公开(公告)号：CN104089969A

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：CN201410341526.6

申请日：2014-07-18

申请人： 山西太钢不锈钢股份有限公司

发明人： 张昌钦 ,  陈建礼 ,  张晓琨

IPC分类号： G01N23/225

摘要： 本发明涉及一种评价合金工模具钢高温扩散效果的方法，它包括下述的步骤：Ⅰ根据扩散温度与保温时间组合种数，在合金工模具钢取相应的试样块数，将分析面抛光；Ⅱ 在分析面取20～50个点，应用电子探针测定分析元素的质量百分比；Ⅲ试样在马弗罐内在保护气氛下扩散，温度为1200—1300℃并保温；Ⅳ 取出试样，在试样分析面取20～50个点，再用电子探针测定各点分析元素的质量百分比；Ⅴ 取显著性水平α=0.02，对所分析元素高温扩散前后的含量分别进行Levene检验求概率p，根据Levene检验结果，采用改善指数λ确定所分析元素的分布不均情况是否改善。本评价合金工模具钢高温扩散效果的方法操作简单，检验结果可靠。

公开(公告)号：CN103502801A

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN201280019470.1

申请日：2012-04-16

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 岭川阳平 ,  高木裕治 ,  原田实 ,  平井大博 ,  中垣亮

IPC分类号： G01N23/225 ,  G01N21/956 ,  G06T1/00 ,  H01L21/66

CPC分类号： G06T7/001 ,  G01N21/9501 ,  G01N23/225 ,  G01N2223/421 ,  G01N2223/611 ,  G01N2223/646 ,  G06K9/6267 ,  G06T5/00 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 在自动缺陷分类功能中，由于对于每个装置适当的处理参数不同，因此需要按照每个缺陷观察装置来设定分类制程程序。在相同工序中运用多个装置的情况下，需要分类制程程序内的分类类相同。在重新制作分类制程程序等时候存在对于每个装置在分类类中产生差异这种问题。缺陷分类系统具备：保存分类制程程序的(214)；信息确定部(210)，其确定分类制程程序以及所保存的图像的工序、装置信息；对应缺陷确定部(209)，其从在相同工序中从不同的图像拍摄装置得到的图像中确定相同种类的缺陷图像；图像变换部(212)，其对在相同工序中从不同的图像拍摄装置得到的图像进行变换，变换为能够比较的类似的图像；以及制程程序更新部(211)，其将确定出的相同种类的缺陷图像登记到各自对应的分类制程程序内的分类类中。

公开(公告)号：CN103454300A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201310401157.0

申请日：2013-09-06

申请人： 鞍钢股份有限公司

发明人： 李文竹 ,  严平沅 ,  马惠霞 ,  钟莉莉 ,  黄磊

IPC分类号： G01N23/225

摘要： 本发明提供一种超轻元素碳的电子探针线分析定量检验方法，选取多个化学光谱分析用标样加工制备成10×10mm电子探针线分析用碳标准样品，利用面扫描模式代替点扫描模式获取碳的修正曲线，对待测样品进行线扫描分析，再应用碳的校正曲线对待测样品进行碳含量定量分析。可解决电子探针原有标样因尺寸小而不能用于大面积分析的难题，减少碳污染和微区成分不均匀以及电子束移动方式不同而产生的误差，因此所获得的修正曲线误差明显小于常规方法，从而保证获得的碳元素线分析结果准确可靠，解决了超轻元素碳的电子探针线分析定量不准确的问题，为更好地控制生产工艺和提高产品质量提供了可靠的数据依据。

公开(公告)号：CN103344660A

公开(公告)日：2013-10-09

申请号：CN201310264774.0

申请日：2013-06-27

申请人： 上海华力微电子有限公司

发明人： 倪棋梁 ,  陈宏璘 ,  龙吟 ,  王恺

IPC分类号： G01N23/225 ,  H01L21/66

摘要： 本发明公开了一种按照电路图形进行缺陷检测的电子显微镜分析方法，包括如下步骤：选取所述芯片设计电路图形中的特征电路图形；将缺陷检测设备扫描得到的缺陷位置文件输入到所述服务器中，所述服务器将所述缺陷位置文件转换为带有所述特征电路图形的缺陷文件；将所述缺陷文件导入到电子显微镜中；所述电子显微镜通过比对所述缺陷文件中的特征电路图形确定缺陷位置。利用本发明的技术，采用电子显微镜通过比对所述缺陷文件中的特征电路图形确定缺陷位置并进行拍照，节省了不断地在相邻芯片进行拍照的步骤，大大提高了设备的有效运作效率，同时也可以避免相邻芯片重复缺陷捕捉失败。

公开(公告)号：CN101556267B

公开(公告)日：2013-07-10

申请号：CN200910011680.6

申请日：2009-05-22

申请人： 东北大学

发明人： 刘振宇 ,  张驰 ,  骆宗安 ,  徐洋 ,  王国栋

IPC分类号： G01N33/00 ,  G01N23/04 ,  G01N23/225 ,  G01N21/88

摘要： 一种模拟铁素体不锈钢热轧粘辊的实验方法及其装置，属于冶金技术领域，方法为：将铁素体不锈钢加工成两个端面带有凹槽的试样，将试样和锤头置于有机溶剂中，在超声波条件下清洗，将夹具置于热模拟实验机操作箱的左右轴上，将两个锤头放入夹具中，用夹具将两个锤头和试样夹紧；通电流加热，保温并压缩试样。装置包括热模拟实验机和两个锤头，锤头端面粗糙度为1～2μm。本发明的方法及其装置能够模拟轧辊在高温压缩过程中的表面变化情况，并且可以对道次压下量、变形速率对粘辊的影响进行研究。

