一种热等离子体还原氟化物的装置及方法

    公开(公告)号:CN114288961A

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202111489705.0

    申请日:2021-12-08

    IPC分类号: B01J19/08 B01J19/14

    摘要: 本发明属于热等离子体应用技术领域,具体公开了一种热等离子还原氟化物的装置及方法,该装置包括:直流等离子体炬、还原反应室、反应腔室、反应室支架和收集罐,反应腔室的下部固定在反应室支架上,反应腔室的底部密封连接有收集罐,还原反应室位于反应腔室的内部,还原反应室与反应腔室密封连接,还原反应室顶部固定连接直流电弧等离子体炬。本发明具有生产效率高、工业流程短等特点,属于一步快速还原法,可解决现有氟化物处理方式的中间产物对环境进行二次污染等问题,降低了处理成本,具备工业化应用的潜力。

    一种提升树脂基复合材料成型构件气密性的方法

    公开(公告)号:CN114075657A

    公开(公告)日:2022-02-22

    申请号:CN202111300027.9

    申请日:2021-11-04

    摘要: 本发明属于复合材料制备领域,具体为一种提升树脂基复合材料成型构件气密性的方法,包括成型构件预处理、成型构件在真空室内挂装、真空室抽真空、等离子体活化、沉积金属涂层、成型构件取出;通过此种工艺提升气密性,金属选取Al、Ti、Cr、Ni的任意一种,显著降低树脂基复合材料的放气及极大提升树脂基复合材料抗卤素介质的腐蚀。通过树脂基复合材料表面等离子体活化及金属涂层物理气相沉积技术低温沉积实现了大厚度金属涂层与复合材料构件基体层的结合强度大于1MPa,从而能够提升树脂基复合材料特殊工况下使用的可靠形。

    一种用于粉末球化处理或精细涂覆的等离子体发生器

    公开(公告)号:CN112911778B

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN201911137347.X

    申请日:2019-11-19

    IPC分类号: H05H1/34

    摘要: 本发明于热等离子体技术,具体为一种用于粉末球化处理或精细涂覆的等离子体发生器,包括阴极组件、绝缘套筒、阳极组件,阴极组件包括紫铜座、阴极头和阴极冷却套,阳极组件包括同轴安装的阳极和阳极冷却套,采用球形状钨棒作为阴极头并镶嵌在紫铜座内,有助于缓解电极烧蚀,延长电极使用寿命,阳极采用2~5mm的中空紫铜结构,工作气在阴极头与阳极之间的通道内汇聚后形成较大气压后再经过阳极通道而形成高速等离子体射流。本装置产生的等离子体射流束流直径在2~5mm之间,能量更为集中,射流的速度更快,有助于粉末能更好的吸热而融化,提高了球形粉制备或涂覆的效率。

    一种用于等离子刻蚀的中性粒子束产生装置

    公开(公告)号:CN117542718A

    公开(公告)日:2024-02-09

    申请号:CN202311487217.5

    申请日:2023-11-09

    IPC分类号: H01J37/32 H01J37/08

    摘要: 本发明公开了一种用于等离子刻蚀的中性粒子束产生装置,包括放电仓和中性粒子束产生机构,放电仓外设有射频天线,射频天线连有脉冲射频电源,以使放电仓内形成等离子体;中性粒子束产生机构包括气路电极、引出产生栅极及偏压电源组,气路电极和引出产生栅极通过偏压电源组连接,并分别设于放电仓相对的两侧,以对等离子体中的负离子加速,使负离子通过引出产生栅极射出形成中性粒子束;引出产生栅极能够对负离子进行减速及中性化处理。其能够解决等离子刻蚀时会使基片表面产生损伤或缺陷的问题。

    一种介质阻挡放电无间隙一体化电极的制备方法

    公开(公告)号:CN115696711A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202211483600.9

