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公开(公告)号：CN110177757B
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN201780083649.6
申请日：2017-12-15
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/00
Abstract: 本发明公开了一种用于制造具有与载体机械脱耦的区域的衬底的方法，所述区域具有掷筛一个在其上布置的构件，其中，至少一个凹槽在衬底的正面被引入，蚀刻图案在衬底的背面被准备并且被这样各向异性的蚀刻，使得在衬底的背面上产生垂直通道并且随后在衬底的背面上引入空腔，其中，衬底正面上的至少一个凹槽与衬底背面上的空腔连接并且至少两个凹槽或凹槽的至少两个区段在衬底正面与空腔之间的至少一个区域中通过至少一个蚀空部相互连接。
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公开(公告)号：CN115335318A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202180024557.7
申请日：2021-03-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： T·弗里德里希 , C·赫尔梅斯 , P·施莫尔林格鲁贝尔 , H·韦伯 , A·朔伊尔勒
Abstract: 一种用于制造微机械传感器(100)的方法，其具有以下步骤：将第一氧化物牺牲层(2)施加到衬底(1)上；通过在所述第一氧化物牺牲层(2)中的开口(x3)去除所述衬底(1)的材料；通过施加第二氧化物牺牲层(6)封闭在所述第一氧化物牺牲层(2)中的所述开口(x3)；在载体结构(3a，3b)上构造感测区域(20)，其中，所述感测区域(20)和所述载体结构(3a，3b)构造在所述氧化物牺牲层(2，6)上，并且所述感测区域(20)和/或所述载体结构(3a，3b)通过至少一个形成柔性结构(15)的附接区域(30)与所述衬底(1)连接；以及借助蚀刻工艺至少部分地去除在所述载体结构(3a，3b)和所述衬底(1)之间的氧化物牺牲层(2，6)。
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公开(公告)号：CN111741880B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN201980015099.3
申请日：2019-01-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种尤其是用于高度自动化的或者自主的车辆的多回路的液压打开的制动系统(1)以及一种相应的用于这种制动系统(1)的运行方法，所述制动系统(1)包括：至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)，所述车轮制动器分别配属于具有泄压路径(9.1、9.2)的制动回路(BK1、BK2)；两个多回路的增压器(12、12)，所述增压器在液压方面被串联在流体容器(7)与所述至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)之间；以及液压单元(16)，该液压单元用于将所述增压器(12、22)与所述至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)液压地连接并且用于在所述至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)中进行个性化的制动压力调制，其中第一增压器(12)是柱塞系统并且配属于主系统(10)，所述主系统包括第一能量供给器(EV1)和第一评估及控制单元(14)，其中第二增压器(22)是第二柱塞系统或者泵系统并且配属于次级系统(20)，所述次级系统包括独立于所述第一能量供给器(EV1)的第二能量供给器(EV2)以及对所述第二增压器(22)进行操控的第二评估及控制单元(24)，其中所述用于进行个性化的制动压力调制的液压单元(16)的组件配属于所述主系统(10)，从而所述液压单元(16)的这些组件和所述第一增压器(12)由所述第一评估及控制单元(14)操控并且由所述第一能量供给器(EV1)供给能量。
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公开(公告)号：CN113548637A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110441526.3
申请日：2021-04-23
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明提出一种用于制造微机械结构的方法和一种微机械结构。所述方法包括以下步骤：形成第一微机械功能层(5)；在所述第一微机械功能层(5)中形成多个沟槽(7)，所述沟槽具有所述第一微机械功能层(5)的上侧(O)处的扩宽的上部区域(7a)和带有基本上恒定的宽度的下部区域(7b)；在所述第一微机械功能层(5)的上侧(O)上沉积密封层(8)，以用于密封所述多个沟槽(7)，其中，在所述第一微机械功能层(5)的上侧(O)下方形成所述多个沟槽(7)的密封点(P)，并且至少部分地填充第一沟槽(7)；将所述密封层(8)减薄预给定的厚度(d)；在减薄的密封层(8‘)上方形成第二微机械功能层(13)。
