一种热式微流量测量传感器流道及密封结构

    公开(公告)号:CN109579928B

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN201811409416.3

    申请日:2018-11-23

    Abstract: 本发明公开了一种热式微流量测量传感器流道及密封结构,包括底板、元件基座、连接板和检测元件;底板和连接板均为矩形板,底板上分别设有用于气体流通的凹槽和用于安装元件基座的圆孔,圆孔轴线穿过凹槽,元件基座为圆台,元件基座同轴焊接在圆孔中,元件基座上安装有用于检测气体流动状态的检测元件,连接板与底板固定连接,连接板上分别设有用于配合凹槽的凸缘和用于气体流通的通孔,通孔轴线穿过凸缘。本发明通过底板凹槽与连接板凸缘的配合,避免了气体紊流,弥补了MEMS热式流量传感器检测稳定性较差的缺陷;通过设置填充件并将底板与连接板焊接,确保了检测元件和气体流道的可靠密封,解决了MEMS热式流量传感器结构及其流道密封性较低的问题。

    一种适用于急速冷冻环境下的带辅助加热装置的雾化喷嘴

    公开(公告)号:CN111250283A

    公开(公告)日:2020-06-09

    申请号:CN202010176316.1

    申请日:2020-03-13

    Abstract: 一种适用于急速冷冻环境下的带辅助加热装置的雾化喷嘴,适用于在超低温环境下生物样品、干粉样品等超精细气溶胶颗粒的冷冻干燥制备,包括气路接头、喷嘴主体、液路接头、加热环、热控模块、保温外壳、低温罐法兰、喷头和密封圈,通过热控装置的辅助加热和温度控制使喷嘴能够顺利的实现超低温环境下的雾化,把液体生物样品雾化成细小雾滴,在液氮形成的超低温环境中把雾滴速冻形成细微的冻结冰晶,再经升华处理制备成干粉颗粒。

    一种基于压电比例阀的微流量控制系统及方法

    公开(公告)号:CN110502041A

    公开(公告)日:2019-11-26

    申请号:CN201910662407.3

    申请日:2019-07-22

    Abstract: 一种基于压电比例阀的微流量控制系统及方法,属于航天器电推进技术领域。本发明包括:控制流量输出的阀门、控制器和流量传感器;所述阀门在未加载驱动电压时,处于关闭状态,流量输出为零;接收控制器输出的驱动电压信号后,根据驱动电压信号大小,控制阀门打开程度,控制输出流量;所述输出流量按一定比例分为若干条主路流量和单个旁路流量;所述流量传感器实时检测第i个控制周期内单个旁路流量的流量大小,生成流量数字信号输入控制器;所述控制器接收第i个控制周期内的流量数字信号,得到测得的实际流量,并根据控制算法输出控制阀门开度的驱动电压信号。本发明具有性能稳定、调节灵活、精度高的优点。

    一种基于高压先导技术的微推进模块结构

    公开(公告)号:CN107514320B

    公开(公告)日:2019-05-24

    申请号:CN201710557500.9

    申请日:2017-07-10

    Abstract: 本发明公开了一种基于高压先导技术的微推进模块结构,主阀体采用阀岛结构,将连接各阀的管路功能集成至主阀体中,通过采用功能复用技术减少阀门种类,将压力安全泄压阀与温度安全泄压阀功能统一构成泄压阀,将高压电磁阀与阀岛式阀体中的空腔结合构成电子减压系统,先导主阀既可以正向往高压气容充气,构成加注阀;也可以高压电磁阀的控制下进行反向放气,构成排放阀,从而满足大流量的排出需求;此外,通过与低压传感器一起可以构成一个闭环电子压力调节机构,从而系统中不用使用减压器,减少了部组件数量,提高了系统可靠性;大大减少了系统所需空间,有效提高容积比15%‑20%,能满足有较大总冲要求的微推进系统需求。

    一种基于MEMS技术的热式流量传感器

    公开(公告)号:CN104482971B

    公开(公告)日:2019-05-24

    申请号:CN201410742115.8

    申请日:2014-12-05

    Abstract: 本发明提供了一种基于MEMS技术的热式流量传感器,其通过发热元件向被测流体散热,并通过测温元件对流体热量进行检测来测量流量。该热式流量传感器包括发热元件、位于发热元件上游侧且离发热元件不同距离的两组测温元件、对称布置在发热元件下游侧的两组测温元件、以及相应的加热控制电路和信号检测电路。本发明的热式流量传感器同时具有高灵敏度和宽量程的特点,与传统的热式流量传感器相比能实现更高的灵敏度和更宽的量程,并且利用微电子机械加工技术制作,具有压力损失小、热响应速度快、尺寸小、重量轻、可靠性高等优点。

    一种大变形比片式压电驱动器结构

    公开(公告)号:CN106357151B

    公开(公告)日:2018-07-24

    申请号:CN201610811696.5

    申请日:2016-09-08

    Abstract: 一种大变形比片式压电驱动器结构,包括内衬壁(3)、压板(4)、内压环(5)、弹簧(6)、外压环(7)、外套(8)、底座(9)以及至少一个片式压电驱动单元,所述的片式压电驱动单元又包括粘结在一起的压电陶瓷片(1)和金属片(2),片式压电驱动单元的位移输出方向为轴向。通过改变压电陶瓷片(1)的厚度、内径、外径,金属片(2)的材料、厚度、内径、外径以及片式压电驱动单元的数目就可以调节压电驱动器的输出位移。本发明采用片型压电陶瓷片结合弹性元件的方式形成基础驱动单元,并通过串联结构实现多个基础驱动单元位移的叠加,形成了大变形比、紧凑型片式压电驱动器。通过增加或减少片式压电驱动单元的数目可以调节驱动器开度的大小。

    一种基于HEMPT推力器的mN级推力连续可调电推进系统及方法

    公开(公告)号:CN106401795A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201610972893.5

    申请日:2016-10-28

    CPC classification number: F02K9/80

    Abstract: 一种基于HEMPT推力器的mN级推力连续可调电推进系统及方法,包括:HEMPT推力器、电推进控制单元、比例流量贮供单元、数字化调节电源单元;电推进控制单元在星上控制指令控制下,电推进控制单元产生两组驱动控制信号,驱动控制信号1送至比例流量贮供单元,驱动控制信号2送至数字化调节电源单元;同时,电推进控制单元采集比例流量贮供单元反馈的遥测信号1和数字化调节电源单元反馈的遥测信号2,并形成遥测包送至外部星上计算机;推力器产生mN级推力连续可调推力,本发明具有系统简单可靠、重量轻、工作电压低、推力调节范围广等优点。通过该系统的设计,可实现推力连续调节,推力调节范围达到1mN~20mN,推力分辨率优于15μN。

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