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公开(公告)号：CN105059572B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201510446251.7
申请日：2015-07-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 基于PWM的气浮台平动控制方法，属于地面全物理仿真领域，本发明为解决现有气浮台平动控制方法控制精度低、推力器开启时间长、能源消耗大的问题。本发明具体过程为：根据位置基准信号和气浮台位置信号获取位置误差信号；PID控制器根据位置误差信号输出控制电压，将控制电压的调制波输送至PWM模块；PWM模块采用等腰三角形的锯齿波作为载波，将调制波与载波调制为PWM波；当PWM波占空比为1时，位置误差信号较大，推力器打开；当PWM波占空比小于1时，位置误差信号较小，在PWM波高电平时推力器打开，低电平时推力器关闭；推力器打开时将控制电压转换为脉冲形式的离散推力，推动气浮平台平动。本发明用于卫星地面仿真。
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公开(公告)号：CN104965394B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201510471721.5
申请日：2015-08-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种双工件台系统换台过程控制方法，本发明属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤为：第一工件台移动到左侧预处理工作位置处；第二工件台移动到右侧曝光工作位置处；第一X向移动平台移动到左侧换卡位置处，第二X向移动平台移动到右侧换卡位置处；公转电机带动第一工件台和第二工件台逆时针旋转180度；第二工件台移动到左侧预处理工作位置处；第一工件台移动到右侧曝光工作位置处；公转电机带动第一工件台和第二工件台顺时针旋转180度。本发明方法采用回转换台方案，与直线换台方案相比，减少了换台过程中对台体的冲击，减少了换台时间，提高了工件台定位精度，对增加光刻机产率起到了至关重要的作用。
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公开(公告)号：CN104020691B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201410257825.1
申请日：2014-06-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/04
Abstract: 适用于多总线协议、多扩展接口的信号采集板卡，属于高精度运动控制的信号采集领域，本发明为解决目前市场上的多数信号采集板卡基于单一PCI、PXI或者ISA总线的方式，没有可以兼容多种总线协议的信号采集板卡的问题。本发明包括FPGA模块、DSP模块、m个RS422模块、通用扩展接口、第一电平转换模块、第二电平转换模块、n个光纤收发芯片、n个光纤接口模块、p个AD采集芯片、总线接口模块、PCI总线转接电路板、PXI总线转接电路板、ISA总线转接电路板和VME总线转接电路板；便于同其他信号采集单元通信或者将其他传感器模块的扩展。同时该信号采集板卡还预留了自定义总线的接口，便于用户根据自己需要自定义总线。
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公开(公告)号：CN104267597B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410448517.7
申请日：2014-09-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 超精密运动平台机械谐振的抑制方法，属于运动平台机械谐振的抑制领域。为了解决目前的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差的问题。包括：根据运动平台的宏微耦合力学模型，建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型；采用自适应实数编码遗传算法辨识出建立的宏微耦合模型的未知参数，进而分别建立宏动台和微动台的机械谐振模型，再采用自适应实数编码遗传算法辨识出机械谐振模型中未知参数，获得宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型；进而获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器；将宏动台的4个陷波器和宏动台串联，将微动台的2个陷波器和微动台串联，完成宏动台和微动台机械谐振的抑制。它用于抑制运动平台机械谐振。
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公开(公告)号：CN104044758B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410277187.X
