公开(公告)号：CN207531152U

公开(公告)日：2018-06-22

申请号：CN201721581779.6

申请日：2017-11-23

Applicant: 核工业西南物理研究院 ,  成都理工大学工程技术学院

Inventor： 李建 ,  童洪辉 ,  王坤 ,  但敏 ,  金凡亚

IPC: H05H1/24

Abstract: 本实用新型属于低温等离子体技术领域，具体涉及一种双环电极共面放电等离子体发生装置。本装置由电源和埋藏在介质层内的双环形电极单元紧密排列而成；所述双环形电极单元包括内环电极和外环电极，内环电极和外环电极均埋藏在介质层内一定深度，内环电极接地，外环电极连接高压电源的高频、高电压电极，多个双环形电极单元组合后可以产生大面积均匀等离子体，在所述的内环电极和外环电极之间的介质层表面，在高电压作用下产生共面放电等离子体，等离子体分布均匀。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN221827827U

公开(公告)日：2024-10-11

申请号：CN202323402058.2

申请日：2023-12-13

Applicant: 核工业西南物理研究院

Inventor： 聂军伟 ,  陈庆川 ,  王珂 ,  但敏 ,  金凡亚 ,  陈伦江 ,  祝土富

IPC: H01J37/08 ,  C23C14/34 ,  H01J37/32

Abstract: 本实用新型公开了一种制备大面积镓离子源的装置，涉及离子源技术领域。该装置包括外壳，外壳的侧壁上具有多个气孔；冷却底座，安装在外壳内，冷却底座的顶端开设有放置槽；安装壳，安装在放置槽的槽底；内磁钢，放置在安装壳内；外磁钢，数量为两个，两个外磁钢分别安装在冷却底座相对的两侧壁上；电源，与冷却底座、内磁钢以及两个外磁钢电连接。通过内磁钢与外磁钢的配合，产生平行于架金属块表面的磁场，然后通电加速电子，在通过气孔输入工作气体，产生等离子体，等离子体中离子和电子进一步溅射电离镓金属块产生纳米级镓金属离子，因此产生电等离子体速度非常快，使得本实用新型提供的制备大面积镓离子源的装置更便于制备大面积氮化镓薄膜。

公开(公告)号：CN208258158U

公开(公告)日：2018-12-18

申请号：CN201721539369.5

申请日：2017-11-17

Applicant: 核工业西南物理研究院 ,  成都理工大学工程技术学院

Inventor： 李建 ,  童洪辉 ,  王坤 ,  但敏 ,  金凡亚 ,  常兰

IPC: H05H1/24

Abstract: 本实用新型属于等离子体产生和低温等离子体技术领域，具体涉及一种体放电等离子体发生装置。本装置包括电源、上格栅电极组和下栅格电极组，所述格栅式电极组由多个平行、共面排布的单个格栅电极构成，上格栅电极组和下格栅电极组分别接入电源的两个极，两个格栅式电极可裸露相对，或其中一个埋藏在介质层下一定深度，或者两者都埋藏在介质层下一定深度。本装置降低放电电压；低电场处更有助于气体放电维持和降低无效功率；改变电极结构的电容量，更有利于电路的电容匹配。相比于普通电极结构，本实用新型放电电压低、放电效率高、电容可调节有利于电路匹配和等离子体分布均匀。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN207611742U

公开(公告)日：2018-07-13

申请号：CN201721831193.0

申请日：2017-12-25

Applicant: 核工业西南物理研究院 ,  成都理工大学工程技术学院

Inventor： 李建 ,  童洪辉 ,  王坤 ,  但敏 ,  金凡亚

IPC: H01J43/10

Abstract: 本新型属于增强装置，具体涉及一种阴极电子增强装置。一种阴极电子增强装置，由电源、阴极电子发射源和金属薄板组组成，其中金属薄板组设置在阴极电子发射源的电子发射端，金属薄板组由若干长条形金属薄板组成，金属薄板组的截面呈锯齿状。本新型的效果是：本申请所述的一种阴极电子增强装置通过注入有铯、镁等金属的金属薄板组在一定电压作用下，将阴极出射的电子获得加速，撞击金属薄板组表面而产生二次电子发射，实现电子倍增，从而实现阴极电子发射电流的提高。同时金属薄板组的形状可以调节，可以对阴极电子发射源的出射电子产生规范作用，实现聚焦等电子光学作用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利