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公开(公告)号：CN103401526B
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201310337047.2
申请日：2011-02-24
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： H01L41/02 , A63F13/08 , A63F2300/204 , G04F5/06 , G06F1/1616 , H03B28/00 , H03H3/02 , H03H9/19 , H03H9/215 , H03H2003/026 , H03H2003/0492
摘要： 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，本发明的振动片是通过蚀刻加工而得到的振动片，其特征在于，该振动片具有：基部，其具有沿着第1方向延伸的缺口；以及振动臂，其沿着与上述第1方向交叉的第2方向从上述基部突出，在平面视中，上述缺口与通过上述振动臂的与上述第2方向正交的方向上的宽度的中心并且沿着上述第2方向的假想直线交叉，且具有多个被上述基部的主面的外缘夹着划定的上述第2方向上的宽度。
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公开(公告)号：CN105684309A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201480058543.7
申请日：2014-09-17
申请人： 株式会社大真空
CPC分类号： H03H9/0595 , H01L41/0475 , H01L41/053 , H01L41/33 , H03H3/02 , H03H9/02393 , H03H9/10 , H03H9/21 , H03H9/215 , H03H2003/026 , H03H2003/0428
摘要： 压电晶片具有压电振动片、支撑压电振动片的框部和将压电振动片连结到框部的连结部。在压电晶片上并排设置有一对第一金属凸起和第二金属凸起。在连结部上，除作为连结部的宽度方向的一部分的桥之外，形成有沿连结部的宽度方向延伸的狭缝。桥的宽度方向端在与连结部的宽度方向垂直的方向上，从两金属凸起分离，并且与两金属凸起不重叠。
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公开(公告)号：CN101986561B
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201010246517.0
申请日：2010-07-28
申请人： 精工电子水晶科技股份有限公司
发明人： 荒武洁
CPC分类号： H03H9/21 , H03H3/04 , H03H9/02149 , H03H9/1021 , H03H2003/026 , H03H2003/0478 , H03H2003/0492 , H03H2009/02165 , Y10T29/42
摘要： 本发明涉及压电振动器、压电振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟。提供一种压电振动器，其中包括：音叉型的压电振动片(4)，其具有一对振动腕部(10)、形成在振动腕部(10)的基端部的激振电极(15)、及形成在振动腕部(10)的前端部的重锤金属膜(21)；以及组装件，该组装件在内部收容压电振动片(4)，在振动腕部(10)的基端部和前端部之间的中间部，形成有吸气膜(74)，该吸气膜(74)形成有激光照射疵痕，激振电极(15)所包含的第一金属膜(71)、重锤金属膜(21)所包含的第二金属膜(73a)、和吸气膜(74)用相同的材料形成。从而，本发明提供能够有效率地制造的压电振动器及其制造方法。
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公开(公告)号：CN104754876A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201410817751.2
申请日：2014-12-24
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： H01L41/0475 , B22F1/02 , B22F3/02 , B22F3/1055 , B22F5/12 , B22F2009/0828 , B22F2009/0884 , H01L41/0533 , H01L41/29 , H01L41/333 , H03H9/1021 , H03H9/13 , H03H2003/026 , H05K1/0306 , H05K3/105 , H05K3/1225 , H05K3/321 , H05K2201/0215 , H05K2201/0224 , H05K2201/10068 , H05K2203/107 , H05K2203/1126 , H05K2203/1136 , Y10T428/252
摘要： 本发明提供电气配线层、电气配线基板、它们的制造方法和形成用部件、振动器、电子设备及移动体。电气配线层的制造方法的特征在于，是一种制造包括电气配线的电气配线层的方法，包括：对包含带绝缘层的金属粒子的粉体进行加压从而形成压粉成形层的工序，其中，带绝缘层的金属粒子由具有导电性的金属粒子和位于上述金属粒子表面、以玻璃材料为主材料的表面绝缘层构成；以及对上述压粉成形层照射能量线，从而在照射区域形成上述电气配线的工序。
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公开(公告)号：CN102197587B
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN200880131835.3
申请日：2008-08-27
申请人： 精工电子水晶科技股份有限公司
CPC分类号： H03H9/1021 , H01L2224/16225 , H01L2924/16152 , H03H3/04 , H03H9/21 , H03H2003/026 , H03H2003/0442 , Y10T29/42
