的方向设为x轴，将与z轴和x轴垂直的方向设为y轴，光量均匀化部由第1对和第2对构成，该第1对由沿着z轴排列的2片第1柱面透镜阵列构成，该第2对由沿着z轴排列的2片第2柱面透镜阵列构成，第1柱面透镜阵列在x轴方向上具有透镜作用，第2柱面透镜阵列在y轴方向上具有透镜作用，第1对的第1柱面透镜阵列的第1间隔和第2对的第2柱面透镜阵列的第2间隔中的至少一方可变。
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公开(公告)号：CN115483089A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202210519274.6
申请日：2022-05-13
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供放电灯以及放电灯用电极的制造方法，构成能够获得期望的散热效果的电极。在放电灯(10)的电极(30)中，具有涂层(44)以及由槽(42)构成的散热构造(40)这两个散热功能的结构(以下，将该侧面部分称为散热功能部(J))形成于主体部(34)的侧面(34S)。
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公开(公告)号：CN115410898A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202210072344.8
申请日：2022-01-21
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供准分子灯、准分子灯的点亮方法以及准分子灯的制造方法，该准分子灯能够提高灯的点亮起动性并且进行基于有效的主放电的灯点亮。准分子灯(10)具有外侧管(20)和同轴配置在外侧管(20)内的内侧管(50)，内侧管(50)包覆内侧电极(30)。在外侧管(20)与内侧管(50)之间形成有主放电空间(S1)。另外，在内侧电极(30)与内侧管(50)之间形成有点亮起动辅助用的放电空间(辅助放电空间)(S2)。
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公开(公告)号：CN112540510A
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202010294095.8
申请日：2020-04-15
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 长谷川祐哉
IPC: G03F7/20
Abstract: 提供曝光装置及其性能评价方法。课题在于在曝光装置中，同时评价多个评价项目。在曝光装置中，使条状图案光(PL1～PL3)排列而成的图案列(PT)透过狭缝(ST)。此时，将图案列(PT)的图案间隔(PP)、图案宽度(PW)、狭缝(ST)的狭缝宽度(SP)形成为使得谷部分(V)得到平坦的光量分布波形(AT)。
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公开(公告)号：CN112010264A
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN202010277974.X
申请日：2020-04-10
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 提供紫外线照射装置和臭氧生成装置，该臭氧生成装置包含该紫外线照射装置，可抑制原料气体的升温。在具有紫外线照射装置(10)的臭氧生成装置(1)中，将准分子灯(40)同轴配置于紫外线照射装置(10)的流体管(30)，使轴流风扇(20)转动而使空气向上方流动，产生臭氧。构成如下的准分子灯(40)，该准分子灯(40)具有在臭氧生成装置(1)的工作中，使流体管(30)的入口(30A)附近的温度与流出口(30B)附近的温度差为20℃以下的轴向长度(K)、相隔距离(d)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111992893A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN202010277835.7
申请日：2020-04-10
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: B23K26/362 , B23K26/70
Abstract: 提供激光加工装置。即使在装置发生了摆动的情况下，也能够保持精度，即使处于摆动状态，也能够实施激光加工，所以提高生产力。一种激光加工装置，其具有：照明光学系统，其将线状的加工用激光照射到掩模，并且利用扫描机构对掩模进行扫描；投影光学系统，其将通过掩模后的加工用激光照射到被加工物；被加工物载置台，其载置被加工物，并且使被加工物在x-y方向上移动；支承体，照明光学系统、掩模的支承部、投影光学系统和被加工物载置台固定于该支承体，使得照明光学系统、掩模的支承部、投影光学系统和被加工物载置台一体地位移；以及减振装置，其抑制支承体的振动。
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公开(公告)号：CN111755318A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010194736.2
申请日：2020-03-19
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 提供放电灯及其制造方法。提供一种具有热耐久性优异的密封结构的放电灯。在放电灯(10)的密封管(20)中，贯穿插入有电极支承棒(22A)，将金属箔(36)在外周面连接的内侧金属环(26)组装到安装部件(18A)中。内侧金属环(26)由圆盘部(26B)和从其周缘逐渐扩展地延伸的延伸部(26C)构成，形成为碗状。
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公开(公告)号：CN105448641B
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201510603851.X
申请日：2015-09-21
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 放电灯，在对不同的金属部件进行接合而形成电极的放电灯中，使电弧放电稳定来抑制照度变动。在具有阴极(20)、阳极(30)的短弧型放电灯(10)中，通过将由敷钍钨构成的金属部件(22)与热膨胀系数大于金属部件(22)且由钼构成的金属部件(24)固相接合，形成沿着锥形部分(20A)的电极轴垂直方向形成有接合面(S)的阴极(20)。
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公开(公告)号：CN105280471B
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201510266132.3
申请日：2015-05-22
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 提供具有发送器的放电灯及其光源装置，能够严格地管理点亮的放电灯的灯信息，并恰当地进行点亮。在灯(1)所具有的灯供电线(5)上，以围着灯供电线(5)的方式安装发送器(6)。发送器(6)利用电流流过灯供电线(5)这一情况进行工作。发送器(6)将与灯的类型或累积点亮时间等信息对应的信号叠加到点亮电流而传递到光源装置，光源装置(7)参考该信号，进行能否继续点亮的判断、以及灯的点亮电力调整。通过在灯信息的传递中使用点亮电流，能够可靠地管理灯信息，能够始终安全地点亮。
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公开(公告)号：CN105467773B
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201510617271.6
申请日：2015-09-24
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: G03F7/20
Abstract: 直接曝光装置，在将图案曝光于从供给卷轴送出并被卷绕到卷绕卷轴上的长条状工件的直接曝光装置中，能够在抑制曝光辊直径增大的同时，扩大曝光图像的焦点对准区，并使描绘图案的线条变细。该直接曝光装置具有：圆筒部件，其在上述供给卷轴与卷绕卷轴之间，在其周面的一定范围内保持长条状工件的同时进行旋转；引导构件，其在长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置处，沿与上述圆筒部件的轴垂直截面中的径向垂直的切线方向引导长条状工件；以及曝光构件，其在包含上述脱离位置的输送方向的前后一定范围内，对从上述圆筒部件脱离并沿上述切线方向延伸的长条状工件描绘图案。
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