公开(公告)号：CN103168221A

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN201180048642.3

申请日：2011-09-16

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 盐野正道 ,  西村雅子 ,  许斐麻美 ,  桑畑进

IPC分类号： G01N1/28 ,  G01N23/225 ,  H01J37/20

CPC分类号： G01N23/2202 ,  G01N1/2813 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2605

摘要： 使漂浮在离子液体表面的微小试样不被离子液体覆盖而通过扫描电子显微镜观察。通过使漂浮性或者疏水性试样浮于亲水性离子液体水溶液表面，防止微小试样被离子液体覆盖。在亲水性试样的情况下，使用疏水性离子液体。通过使用粘性低、流动性大的离子液体水溶液，微小试样能够在离子液体表面自由地凝集、分散、排列，进而使沉降在离子液体中的微小试样能够再浮起。微小试样的形态稳定后，为了使在扫描电子显微镜下的观察容易，通过在电子显微镜观察前使离子液体水溶液干燥，使离子液体水溶液的流动性降低。

公开(公告)号：CN101978241B

公开(公告)日：2013-05-29

申请号：CN200980109275.6

申请日：2009-03-19

申请人： 凸版印刷株式会社

发明人： 米仓勋 ,  波木井秀充

IPC分类号： G01B15/00 ,  G01N23/225 ,  H01J37/22 ,  H01L21/66

CPC分类号： G01B15/04 ,  G01B2210/56 ,  G01N23/00 ,  G06T7/0006 ,  G06T7/13 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/30148 ,  G21K7/00 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2809 ,  H01J2237/2817

摘要： 一种微细结构体检查方法，用于检查样品微细结构图案的侧壁角度，其特征在于，具有：在多个SEM条件下拍摄所述样品微细结构图案的SEM照片的工序；测定所述SEM照片中的所述样品微细结构图案的边缘部位的白色带宽度的工序；基于所述白色带宽度随着所述多个SEM条件间的变化产生的变化量，计算出所述样品微细结构图案的侧壁角度的工序。

公开(公告)号：CN101929965B

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：CN200910140464.1

申请日：2009-05-15

申请人： 汉民微测科技股份有限公司

发明人： 汪苏 ,  张旭 ,  陈仲玮

IPC分类号： G01N23/225

摘要： 带电粒子检测装置，其包括多个独立光导模块组装在一起形成的、具有让入射带电粒子束通过的中央孔洞的透镜内在轴区块环绕检测装置。此组件在正对试片的一面涂布或结合闪烁材料，以作为带电粒子检测表面。每一光导模块与光电倍增管耦合，以让传递自每一个光导模块的光信号得以分别被放大和处理。带电粒子检测装置由整块状光导材料制成，从其一面挖出圆锥形止于相对面，圆锥的末端开口让入射带电粒子束通过，而相对面涂布或结合闪烁材料，以作为带电粒子检测面。光导块的外部加工成四个独立的光信号输出通道，每一个输出通道与光电倍增管耦合，以让各个通道的输出信号得以分别被放大和处理。

公开(公告)号：CN102175705B

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN201110059463.1

申请日：2011-03-11

申请人： 中国科学院半导体研究所

发明人： 郑婉华 ,  王宇飞 ,  晏新宇 ,  付非亚 ,  刘安金 ,  周文君 ,  陈微

IPC分类号： G01N23/225 ,  B82Y15/00

摘要： 本发明公开了一种基于表面等离子共振的双新月对结构的化学传感系统。该化学传感系统包括：相邻的第一新月形纳米柱和第二新月形纳米柱；第一新月形纳米柱包含用于容纳探测介质的第一空腔，第二新月形纳米柱包含用于提供扫描探针的探测位置的第二空腔，第一空腔和第二空腔的开口相对。本发明提供的基于表面等离子共振的化学传感系统，由于被分为用于探测与控制的第一空腔和用于信号提取的第二空腔，实现了探测方位与信号提取方位的分离，解决了因单个新月形纳米柱的电磁场局域而限制扫描探针的可探测范围的问题。

公开(公告)号：CN102338755A

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：CN201010227050.5

申请日：2010-07-15

申请人： 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 ,  鸿海精密工业股份有限公司

发明人： 林志阳 ,  李伟强

IPC分类号： G01N22/02 ,  G01N23/225 ,  G01N21/25 ,  G01B7/16

摘要： 一种电子元件接触点失效分析方法，该方法包括以下步骤：找到插槽中不合格的针脚；检测上述不合格的针脚是否被氧化；当不合格针脚被氧化时，检测出氧化物的成分及氧化物在不合格针脚中的具体位置；检测不合格的针脚中是否有助焊剂；当不合针脚中有助焊剂时，检测出助焊剂在针脚中的具体位置。利用本方法可以对电子元件进行验证，准确地得出失效的原因及失效点的确切位置，提高了失效验证的精确度。