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公开(公告)号:CN110813953B
公开(公告)日:2024-08-16
申请号:CN201911291402.0
申请日:2019-12-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种高压喷淋清洗机,包括:清洁水储液罐;高压柱塞泵,其与清洁水储液罐的出水管路连接;管道清洗单元,其与高压柱塞泵的出水管路连接;管道清洗单元上设置有脱水剂喷雾喷头、清洗剂喷雾喷头和自旋转高压喷头;管道推进单元,其连接在管道清洗单元上;箱体清洗单元,其通过供水软管与高压柱塞泵的出水管路连接;脱水剂储液罐,其通过供水软管和加液泵Ⅰ与管道清洗单元的脱水剂喷雾喷头连接;清洗剂储液罐,其通过供水软管和加液泵Ⅱ与管道清洗单元的清洗剂喷雾喷头连接。该清洗机通过管道清洗单元能够清洗不同长度和不同直径的管道,管道清洗单元在运行过程中应能够保持喷头沿管道中心行走;具备高效清洗和无残留等特点。
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公开(公告)号:CN115826227B
公开(公告)日:2024-08-13
申请号:CN202211455581.9
申请日:2022-11-21
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及一种光学系统非金属密封材料的洁净处理方法和评价方法,解决了真空环境中光学元件易受非金属密封材料污染的问题,本发明通过第一遍清洗、真空烘烤以及第二遍清洗,对光学系统中非金属密封材料进行洁净处理,使得非金属密封材料的污染得到有效去除,实现非金属密封材料的彻底洁净。本发明的洁净处理方法,处理效果好,具有可靠、经济、高效的特点,处理后的材料对光学系统影响小,能够确保光学元件维持较高光学特性。
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公开(公告)号:CN107179617B
公开(公告)日:2024-04-02
申请号:CN201710630998.7
申请日:2017-07-28
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G02F1/065
Abstract: 本发明公开了一种高速电光调制器,包括:微纳光纤耦合器,其采用两根单模光纤缠绕在一起,放入光纤拉制平台拉制而成;高分子电光材料层,其包覆在微纳光纤耦合器上;电极板,其抵近设置于所述高分子电光材料层的外部。采用本发明提供的新型高速电光调制器的制备方法,高效快速地制备出了调制速度快、光信号损耗小、信噪比高及成本低廉的电光调制器,当半导体激光器发出的激光从电光调制器的输入端注入该器件时,同时电极将电信号加在电极板两端,这将改变单元的表面折射率导致谐振波长发生变化,影响输出端光功率的变化,最终得到与电信号变化一致的光信号,能够用于光通信领域,解决了目前普通电光调制器成本高、调制速度慢、信噪比较低等问题。
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公开(公告)号:CN117147365A
公开(公告)日:2023-12-01
申请号:CN202311115526.X
申请日:2023-08-31
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N5/04
Abstract: 本发明公开了一种用于产品表面污染物的精密定量检测方法,包括:使用环己烷和乙酸乙酯的共沸混合物对产品待检区域进行冲洗,再对收集到的取样溶液进行抽滤,分别获得产品的表面颗粒污染物和有机污染物,最后对颗粒污染物进行计数,对有机污染物进行称量,便可得到产品表面污染物洁净度等级。此检测方法可用于机械件、光学元件、聚四氟乙烯等不溶于有机溶剂的产品表面污染物的检测,属于精密定量检测,可同时检测颗粒污染物和有机污染物,最后给出产品表面的污染物量级,用以评估产品表面的洁净度等级。
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公开(公告)号:CN115894090A
公开(公告)日:2023-04-04
申请号:CN202211439213.5
申请日:2022-11-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: C04B41/91
Abstract: 本发明公开了一种在脆硬材料表面制备高增透亚波长结构的方法,包括:制备待加工脆硬材料样品;对硬脆材料样品表面进行辐照改性,对硬脆材料样品表面进行扫描,对目标改性区域进行活化;在无掩模情况下,利用离子刻蚀技术对活化区域进行精准去除,获得亚波长增透结构;超声清洗,洁净空气吹干。本发明使用飞秒激光对硬脆材料表面进行精确辐照,使材料内部的结晶态发生转变,赋予材料表面一定的活性,在无掩模情况下利用离子刻蚀技术对改性区域进行精准去除,在硬脆材料表面获得亚波长增透结构,不但消除了飞秒激光加工过程中碎屑飞溅的影响,同时解决了离子刻蚀手段在面临超高硬度、低化学活性晶体材料时普遍存在的刻蚀效率低下的问题。
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公开(公告)号:CN112611741B