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 一种线性电机和气浮复合驱动的垂向伺服机构，属于物理仿真领域。所述垂向伺服机构包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分，所述的垂向运动部分由基座、内套筒、外套筒和上平面组成；所述的气路部分位于垂向运动部分外部，由高压气瓶、开关阀、比例阀、气压控制器组成；所述的线性电机部分位于垂向运动部分内部，包括动子和定子；所述传感器部分位于垂向运动部分外部，安装在外套筒的下部。本发明通过气瓶为内套筒腔部提供恒压气体，并通过调节出口阀开度使外套筒部分得到重力补偿，控制线性电机实现外套筒的垂向运动。本发明具有控制方便、摩擦力小、行程长等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103869833B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201410128646.8
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D3/12
Abstract: 基于非正交结构的三轴气浮台质心调节方法，涉及地面全物理仿真领域。它是为了解决现有调节三轴气浮台质心需要人工调平，浪费时间，三轴气浮台质心调节精度低的问题。本发明实现将三轴气浮台质心调整到与其旋转中心重合的位置上，使实验台具有很高的平衡精度的目的，其三维质心调节系统的定位精度优于10um，满足实验台在地面进行姿态仿真时的使用要求；大大减少了质心调节的时间，不需要人工操作，调节时间同比节约了一倍以上。本发明适用于地面全物理仿真领域。
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公开(公告)号：CN103856113B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201410128678.8
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 一种基于磁悬浮平面电机的空间模拟器及其控制方法，属于航空航天方向物理仿真试验领域。本发明是为了克服现有航空航天设备抗扰动能力差、不能长时间运行以及由此导致的仿真效果差的问题。磁悬浮平面电子动子的读数头将读取的动子在平面光栅的位置信息通过FPGA控制板卡发送至无线发送/接收模块，并由地面的无线接收/发送模块接收，然后传输至上位机中，上位机根据动子实际位置信息和目标位置信息获得发送姿态控制指令，并将该姿态控制指令发送给电流控制器，电流控制器控制磁悬浮平面电机的动子向目标位置移动。本发明适用于航空航天研究领域中模拟外太空微干扰和微重力的实验环境。
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公开(公告)号：CN104792351A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201510187632.8
申请日：2015-04-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于绝对式码盘的复合式码盘误码校正方法，属于光电测量和自动控制技术领域。本发明针对绝对式光电码盘处理误码能力差，提出了一种复合式比较补偿算法。所述码盘误码校正方法通过以下步骤实现：增量码值w2和上一次的光栅码值w0_old进行赋值，完成变量初始化；判断当前光栅码值w0与上一次的光栅码值w0_old之差dw0，以计算最终增量码值w2′；确定误码校正阈值n,(n≥0)；利用绝对码值w1与最终增量码值w2′之差的绝对值|w1-w2′|判断当前系统是否产生误码；若当前系统产生误码，则用最终增量码值w2′代替绝对码值w1，即：w1＝w2′来校正当前系统，得到最终的码盘值W＝(w2′
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公开(公告)号：CN104655156A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410853255.2
申请日：2014-12-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D3/028
Abstract: 一种矩阵式编码方式的绝对式码盘的误差补偿方法，涉及光电测量和自动控制领域。本发明解决了绝对式码盘处理误码能力不足的问题。所述方法包括如下步骤：一、利用四象限绝对式码盘读取相应码值；二、采用最外圈相差90度读数头，经过增量式码盘处理电路，读取增量式码盘值；三、给定阈值，计算两个码值的差；四、对于超过预值的绝对式码值用相应的增量式码值来代替。本发明采用实时检测的办法，利用矩阵式编码盘原有的结构，仅增加了增量式码盘的计数电路结构，可以弥补因多种因素造成的码值跳变，融合了绝对式、增量式的优点，一定程度上解决了高位码值译码和码盘尺寸的矛盾，增加的电路简单可靠，方便维护。
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公开(公告)号：CN103335632B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201310236763.1
申请日：2013-06-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01C9/00
Abstract: 一种高精度高频响的平台倾角测量装置及采用该装置测量平台倾角的方法，涉及一种平台倾角测量装置及采用该装置测量平台倾角的方法。它是为了解决现有倾角测量传感器对平台倾角的测量精度低、频响低的问题。在平台运动基座边缘的一个圆周上均匀安装一定数量的线阵CCD，安装在平台上的旋转光源通过扫描线阵CCD在其屏幕上留下一系列光点，线阵CCD输出的光点高度信号输入到CPU中，将当前平台平面为相邻三个CCD上光点构成的平面，在CPU中通过空间几何关系计算获得平台在两个相互垂直方向的倾角。本发明适用于超精密仪器设备平台技术领域的应用。
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