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公开(公告)号：CN101038851A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200610065119.2
申请日：2006-03-17
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/317 , H01L21/265 , H01L21/425
Abstract: 本发明是一种用于快速释放残余高压和静电的装置，用于离子注入机中高压仓或高压区机房架残余高压和静电释放，包括底板、压块、推块、固定座、放电杆、盘头螺钉、内六角圆柱头螺钉和气缸组成。
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公开(公告)号：CN102445901B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201010514201.5
申请日：2010-10-13
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种离子源自动稳弧流的方法，离子源装置包括阴极(1)灯丝(2)、弧室(3)、弧压电源(4)、灯丝电源(5)、偏置电源(6)。自动稳弧流的方法就是通过检测弧压电源(4)的负载电流——弧流的变化，用PID控制器来控制影响阴极发射电子的灯丝电源(5)的负载电流——灯丝电流，达到稳定弧流的目的。在灯丝电源(5)和弧压电源(4)之间形成一闭环控制，从而使弧流自动稳定，不需要人工或主控计算机干预。
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公开(公告)号：CN102534536B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201010621900.X
申请日：2010-12-27
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种硅片台多轴运动装置，主要包括：硅片台自转机构(1)、硅片台倾斜机构(2)、竖直和摆动运动机构(3)和机架(4)。所述的硅片台自转机构(1)置于硅片台倾斜机构(2)上；所述的硅片台倾斜机构(2)置于竖直和摆动运动机构(3)上；所述的竖直和摆动运动机构(3)置于机架(4)上。其特征在于，硅片台自转机构(1)可以绕硅片台中心旋转；硅片台自转机构(1)可以垂直于硅片台面转动；硅片台倾斜机构(2)可以摆动旋转和竖直运动，从而实现硅片台的多角度运动扫描。
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公开(公告)号：CN102347224B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201010243033.0
申请日：2010-08-02
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01L21/265 , H01J37/317
Abstract: 本发明公开了一种离子注入机用的晶片缺口定位装置，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该结构包括：本发明采用一个带标准缺口晶片1，一个旋转托盘2，一根旋转轴，一个红外光的LED发光光源组件4，一个检测红外光光强的传感器5，一个遮光罩6，一个安装支撑座7，一个定位驱动皮带8和两个驱动轮9，一个带高精度编码的直流伺服电机10。
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公开(公告)号：CN102445670B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201010513644.2
申请日：2010-10-13
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: G01R33/07
Abstract: 本发明涉及了一种交流霍尔系统，用于检测磁场。该系统包括正弦波发生电路(1)、比较器(2)、隔离变压器(3)、负载电流采样电路(4)、霍尔片(5)、线性校正电路(6)、琴键开关切换电路(7)、隔离变压器(8)、采样放大电路(9)、绝对值放大电路(10)、输出放大电路(11)。本专利对霍尔器件的两个输入电极注入恒交流信号，霍尔片(5)对磁场的响应以交流的形式输出，隔离变压器(3)和隔离变压器(8)的设计能有效的隔离寄生直流电势，防止输出漂移。具有防干扰能力强，检测精度高以及调试方便等特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102956518A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201110241153.1
申请日：2011-08-22
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
Abstract: 一种检测晶片的方法，包括：激光器(1)、接收器(2)、晶片(3)。其特征在于，其中所述激光器(1)发出激光，在无晶片(3)的情况下，接收器(2)准确接收到激光，在有晶片(3)时，激光被晶片(3)挡住，反射光方向改变，接收器2接收不到激光。此检测晶片的方法简单可靠，由于是激光检测能更快的检测到有无晶片。
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公开(公告)号：CN102867768A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201110186452.X
申请日：2011-07-05
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/00
Abstract: 本发明公开了一种提高靶室晶片传输效率的方法，包括：主机械手(1)，副机械手(2)，定向台(3)和靶台(4)四大功能模块，主机械手(1)下又有送回到片库(5)、送到定向台(6)、从片库取片(7)、从靶台取片(8)、状态出错(17)和任务结束(19)几个子模块，副机械手(2)下又有送片到靶台(9)和定向台取片(10)2个子模块，定向台下又有等待副机械手取片(11)、等待主机械手送片(12)和定向(13)3个子模块，靶台下又有注入(14)、等待副机械手送片(15)和等待主机械手取片(16)3个子模块，而每个大模块中都有运动出错(18)这个模块。其特征在于：其中所述主机械手(1)、副机械手(2)、定向台(3)和靶台(4)之间执行自己内部的事件，统一由上层模块来协调调配，避免程序内部和流程上的混乱现象，使程序和流程更简洁、更明朗。本发明可以使靶室内同时传送3片，最大化的提高机械手的利用率，缩短空闲时间，提高传输效率。
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公开(公告)号：CN102561819A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201010621919.4
申请日：2010-12-27
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种门联锁控制的方法，该装置包括离子注入机的十个门(12)以及对应的指示灯(15)、一个倍压筒盖(1)、一个气箱放电棒(3)、一个继电器线圈(4)、带灯的开门按钮(2)、带灯的锁门按钮(6)、放电棒电磁阀(10)。该方法就是每个门都关上且倍压筒盖闭合时，每个门以及倍压筒盖对应的指示灯亮。按下锁门按钮后，继电器线圈得电，它的触点动作，线圈自锁，所有门上锁的灯亮。只有按下开门按钮使线圈瞬间失电，触点动作。门未上锁灯亮，门上锁灯灭，可以开门。这就是门联锁的控制。
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公开(公告)号：CN102446690A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201010514163.3
申请日：2010-10-13
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/317
Abstract: 一种机械式离子束均匀性校正器，包括：真空腔，小光栏片，调节杆，真空动密封模块，调节传动模块，调节电机，上光栏链，下光栏链。所述的真空腔上下面开排孔，安装真空动密封模块；所述的小光栏片首尾相连，分别组合成上光栏链和下光栏链，并在连接处同调节杆的一端相连；所述的真空动密封模块安装在真空腔上，中间可穿过调节杆，并密封真空；所述的调节传动模块一端连接调节杆，另一端连接调节电机，将电机转动转变为调节杆的轴向滑动；所述的上光栏链和下光栏链由多个小光栏片首尾相连组成，并在每个连接处与一根调节杆连接，通过调节杆的轴向移动，调节相应连接点处上光栏链和下光栏链之间的距离，改变离子束的通过率，实现离子束在光栏链范围内的均匀性校正。
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公开(公告)号：CN102446689A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201010514152.5
申请日：2010-10-13
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/04
Abstract: 本发明提供一种真空中电极引入装置。该装置具有和电源连接的真空封电极，将电源引入到弧室腔体的阴阳两极，使弧室腔体两端具有一定压差，具有和电源连接的灯丝杆将电流引入灯丝，使灯丝发热，以产生电子，电子在磁场作用下在具有一定电压的弧室腔体中做螺旋运动，和通入弧室腔体的气体分子相碰撞，由此得到离子。
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