公开(公告)日:2022-03-04
申请号:CN202011417600.X
申请日:2020-12-07
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种用于光学元件表面荧光特性颗粒检测的装置及方法,包括:紫外荧光成像系统,其连接有控制电脑;运动机构,紫外荧光成像系统设置在运动机构上;将紫外荧光成像系统固定于运动机构上,将光学元件放置于底座内;通过运动机构的支架调整紫外荧光成像系统与光学元件的距离,使其成像最清晰;控制电脑控制紫外荧光成像系统,使用CCD相机拍照并分析检测结果;通过运动机构的纵向导轨、横向导轨和竖直导轨移动紫外荧光成像系统,并重复进行拍照分析,完成对光学元件的抽样检测。本发明可根据成像镜头的工作距离,通过运动机构调节紫外荧光成像系统与光学元件之间的距离。本发明检测方法为无损检测,与光学元件无接触,无二次污染产生。
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公开(公告)号:CN114018922A
公开(公告)日:2022-02-08
申请号:CN202111301289.7
申请日:2021-11-04
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供了一种微纳光纤湿度传感器及其制备方法和应用,属于微纳光纤传感技术领域。本发明提供了一种微纳光纤湿度传感器的制备方法,包括以下步骤:在微纳光纤的部分表面形成敏感膜层,所述敏感膜层的材质包括SnO2、Al2O3、Ta2O5、石墨烯、SiO2和MnO2的一种或多种;在所述微纳光纤的剩余部分表面涂覆聚二甲基硅氧烷(PDMS)后固化,得到所述微纳光纤湿度传感器。本发明采用敏感膜层结合微纳光纤传感的方法,对环境湿度具有良好的湿度响应性能,可实现大范围湿度传感,提高对湿度检测的灵敏度;采用有机聚合物PDMS树脂作为柔性封装,生物兼容性好,可用于人体呼吸监测。
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公开(公告)号:CN111272772A
公开(公告)日:2020-06-12
申请号:CN202010189521.1
申请日:2020-03-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/94
Abstract: 本发明公开了一种基于微纳光纤长周期光栅的有机污染物在线监测装置及方法,包括:用于发出光源的超连续谱光源,其出射光的光路上依次连接有传感单元和光纤光谱仪,所述超连续谱光源上连接有控制电脑;其中,所述传感单元包括微纳光纤长周期光栅和包裹在微纳光纤长周期光栅表面的用于吸附有机污染物的溶胶-凝胶膜层。利用光在传感单元中传输,会形成调制,形成波谷,当镀有溶胶-凝胶敏感膜层的微纳光纤长周期光栅吸附有机污染物后,其表面折射率发生改变,同时影响表面倏逝波的传输特性,导致谐振波长发生变化,最后利用光纤光谱仪对这种偏移进行监测并反推空间中有机污染物浓度的变化,最终实现对有机污染物浓度的在线监测。
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公开(公告)号:CN110849897A
公开(公告)日:2020-02-28
申请号:CN201911291679.3
申请日:2019-12-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种光学元件表面非接触式洁净监测及处理系统,包括:光传输管道或箱体;光学元件支撑单元,其设置在光传输管道或箱体的底部;光学元件倾斜设置在光学元件支撑单元上;照明单元,其设置在光学元件支撑单元上;风刀单元,其设置在光学元件支撑单元上,其风刀单元位于光学元件的上边缘;相机监测单元,其设置在光传输管道或箱体的上方,且相机监测单元的照射镜头与光学元件的表面垂直。本发明的光学元件表面非接触式洁净监测及处理系统,可以实现对光学元件表面颗粒污染物的实时拍照采样,通过对污染物的粒径及分布信息进行统计,记录表面颗粒污染物的变化情况;该系统采用风刀单元可以实现对光学元件表面颗粒污染物的有效去除。
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公开(公告)号:CN110829156A
公开(公告)日:2020-02-21
申请号:CN201911226195.0
申请日:2019-12-04
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种分体式局部洁净环境制造装置,包括洁净送风模块和洁净空间模块,洁净送风模块包括洁净风箱、风机和过滤组件,洁净空间模块包括层流罩以及呈扁平结构的匀流箱,匀流箱通过风管与洁净风箱连通,匀流箱上均匀分布有匀流箱出风小孔,匀流箱中设置有挡风隔板。采用以上技术方案,洁净送风模块可放置在合适位置,远离作业现场,而位于作业现场的层流罩的重量和体积均得到大幅降低,既适用于在空间较狭窄的作业现场,也可调整其支架用于高空作业,设备的灵活性得到大幅度提升;并且,通过设置匀流箱,不仅保证了气流的均匀性,更保证了气流风速不致显著下降,能够更好地保持层流罩内部的洁净环境。
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