公开(公告)号：CN118878505A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202410519474.0

申请日：2024-04-28

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 福岛将大 ,  畠山润

IPC: C07D319/08 ,  C07D493/20 ,  C07D495/20 ,  C07D319/24 ,  C07D327/08 ,  C07D311/86 ,  C07D273/01 ,  C07D327/00 ,  C07D321/12 ,  C07D323/00 ,  C07C381/12 ,  C07D333/76 ,  C07D335/02 ,  C07D333/08 ,  C07D327/06 ,  C07D279/20 ,  C07D333/54 ,  C07C43/225 ,  C07C205/12 ,  C07C25/18 ,  C07C63/70 ,  G03F7/00 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明涉及鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明提供一种鎓盐，在使用高能射线的光学光刻中，溶剂溶解性优异、高感度、高对比度、且曝光裕度(EL)、LWR等光刻性能优异的化学增幅抗蚀剂组成物中使用。并提供含有该鎓盐作为光酸产生剂的化学增幅抗蚀剂组成物、及使用该化学增幅抗蚀剂组成物的图案形成方法。下式(1)表示的鎓盐。#imgabs0#

公开(公告)号：CN110554569B

公开(公告)日：2024-01-16

申请号：CN201910465811.1

申请日：2019-05-31

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 畠山润 ,  大桥正树 ,  藤原敬之

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  G03F7/30

Abstract: 本发明涉及抗蚀剂组合物及图案化方法。抗蚀剂组合物，包含基础聚合物和具有碘化苯环的N‑羰基磺酰胺的 盐，其提供高灵敏度、最小的LWR和改善的CDU，与其是正调色剂还是负调色剂无关。

公开(公告)号：CN116804824A

公开(公告)日：2023-09-26

申请号：CN202310299501.3

申请日：2023-03-23

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 畠山润

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  G03F7/039

Abstract: 本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题为提供为高感度且LWR、CDU经改善的抗蚀剂材料及使用其的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂材料，含有含下式(1)表示的锍盐的淬灭剂。#imgabs0#

公开(公告)号：CN116736633A

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202310225750.8

申请日：2023-03-10

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 畠山润 ,  福岛将大

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039

Abstract: 本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。发明课题提供正型、负型皆是高感度且LWR、CDU有所改善的抗蚀剂材料、及使用其的图案形成方法。解决手段是一种抗蚀剂材料，包含淬灭剂，该淬灭剂含有具有经含氮原子的环族基及硝基取代的苯环的芳香族羧酸的锍盐。

公开(公告)号：CN110824839B

公开(公告)日：2023-06-20

申请号：CN201910728721.7

申请日：2019-08-08

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 畠山润 ,  大桥正树

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明涉及抗蚀剂组合物和图案化方法，其中，包含具有碘化的或溴化的芳环的羰氧基酰亚胺化合物的抗蚀剂组合物具有高的感光度并且形成具有改进的LWR或CDU的图案。

公开(公告)号：CN116178948A

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN202211468286.7

申请日：2022-11-22

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 长泽贤幸 ,  畠山润

IPC: C08L79/02 ,  C08L39/00 ,  C08J5/18 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明的目的在于提供一种导电性高分子组合物，其能够适宜地用于过滤性及在电子束抗蚀剂上的平坦膜成膜性良好，并且在电子束描绘工序中也显示优良的抗静电性能，且将因该膜扩散的酸的影响降至最低限度，剥离性也优异的电子束抗蚀剂描绘用抗静电膜。所述导电性高分子组合物包含：(A)具有下述通式(1)所表示的重复单元的聚苯胺类导电性高分子、及(B)下述通式(2)所表示的结构的聚合物。式(1)中，R1～R4表示氢原子、酸性基团、羟基、烷氧基、羧基、硝基、卤素原子、烃基。式(2)中，R5、R6各自独立地表示氢原子、碳原子数为1～10的直链状或支链状、环状的烷基、包含杂原子的烃基，Xa‑为阴离子且a表示价数。

