压电振动片及其制造方法、晶圆、包括压电振动片的装置

    公开(公告)号:CN101510765A

    公开(公告)日:2009-08-19

    申请号:CN200910008254.7

    申请日:2009-02-16

    发明人: 小林高志

    IPC分类号: H03H3/02 H03H9/13

    摘要: 本发明涉及压电振动片及其制造方法、晶圆、包括压电振动片的装置。为了容易、精确和高效地执行频率调节且在不受压电振动片尺寸影响的情况下实现低成本构型及维护性能的提升,提供了一种制造压电振动片的方法,其是一种通过利用晶圆来制造具有压电板、一对激励电极及一对安装电极的方法,该方法包括:外形形成步骤,其在晶圆上形成构架部并形成经由连接部而连接到构架部的多个压电板;电极形成步骤,其将成对的激励电极和成对的安装电极形成至多个压电板上,以及形成经由连接部而分别电连接到成对的安装电极上的多对延伸电极;频率调节步骤,其在成对延伸电极之间施加驱动电压的同时调节压电板频率;以及切割步骤,其使多个压电板分成片段。