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公开(公告)号：CN119314849A
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202411696033.4
申请日：2019-09-20
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/32 , G01N23/225 , G01N21/95
Abstract: 公开了一种改进的带电粒子束检查装置，并且更具体地，公开了一种包括改进的对准机制的粒子束检查装置。一种改进的带电粒子束检查装置可以包括第二电子检测器件，该第二电子检测器件用以在该对准模式期间生成多个次级电子束中的一个或多个束斑点的一个或多个图像。该束斑点图像可以被用来确定该多个次级电子束中的一个或多个次级电子束的对准特性，并且调节次级电子投影系统的配置。
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公开(公告)号：CN119452448A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202380050031.5
申请日：2023-09-06
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： 罗希楠
IPC: H01J37/22
Abstract: 系统、装置和方法包括提供样本的原始图像；观察原始图像的像素尺寸；通过对原始图像应用傅里叶变换来将原始图像转换为经变换的图像；基于像素尺寸来对经变换的图像应用函数；以及基于所应用的函数的结果确定原始图像的分辨率的关键性能指标。
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公开(公告)号：CN110945621B
公开(公告)日：2023-01-03
申请号：CN201880048462.7
申请日：2018-07-12
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/244
Abstract: 提供了用于补偿单束或多束设备中的分束器的色散的系统和方法。本公开的实施例提供了分散装置，分散装置包括被配置为诱导束色散的静电偏转器和磁性偏转器，束色散被设置以消除由分束器生成的色散。静电偏转器和磁性偏转器的组合可以用于在所诱导的束色散被改变以补偿由分束器生成的色散变化时，将由于分散装置引起的偏转角保持不变。在一些实施例中，由于分散装置而引起的偏转角可以被控制为零，并且没有由于分散装置而引起的初级束轴变化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115917698A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202180042316.5
申请日：2021-06-03
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 本文所公开的是一种用于支撑被配置为操纵带电粒子设备中的带电粒子路径的装置的模块，该模块包括：被配置为支撑该装置的支撑布置，其中该装置被配置为操纵带电粒子设备内的带电粒子路径；以及被配置为在模块内移动支撑布置的支撑定位系统；其中模块被布置为在带电粒子设备中是现场可更换的。
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公开(公告)号：CN110945621A
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201880048462.7
申请日：2018-07-12
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/244
Abstract: 提供了用于补偿单束或多束设备中的分束器的色散的系统和方法。本公开的实施例提供了分散装置，分散装置包括被配置为诱导束色散的静电偏转器和磁性偏转器，束色散被设置以消除由分束器生成的色散。静电偏转器和磁性偏转器的组合可以用于在所诱导的束色散被改变以补偿由分束器生成的色散变化时，将由于分散装置引起的偏转角保持不变。在一些实施例中，由于分散装置而引起的偏转角可以被控制为零，并且没有由于分散装置而引起的初级束轴变化。
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公开(公告)号：CN112889127B
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN201980068721.7
申请日：2019-09-20
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/317
Abstract: 公开了一种改进的带电粒子束检查装置，并且更具体地，公开了一种包括改进的对准机制的粒子束检查装置。一种改进的带电粒子束检查装置可以包括第二电子检测器件，该第二电子检测器件用以在该对准模式期间生成多个次级电子束中的一个或多个束斑点的一个或多个图像。该束斑点图像可以被用来确定该多个次级电子束中的一个或多个次级电子束的对准特性，并且调节次级电子投影系统的配置。
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公开(公告)号：CN115881498A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211651256.X
申请日：2018-07-12
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/14 , H01J37/153 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 提供了用于补偿单束或多束设备中的分束器的色散的系统和方法。本公开的实施例提供了分散装置，分散装置包括被配置为诱导束色散的静电偏转器和磁性偏转器，束色散被设置以消除由分束器生成的色散。静电偏转器和磁性偏转器的组合可以用于在所诱导的束色散被改变以补偿由分束器生成的色散变化时，将由于分散装置引起的偏转角保持不变。在一些实施例中，由于分散装置而引起的偏转角可以被控制为零，并且没有由于分散装置而引起的初级束轴变化。
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公开(公告)号：CN112889127A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201980068721.7
申请日：2019-09-20
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/317
Abstract: 公开了一种改进的带电粒子束检查装置，并且更具体地，公开了一种包括改进的对准机制的粒子束检查装置。一种改进的带电粒子束检查装置可以包括第二电子检测器件，该第二电子检测器件用以在该对准模式期间生成多个次级电子束中的一个或多个束斑点的一个或多个图像。该束斑点图像可以被用来确定该多个次级电子束中的一个或多个次级电子束的对准特性，并且调节次级电子投影系统的配置。
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