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公开(公告)号：CN113226976A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980085003.0
申请日：2019-12-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械构件，其膜片(12)保持与腔的底侧间隔开并且在其膜片内侧(12a)处具有支撑结构(20a)，其中，所述支撑结构(20a)中的每个都具有各自的第一边缘元件结构(32)、各自的第二边缘元件结构(34)和各自的布置在所分配的第一边缘元件结构(32)与所分配的第二边缘元件结构(34)之间的至少一个中间元件结构(36)，其中，针对所述支撑结构(20a)中的每个都能够分别限定对称平面(38)，关于所述对称平面，至少相应的支撑结构(20a)的所述第一边缘元件结构(32)和所述相应的支撑结构(20a)的第二边缘元件结构(34)是镜像对称的，其中，在所述支撑结构(20a)中的每个中，其第一边缘元件结构(32)的垂直于其对称平面(38)的第一最大延展(a1)及其第二边缘元件结构(34)的垂直于其对称平面(38)的第二最大延展(a2)大于其至少一个中间元件结构(36)的垂直于其对称平面(38)的至少一个最大延展(a3)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112520687A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202010984667.5
申请日：2020-09-18
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明提出一种用于微机械系统的制造方法和微机械系统。包括以下步骤：将第一微机械功能层施加在衬底上；在第一各向异性的蚀刻步骤中在第一微机械功能层的第一区域中构造多个二维布置的、彼此间隔开的、长形的蚀刻沟，其中，蚀刻沟在一个或两个纵向端部处通过中断区域与相邻的蚀刻沟间隔开，直至小于第一微机械功能层的厚度的第一蚀刻深度；并且在随后的各向同性的蚀刻步骤中将蚀刻沟扩展直至大于第一蚀刻深度并且小于第一微机械功能层的厚度的第二蚀刻深度，其中，蚀刻沟在第一微机械功能层的内部扩开并且下部蚀刻出中断区域，使得相邻的蚀刻沟在第一微机械功能层的内部在中断区域下方相互连接，其中，中断区域保持在第一微机械功能层的上侧上。
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公开(公告)号：CN112313122A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201980042371.7
申请日：2019-05-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B60T7/12
Abstract: 本发明涉及一种用于具有至少两根车轴(VA、HA)的车辆、尤其是用于高度自动化的或者自动驾驶的车辆的液压的制动系统(1)，该液压的制动系统具有至少两个彼此液压分开的子制动系统(SubV、SubH)，其中第一子制动系统(SubV)配属于具有至少两个车轮制动器(RB1、RB2)的第一车轴(VA)并且包括第一制动回路(BKV)、具有第一能量供给装置和第一分析及控制单元的主系统(10)以及具有独立于所述第一能量供给装置的第二能量供给装置和第二分析及控制单元的、用于在所述第一制动回路(BKV)中产生冗余的压力的次级系统(20)，其中所述第一制动回路(BVK)包括配属于所述主系统(10)的第一压力发生器、配属于所述次级系统(20)的第二压力发生器以及第一调制单元，所述第一压力发生器和所述第二压力发生器液压串联连接在第一流体容器与所述第一车轴(VA)的至少两个车轮制动器(RB1、RB2)之间，所述第一调制单元用于将所述压力发生器与所述至少两个车轮制动器(RB1、RB2)液压地连接并且用于在所述至少两个车轮制动器(RB1、RB2)中进行个性化的制动压力调制；其中第二子制动系统(SubH)配属于具有至少两个车轮制动器(RB3、RB4)的第二车轴(HA)并且包括第二制动回路(BKH)和具有第三能量供给装置以及第三分析及控制单元的、用于在所述第二制动回路(BKH)中产生压力的辅助系统(30)，其中所述第二制动回路(BKH)包括配属于所述辅助系统(30)的、布置在第二流体容器与第二车轴(HA)的至少两个车轮制动器(RB3、RB4)之间的第三压力发生器以及第二调制单元，所述第二调制单元用于将所述压力发生器与所述至少两个车轮制动器(RB3、RB4)液压地连接并且用于在所述至少两个车轮制动器(RB3、RB4)中进行个性化的制动压力调制。
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公开(公告)号：CN112055673A
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201980026588.9
申请日：2019-04-05
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B60T8/32
