比接触电阻检测样品的制备方法及比接触电阻检测样品

    公开(公告)号:CN115979757A

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN202211734844.X

    申请日:2022-12-31

    摘要: 本发明提供一种比接触电阻检测样品的制备方法及比接触电阻检测样品,包括:在清洗后的SiC晶圆表面沉积介质膜;在所述介质膜表面旋涂光刻胶,并对所述光刻胶进行预处理,形成具有预设图案的光刻胶膜,基于所述光刻胶膜对所述介质膜进行腐蚀处理,去除光刻胶膜,形成具有预设图案的介质膜;基于所述介质膜沉积金属层,在预设温度中对金属层进行激光退火处理;通过金属腐蚀液对激光退火后的金属层进行腐蚀处理,得到比接触电阻检测样品。本发明通过在进行光刻处理后的具有预设图案的介质膜上沉积金属层,然后优化了比接触电阻检测样品的制备过程,提升比接触电阻金属区退火均匀性,从而得到较准确的欧姆接触比接触电阻,从而有效的评估激光退火欧姆接触工艺效果。

    一种交流侧可控关断的混合式换流器拓扑结构及控制方法

    公开(公告)号:CN113131763B

    公开(公告)日:2024-08-06

    申请号:CN202010027411.5

    申请日:2020-01-10

    IPC分类号: H02M7/162 H02H7/125 H02J3/36

    摘要: 本发明涉及一种交流侧可控关断的混合式换流器拓扑结构及控制方法,包括:三个并联的支路、三个双向可关断阀和换流变压器;每个支路由并联的晶闸管阀支路和辅助阀支路组成;所述晶闸管阀支路由两个串联的晶闸管阀组成,所述辅助阀支路由两个串联的具备正向电流可控关断和正反向电压阻断能力的辅助阀组成;两个串联的晶闸管阀之间的连接点与双向可关断阀的一端连接,双向可关断阀的另一端分别与两个串联的辅助阀之间的连接点以及换流变压器的输出端连接;本发明提供的混合式换流器拓扑结构,在交流侧引入双向可关断阀,保证晶闸管阀具有足够的反向恢复时间可靠关断,同时利用辅助阀辅助换相从根本上解决了直流系统换相失败的问题。

    一种检验直流断路器抵御高低频振荡干扰的装置

    公开(公告)号:CN112067986B

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202010962883.X

    申请日:2020-09-14

    IPC分类号: G01R31/327

    摘要: 本发明公开了一种检验直流断路器抵御高低频振荡干扰的装置,通过充电模块在闭合隔离开关K1后,对低频振荡模块进行充电,当检测低频振荡模块的电压满足预设数值时导通晶闸管T,在晶闸管T导通后,低频振荡模块对高频振荡模块充电,当高频振荡模块和低频振荡模块的电压相等时,导通隔离开关K2,将高频振荡模块和低频振荡模块的电流导入直流断路器。本发明提供的检验直流断路器抵御高低频振荡干扰的装置,在开通状态下对高低频振荡模块带来的干扰,设备简单易行、操作方便,满足直流断路器工程化研发及工程应用过程中的试验要求。