公开(公告)号：CN112567493A

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：CN201980053848.1

申请日：2019-07-31

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 任伟明 ,  刘学东 ,  胡学让 ,  陈仲玮

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/04 ,  H01J37/153 ,  H01J37/05

Abstract: 公开了用于在多束装置中观察样品的系统和方法。一种带电粒子光学系统可以包括：偏转器，其被配置为形成带电粒子源的虚像；和转印透镜，其被配置为在图像平面上形成带电粒子源的实像。图像平面可以至少形成在光束分离器附近，该光束分离器被配置为分离由源生成的初级带电粒子和由初级带电粒子与样品的交互而生成的次级带电粒子。图像平面可以形成在光束分离器的偏转平面处。多束装置可以包括带电粒子色散补偿器以补偿光束分离器的色散。在转印透镜与带电粒子色散补偿器之间，图像平面可以被形成为与光束分离器相比更靠近转印透镜。

公开(公告)号：CN108738363B

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201680051694.9

申请日：2016-07-21

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 任伟明 ,  刘学东 ,  胡学让 ,  陈仲玮

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/06 ,  H01J37/10 ,  H01J37/28

Abstract: 提出了一种用于以高分辨率和高生产能力观察样本的多束装置。在该装置中，源转换单元通过使来自一个单电子源的平行初级电子束的多个小束偏转来形成该单电子源的多个且平行的图像，并且一个物镜将多个偏转的小束聚焦到样本表面上，并在样本表面上形成多个探测点。可移动聚光透镜用于使初级电子束准直，并改变多个探测点的电流，预小束形成部件弱化初级电子束的库仑效应，并且源转换单元通过最小化并补偿物镜和聚光透镜的离轴像差来最小化多个探测点的尺寸。

公开(公告)号：CN111066118A

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201880058003.7

申请日：2018-08-28

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 曾国峰 ,  董仲华 ,  王義向 ,  陈仲玮

IPC: H01J37/28

Abstract: 本文公开了一种设备，包括：被配置为发射带电粒子的源、光学系统和台架；其中台架被配置为在其上支撑样本并且被配置为将样本在第一方向上移动第一距离；其中光学系统被配置为利用带电粒子在样本上形成探测点；其中光学系统被配置为在台架将样本在第一方向上移动第一距离时，将探测点同时在第一方向上移动第一距离并且在第二方向上移动第二距离；其中光学系统被配置为在台架将样本在第一方向上移动第一距离之后，将探测点在第一方向的相反方向上移动第一距离减去探测点之一的宽度。

公开(公告)号：CN110945621A

公开(公告)日：2020-03-31

申请号：CN201880048462.7

申请日：2018-07-12

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 任伟明 ,  刘学东 ,  胡学让 ,  罗希楠 ,  陈仲玮

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28 ,  H01J37/244

Abstract: 提供了用于补偿单束或多束设备中的分束器的色散的系统和方法。本公开的实施例提供了分散装置，分散装置包括被配置为诱导束色散的静电偏转器和磁性偏转器，束色散被设置以消除由分束器生成的色散。静电偏转器和磁性偏转器的组合可以用于在所诱导的束色散被改变以补偿由分束器生成的色散变化时，将由于分散装置引起的偏转角保持不变。在一些实施例中，由于分散装置而引起的偏转角可以被控制为零，并且没有由于分散装置而引起的初级束轴变化。

公开(公告)号：CN109791862A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201780056388.9

申请日：2017-07-31

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 窦菊英 ,  樊征 ,  郭子毅 ,  陈仲玮

IPC: H01J9/02 ,  H01J1/14 ,  H01J1/304 ,  H01J37/06 ,  H01J37/065 ,  H01J37/073

Abstract: 公开了电子发射器和制造电子发射器的方法。根据某些实施例，一种电子发射器包括尖端，其具有直径在约(0.05-10)微米的范围内的平面区域。电子发射器尖端被配置为释放场发射电子。电子发射器进一步包括涂覆在尖端上的功函数降低材料。