Abstract: 本发明涉及一种尤其用于高度自动化车辆或者自动驾驶车辆的、多回路的液压开启的制动系统(1)，其具有：至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)，其分别配属于带有减压路径(9.1、9.2)的制动回路(BK1、BK2)；两个压力发生器(12、22)，其液压并联连接在至少一个流体容器(17、27)与至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)之间；以及调制单元(16)，其用于将压力发生器(12、22)与至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)液压连接并且用于在至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)中进行个性化的制动压力调制，并且本发明涉及一种相应的用于多回路的液压开启的制动系统(1)的运行方法，其中第一压力发生器(12)配属于主系统(10)，其包括第一能量供给单元(EV1)和第一计算及控制单元(14)并且能够通过第一截止阀(V1)与第一制动回路(BK1)的至少一个车轮制动器(RB1、RB2)相连接并且能够通过第二截止阀(V2)与第二制动回路(BK2)的至少一个车轮制动器(RB3、RB4)相连接；其中第二压力发生器(22)配属于次级系统(20)，其包括独立于所述第一能量供给单元(EV1)的第二能量供给单元(EV2)以及第二计算及控制单元(24)并且能够通过第三截止阀(V3)与所述第一制动回路(BK1)的至少一个车轮制动器(RB1、RB2)相连接并且能够通过第四截止阀(V4)与所述第二制动回路(BK2)的至少一个车轮制动器(RB3、RB4)相连接；其中所述第二计算及控制单元(24)操控所述第二压力发生器(22)，并且其中用于进行个性化的制动压力调制的调制单元(16)的组件配属于主系统(10)，从而使得调制单元(16)的这些组件以及所述第一压力发生器(12)由所述第一计算及控制单元(14)操控并且由所述第一能量供给单元(EV1)供给能量。
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公开(公告)号：CN111741880A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201980015099.3
申请日：2019-01-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种尤其是用于高度自动化的或者自主的车辆的多回路的液压打开的制动系统(1)以及一种相应的用于这种制动系统(1)的运行方法，所述制动系统(1)包括：至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)，所述车轮制动器分别配属于具有泄压路径(9.1、9.2)的制动回路(BK1、BK2)；两个多回路的增压器(12、12)，所述增压器在液压方面被串联在流体容器(7)与所述至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)之间；以及液压单元(16)，该液压单元用于将所述增压器(12、22)与所述至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)液压地连接并且用于在所述至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)中进行个性化的制动压力调制，其中第一增压器(12)是柱塞系统并且配属于主系统(10)，所述主系统包括第一能量供给器(EV1)和第一评估及控制单元(14)，其中第二增压器(22)是第二柱塞系统或者泵系统并且配属于次级系统(20)，所述次级系统包括独立于所述第一能量供给器(EV1)的第二能量供给器(EV2)以及对所述第二增压器(22)进行操控的第二评估及控制单元(24)，其中所述用于进行个性化的制动压力调制的液压单元(16)的组件配属于所述主系统(10)，从而所述液压单元(16)的这些组件和所述第一增压器(12)由所述第一评估及控制单元(14)操控并且由所述第一能量供给器(EV1)供给能量。
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公开(公告)号：CN111351608A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201911323229.8
申请日：2019-12-20
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于电容式压力传感器设备的微机械构件，具有：衬底(10)；框围部分表面(16)的框架结构(12)；膜片(18)，其借助框架结构(12)如此展开，使得膜片(18)的无支承的区域(20)跨越所框围的部分表面(16)，其中存在参考压力(p0)的内部容积(22)气密密封，通过在无支承的区域(20)的外侧(20a)上的物理压力(p)不等于参考压力(p0)，膜片(18)的无支承的区域(20)可变形；测量电极(24)，其布置在所框围的部分表面(16)上，除所述测量电极(24)外参考测量电极(26)布置在所框围的部分表面(16)上，参考测量电极与测量电极(24)电隔离。本发明还涉及一种用于制造电容式压力传感器设备的微机械构件的制造方法。
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