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公开(公告)号:CN101928369A
公开(公告)日:2010-12-29
申请号:CN201010217436.8
申请日:2010-06-23
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C08F222/14 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08F222/24 , C08F220/38 , G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00
CPC classification number: C08F224/00 , C08F220/10 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08F222/14 , C08F226/06 , C08F228/06 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/027 , G03F7/038 , G03F7/0382 , G03F7/0392 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供一种树脂和抗蚀剂组合物。所述树脂包含衍生自由式(aa)表示的化合物的结构单元,其中T表示C4至C36脂环族烃基,所述脂环族烃基中所含的氢原子可以被卤素原子,羟基,任选被卤素原子或羟基取代的C1至C12烷基,C1至C12烷氧基,C6至C12芳基,C7至C12芳烷基,缩水甘油基氧基,C2至C4酰基,烷氧羰基,烷酰氧基烷基或氰基代替,并且所述脂环族烃基中所含的-CH2-被至少一个-SO2-代替并且还可以被-CO-,-O-,-S-,-SO2-或-N(Rc)-代替;Rc表示氢原子或C1至C6烷基;R1表示氢原子,卤素原子,或表示可以任选具有卤素原子的C1至C6烷基;并且Z1表示任选取代的C1至C17饱和烃基,并且所述饱和烃基中所含的-CH2-可以被-CO-,-O-,-S-或-N(Rc)-代替。
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公开(公告)号:CN101898984A
公开(公告)日:2010-12-01
申请号:CN201010188195.9
申请日:2010-05-25
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C323/20 , C07C309/17 , C07D307/00 , G03F7/004 , G03F7/00
CPC classification number: C07D493/18 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2603/74 , C07D307/33 , C07D307/77 , C07D307/93 , C07D309/06 , C07D309/30 , C07D313/04 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392
Abstract: 本发明提供盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物。一种由式(I-BB)表示的盐,其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子等,X1表示单键等,Y1表示C1-C36脂族烃基等,A1和A2各自独立地表示C1-C20脂族烃基等,Ar1表示可以具有一个或多个取代基的(m4+1)价C6-C20芳族烃基,B1表示单键等,B2表示具有一个或多个-OXa基团并且不能通过酸的作用消除的C4-C36脂环族烃基等,并且Xa表示氢原子或能通过酸的作用消除的基团,m1和m2各自独立地表示0至2的整数,m3表示1至3的整数,条件是m1+m2+m3=3,并且m4表示1至3的整数。
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公开(公告)号:CN101493541A
公开(公告)日:2009-07-29
申请号:CN200910009724.1
申请日:2009-01-23
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G02B5/30 , C08F283/00 , C08G18/32 , C08G18/40 , C08G18/28 , C08G18/72 , C08G18/83 , C08L75/04 , C08L33/10 , C08L33/12 , C08L39/04 , C08L25/08 , C08L33/08 , C08L33/26 , C08L33/02 , C08J5/18
Abstract: 一种光学膜及该光学膜的制造方法,所述光学膜含有具有如下结构单元的树脂,所述结构单元为:来自选自式(I)~式(VI)表示的单体中的1种以上的单体(1)的结构单元;和来自使具有脂环式烃骨架的聚异氰酸酯化合物以及多元醇化合物反应而得到的化合物(2)的结构单元。
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公开(公告)号:CN1904735A
公开(公告)日:2007-01-31
申请号:CN200610107559.X
申请日:2006-07-27
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 一种着色感光性树脂组合物,其含有(A)着色剂、(B)粘合剂树脂、(C)光聚合性化合物、(D)光聚合引发剂、(E)溶剂和(F)选自式(I-1)表示的化合物和式(I-2)表示的化合物中的至少一种化合物[式(I-1)和式(I-2)中,R1和R2各自独立,分别表示氢原子或碳原子数为1~4的烷基;p表示4或4以上~90或90以下的整数;q、r和s各自独立,分别表示1或1以上~40或40以下的整数]。
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