    申请日:2022-11-24

    IPC分类号: H05H1/24 C25D11/04

    摘要: 本发明属于等离子体发生器技术领域,具体公开了一种介质阻挡放电无间隙一体化电极的制备方法,该方法包括:步骤(1):加工并清洗金属电极;步骤(2):配制等离子体电化学氧化电解液;步骤(3):对清洗好的金属电极,进行等离子体电化学氧化处理,金属电极表面原位生长陶瓷介质涂层;步骤(4):对等离子体电化学氧化处理后的金属电极进行机械加工,形成无间隙一体化电极;步骤(5):采用两块无间隙一体化电极,介质层相对并接上电源,形成介质阻挡放电无间隙一体化电极。本发明能够有效解决现有技术中金属电极与电介质层覆盖或嵌套不紧密,导致介质阻挡放电介质间的等离子体放电减弱、能量利用效率降低等问题。

    一种热等离子体合成纳米氮化物粉体的装置及方法

    公开(公告)号:CN114288962A

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202111496907.8

    申请日:2021-12-09

    IPC分类号: B01J19/08

    摘要: 本发明属于热等离子体应用技术领域,具体涉及一种热等离子体合成纳米氮化物粉体的装置及方法,该装置包括氮化物坩埚、金属物料投入口、氮化物蒸汽出口和直流电弧热等离子体炬,氮化物坩埚顶部设有金属物料投入口和氮化物蒸汽出口,氮化物坩埚的内腔与金属物料投入口和氮化物蒸汽出口连通,除金属物料投入口和氮化物蒸汽出口,氮化物坩埚的顶部为封闭式;氮化物坩埚的外周均匀设置有若干个直流电弧等离子体炬。本发明有效克服了现有氮化物粉体材料制备工艺的技术瓶颈,通过本发明方法合成的纳米氮化物粉体的平均粒度在200nm以下,形貌为球形或线形,具有合成效率高及生产成本低等特点。

    一种级联式等离子体发生器

    公开(公告)号:CN112911780B

    公开(公告)日:2024-07-16

    申请号:CN201911136199.X

    申请日:2019-11-19

    IPC分类号: H05H1/46

    摘要: 本发明属于等离子体技术,具体为一种级联式等离子体发生器,包括阴极组件、阴极座,以及阳极,阴极座和阳极级联板;阴极座和级联板同轴安装,螺杆将阴极座和下方的若干级联板固定连接,绝缘套管包裹在连接螺杆外部。级联式等离子体发生器的各个零件分别设置冷却通道,部件之间单独水冷,互不干扰,方便单独拆装与维护;阴阳极之间采用级联板进行过渡,设备工作时,工作气体在阴极与阳极之间电离而形成等离子体,电子从阴极头23发射出来经电场加速后落在级联板上,采用级联板进行过渡,可解决因电子的轰击而导致电极材料损失,有效缓解电极烧蚀,提高其使用寿命。

    一种等离子体射流触发脉冲阴极弧源

    公开(公告)号:CN118241169A

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202211667228.7

    申请日:2022-12-23

    IPC分类号: C23C14/32 C23C14/54

    摘要: 本发明涉及低温等离子体技术和薄膜材料制备技术领域,具体涉及一种等离子体射流触发脉冲阴极弧源,包括:水冷阴极靶、磁流体、齿轮减速器、冷却水进出嘴、阴极靶电机、运动模组电机、磁场线圈、屏蔽壳、运动机械模组和等离子体电弧射流炬;本发明可以在高沉积速率条件下制备大面积高致密涂层,本发明装置利用脉冲等离子体产生炬产生的脉冲射流为阴极电弧靶点火,并结合阴极弧靶上脉冲电压和功率调节,控制阴极弧能量,来抑制电弧等离子体中含有的大颗粒缺陷,同时利用阴极弧靶和脉冲等离子体炬移动或转动,来实现阴极靶的均匀烧蚀和高均匀性膜层镀制。