摘要： 本发明的压电振动器的制造方法，制造这样的压电振动器，其包括：具备一对振动腕部的音叉型压电振动片、收容所述压电振动片的封装件、和对应于所述振动腕部并沿着所述振动腕部的长度方向形成的调整膜，通过对所述调整膜照射激光而使所述调整膜的一部分蒸发，从而能够提高所述封装件内的真空度，该制造方法包括：频率测量工序，测量所述压电振动片的频率；以及吸气工序，在所测量的所述频率高于容许范围时使对应于所述振动腕部的前端侧的位置的调整膜的一部分蒸发，在所测量的所述频率低于所述容许范围时使对应于所述振动腕部的基部侧的位置的调整膜的一部分蒸发。
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公开(公告)号：CN101803188B
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN200880106799.5
申请日：2008-09-12
申请人： 西铁城控股株式会社
发明人： 加藤晶子
CPC分类号： H03H9/21 , H03H3/02 , H03H9/02086 , H03H2003/026 , Y10T29/42
摘要： 本发明的水晶振子片及其制造方法，提供一种即使振动腿的截面形状不是对称式的，也具有与X轴平行的主轴，并抑制了漏振发生的水晶振子片及这样的水晶振子片的制造方法。水晶振子片及其制造方法为，水晶振子片具有振动腿和形成在所述振动腿上的平衡调整槽，所述振动腿设有表面、比所述表面宽的背面、第一侧面、和第二侧面，以使所述振动腿的宽度随着从所述表面朝向所述背面而变大的方式形成所述第一侧面和所述第二侧面，所述平衡调整槽，以使在与所述振动腿的纵向正交的截面上力学地正交并穿过图心的两个主轴中的至少一方与所述表面或所述背面大致平行的方式，与所述第一侧面和所述第二侧面的倾斜相对应地形成。
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公开(公告)号：CN102197586B
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN200880131834.9
申请日：2008-08-27
申请人： 精工电子水晶科技股份有限公司
发明人： 福田纯也
CPC分类号： H03H9/21 , H03H3/02 , H03H9/1014 , H03H2003/026 , Y10T29/42
摘要： 本发明的压电振动器，其中包括：基底基板及盖基板，它们互相接合并且在它们之间形成有空腔；压电振动片，其具有平行延伸的一对振动腕部、使该一对振动腕部振动的一对激振电极、和与该一对激振电极电连接的装配电极，通过该装配电极在空腔内装配在基底基板上；绝缘膜，以覆盖激振电极的方式成膜在压电振动片上；以及吸气材料，以配置在空腔内的方式形成在基底基板或盖基板的任一个基板，该吸气材料由通过加热提高空腔内的真空度的金属材料构成。
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公开(公告)号：CN103250349A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201280004036.6
申请日：2012-02-02
申请人： 株式会社大真空
发明人： 阪本和靖
CPC分类号： H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/02149 , H03H9/0519 , H03H9/1021 , H03H9/21 , H03H2003/026
摘要： 音叉型压电振动片为，压电振动板原板由作为振动部的一对脚部、和设置有延伸出的所述脚部的基础部构成。所述一对脚部并排设置且从所述基础部的一端面延伸出，在所述一对脚部之间的、所述基础部的一端面的宽度方向的中间位置上形成有叉部。在所述基础部上，沿所述基础部的一端面形成有一对通孔，在与所述基础部的一端面相对的另一端面侧有与外部接合的接合区域。所述一对通孔以两通孔互不相接的状态被形成在比所述一对脚部的基座部更接近基础部的宽度方向的中线的位置上。所述通孔为，从所述压电振动板原板的正反两主面上的所述通孔的两端部朝着所述压电振动板原板的内部，所述通孔的俯视面积逐渐变小，且所述通孔的壁面被形成为螺旋状。
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公开(公告)号：CN102857190A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201210215200.X
申请日：2012-06-26
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： H03H3/02 , H03H9/21 , H03H2003/026 , Y10T29/42
摘要： 本发明提供一种弯曲振动片、及其制造方法以及电子设备，所述弯曲振动片即使小型化也能够有效地去除由振动臂的面外振动而产生的振动泄漏。具备基部(2)、一对驱动用振动臂(3a、3b)、一对检测用振动臂(4a、4b)、驱动电极及检测电极的双侧音叉型弯曲振动片(1)具有，被形成在振动臂与基部之间的结合区域上的金属材料等的调节膜(6a、6b)。调节膜被形成为，包括：被形成在驱动用振动臂与基部之间的结合部上的锥形部(5a、5b)的区域(S1)；靠近锥形部的、基部的区域(S2)以及驱动用振动臂的区域(S3)。在对当在驱动模式下激励了驱动用振动臂时由检测电极输出的检测电流进行监控的同时，所述调节膜通过激光照射等而被部分削除，从使该检测电流成为零。
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公开(公告)号：CN102684630A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210071684.5
申请日：2012-03-07
申请人： 精工电子有限公司
发明人： 川田保雄
CPC分类号： H03H9/1021 , H01L2224/16225 , H03H3/04 , H03H9/0519 , H03H9/21 , H03H2003/026 , H03H2003/0478 , H03H2003/0492
摘要： 本发明的特征在于：在盖基板用圆片(50)，沿着通过该盖基板用圆片(50)的径向中心(50a)并在径向延伸的多个假想直线(V1、V2)上分别形成槽部(22)，将这些槽部(22)在径向分开构成，各槽部(22)以互相不接触的方式配置。从而提供能够容易地将圆片接合时在圆片之间产生的除气放出至外部并能够良好地切出接合的圆片而提高成品率的圆片及使用该圆片的封装件制品的制造方法。
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