液晶显示装置和液晶显示装置的制造方法

    公开(公告)号:CN101529318A

    公开(公告)日:2009-09-09

    申请号:CN200780038900.3

    申请日:2007-09-07

    CPC classification number: G02F1/133553

    Abstract: 本发明提供反射效率高的高画质的半透过型和反射型的液晶显示装置和液晶显示装置的制造方法。本发明的液晶显示装置包括使入射光向显示面反射的反射区域,上述反射区域包括金属层、在上述金属层上形成的绝缘层、在上述绝缘层上形成的半导体层、和在上述半导体层上形成的反射层,在上述金属层、上述绝缘层和上述半导体层中至少1个中形成有多个凹部,在上述反射区域的上述反射层中形成有与上述多个凹部相应的多个凹陷,上述多个凹部中的至少2个凹部的端部间的最短距离(a)为4μm以下。

    薄膜晶体管基板的制造方法和薄膜晶体管基板

    公开(公告)号:CN109599362B

    公开(公告)日:2023-04-21

    申请号:CN201811125993.X

    申请日:2018-09-26

    Abstract: 一种薄膜晶体管基板的制造方法和薄膜晶体管基板,提高开口率并且缓和台阶。阵列基板的制造方法具备:第1金属膜形成工序;栅极绝缘膜形成工序;半导体膜形成工序;第2金属膜形成工序;光致抗蚀剂膜形成工序,使用半色调掩模将形成在第2金属膜的上层侧的光致抗蚀剂膜图案化;第1蚀刻工序,将第2金属膜中的与光致抗蚀剂膜不重叠的部分选择性地除去;低电阻化工序,将半导体膜中的与光致抗蚀剂膜不重叠的像素电极构成部选择性地进行低电阻化处理而形成像素电极;第2膜厚部除去工序,将光致抗蚀剂膜的第2膜厚部选择性地除去;以及第2蚀刻工序,将与光致抗蚀剂膜的第1膜厚部不重叠的第2金属膜的电极间部选择性地除去。

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