公开(公告)号：CN116165846A

公开(公告)日：2023-05-26

申请号：CN202211477157.4

申请日：2022-11-23

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 畠山润 ,  菊地骏 ,  大山皓介

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明涉及正型抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题是提供酸的扩散受到控制，具有优于已知的正型抗蚀剂材料的分辨率，边缘粗糙度、尺寸偏差小，且曝光后的图案形状良好的正型抗蚀剂材料及图案形成方法。该课题的解决手段为一种正型抗蚀剂材料，含有末端被由连接于硫醚基的铵阳离子及含氟原子的阴离子构成的盐封端而成的基础聚合物。

公开(公告)号：CN115211861A

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202210388028.1

申请日：2022-04-13

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 畠山润 ,  渡边修

IPC: A61B5/256 ,  A61B5/259 ,  A61B5/268 ,  C09D183/04 ,  C09D183/07 ,  C09D183/05 ,  C09D133/14

Abstract: 本发明涉及生物体电极组成物、生物体电极、及生物体电极的制造方法。本发明的课题为提供能够形成导电性及生物相容性优异，轻量且能以低成本制造，无论被水沾湿或干燥，导电性均不会大幅降低，柔软且伸缩性及粘着性优异的生物体电极用的生物体接触层的生物体电极组成物。本发明提供一种生物体电极组成物，含有(A)聚硅氧；该(A)聚硅氧键结于离子性聚合物且具有含有下列通式(T1)表示的T单元的结构(笼型结构除外)；(R0SiO3/2)(T1)式中，R0为与前述离子性聚合物的连接基团；且前述离子性聚合物为含有具有选自氟磺酸、氟磺酰亚胺及N‑羰基氟磺酰胺中任一者的铵盐、锂盐、钠盐、钾盐、银盐的结构的重复单元的聚合物。

公开(公告)号：CN115067957A

公开(公告)日：2022-09-20

申请号：CN202210235980.8

申请日：2022-03-11

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 畠山润 ,  岩渊元亮 ,  池田让 ,  渡边修 ,  野中汐里 ,  长谷川幸士

IPC: A61B5/263 ,  A61B5/268 ,  A61B5/259

Abstract: 本发明涉及生物体电极、生物体电极的制造方法、及生物体信号的测定方法。本发明为一种生物体电极，其特征为具有：多孔质的伸缩性基材、含有硅的粘着性导电膜、及导电路，该导电膜形成于该多孔质的伸缩性基材的单面，该导电路连接于该导电膜且贯穿该伸缩性基材并露出于相反侧。借此提供生物体信号的感度高，生物相容性优良，为轻量且能以低成本制造，无论被水润湿、干燥、长时间贴附于肌肤，生物体信号的感度仍不会大幅地降低，无肌肤搔痒、红斑、皮疹而为舒适的生物体电极，并提供该生物体电极的制造方法及生物体信号的测定方法。

公开(公告)号：CN111333894B

公开(公告)日：2022-05-31

申请号：CN201911324247.8

申请日：2019-12-17

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 畠山润 ,  岩渊元亮 ,  池田让

IPC: C08J7/04 ,  A61B5/268 ,  C08L75/08

Abstract: 本发明涉及复合伸缩性膜及其形成方法。本发明提供具有优良的伸缩性及强度且膜表面的拨水性也优良的伸缩性膜及其形成方法。一种复合伸缩性膜，是伸缩性膜，其特征为：在由聚氨酯2的固化物构成的内部膜上叠层由聚氨酯1的固化物构成的表面膜而成，所述聚氨酯2具有下列通式(2)所示的由聚醚与氨基甲酸酯键构成的单元c，所述聚氨酯1由下列通式(1)所示的单元a1～a4与有机硅悬挂型氨基甲酸酯单元b1和/或b2共聚而成。式中，R1～R4、R20～R27为碳数2～12的亚烷基，R5为2价连接基，R6、R7、R8为碳数1～6的烷基等，R9为碳数1～6的烷基等，R10为氢原子或碳数1～4的烷基，R11为单键、亚甲基等，R12为氢原子或甲基，X为碳数3～7的亚烷基。