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公开(公告)号：CN101668950A
公开(公告)日：2010-03-10
申请号：CN200880013523.2
申请日：2008-04-16
申请人： 爱德华兹有限公司
CPC分类号： F04C18/123 , F04C18/084 , F04C18/126 , F04C25/02 , F04C2220/10 , F04C2280/02 , Y10S417/01
摘要： 一对用于真空泵的诺斯转子，每一个转子包括：两个相对的基本平行的端面和位于所述相对的端面之间的外周表面。为了减轻由于泵送包含固体或液体颗粒的气流所造成的损伤，多条沟槽被设置在所述外周表面上面用于容纳所述颗粒。
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公开(公告)号：CN101610831A
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200780051385.2
申请日：2007-11-28
申请人： 爱德华兹有限公司
CPC分类号： B01D53/68 , B01D61/48 , B01D2257/20 , B01D2258/0216 , C01B7/0706 , C01B7/195 , Y02C20/30
摘要： 在处理气体物流的方法中，含水洗涤液体通过包括用于降低所述液体的酸性的电化学单元(48)的基本上闭合环路(20)循环。一部分的循环液体被转移离开闭合环路(20)到气体洗涤单元(10)。气体物流进入洗涤单元(10)，其中在气体物流中的酸例如HF和固体颗粒物例如SiO2颗粒物溶于转移液体中。转移液体随后返回到闭合环路(20)，并且在洗涤单元(10)中由从闭合环路(20)转移的新鲜液体补充。提供了一种设备(46)来监控在闭合环路(20)中某一位置处的液体的酸性。控制通过电化学电池(48)的液体的酸性的降低，这取决于所监控的浓度。通过控制液体的酸性，在被转移部分的液体中的固体颗粒物的溶解性可以被优化。这可以提高在电化学单元上游(48)位于闭合环路(20)中的一个或多个过滤筒(42)的使用期限。
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公开(公告)号：CN101484749A
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200780025048.6
申请日：2007-06-28
申请人： 爱德华兹有限公司
CPC分类号： F23G7/065 , F23D14/26 , F23G2209/142
摘要： 气体的燃烧方法，包括以下步骤：将该气体输送到与燃烧腔室(44)连接的燃烧喷嘴(42)中，以及将用于在该燃烧喷嘴周围形成引燃火焰的气体提供给该腔室(44)。为了形成该引燃火焰，将氢气通过在该燃烧喷嘴周围延伸的第一组多个开孔(56)提供给该腔室，以及将氧化剂通过在该燃烧喷嘴周围延伸的第二组多个开孔(68)与该氢气分开提供给该腔室。
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公开(公告)号：CN101463825A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200810183984.6
申请日：2008-12-19
申请人： 爱德华兹有限公司
CPC分类号： F04D19/042 , F04D25/0606 , H02K3/28 , H02K29/12 , H02P6/16 , H02P6/18 , H02P6/182 , H02P25/16
摘要： 本发明涉及一种真空泵。真空泵10包括：真空泵浦机构12，其安装成以便由轴14旋转；无刷电动机16，其用于使所述轴旋转。真空泵浦机构12包括涡轮式泵浦机构18和分子拖动泵浦机构20，涡轮式泵浦机构18包括多个泵级，分子拖动泵浦机构20包括至少一个泵级。轴14由轴承22支承，以便旋转。电动机16包括相对于轴14固定的永磁体转子24。转子24具有四个磁极，并且定子26具有非交叠的定子线圈。
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公开(公告)号：CN101395378A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200780007359.X
申请日：2007-02-28
申请人： 爱德华兹有限公司
发明人： N·L·克特尔威尔 , K·J·乌尔加-戈尔兹 , A·E·麦迪尔米德 , G·T·H·普赖斯
CPC分类号： F04D29/266 , F04C18/123 , F04C18/126 , F04C23/001 , F04C29/005 , F04C2230/60
摘要： 提供了用于多级泵的转子组件。组件包括驱动轴、转子部件和驱动部件。转子部件定位在驱动轴上并且包括用于当驱动轴旋转时转移流体通过泵的转子元件。驱动部件锚定到驱动轴并且将转矩从驱动轴传输到转子部件以实现转子部件旋转。套筒元件与驱动部件或转子部件集成并且用于从驱动部件隔开转子元件。接口表面定位在套筒元件上，用于与驱动部件和转子部件中的另一个接口，以便在转子元件和驱动轴之间维持正交的对准。驱动装置提供为用于在驱动部件和转子部件之间传输转矩。
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公开(公告)号：CN100465434C
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200580028643.6
申请日：2005-08-17
申请人： 爱德华兹有限公司
摘要： 一种排空外壳的系统，它包括具有可选择性地与外壳的出口连接的入口的第一泵吸装置。第二泵吸装置具有管道装置，该管道装置将第一泵吸装置的出口连接到第二泵吸装置的入口。具有辅助腔室，该腔室选择性地连接到管道，从而，在第一状态，通过与外壳隔离的第二泵吸装置从辅助腔室中抽出气体，而在第二状态，通过第一泵吸装置将气体从外壳抽入到辅助腔室中。
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公开(公告)号：CN101297062A
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200680039949.6
申请日：2006-09-26
申请人： 爱德华兹有限公司
CPC分类号： B01D53/007 , B01D2259/806 , B01J19/088 , B01J19/126 , B01J2219/0809 , B01J2219/0869 , B01J2219/0871 , B01J2219/0875 , B01J2219/0883 , B01J2219/1227 , B01J2219/1239 , B01J2219/1245 , B01J2219/1266 , B01J2219/1269 , B01J2219/1272 , C23C16/4412
摘要： 一种等离子体反应器(10)，其包括具有气体入口(18)和气体出口(20)的微波共振腔(12)，用于将微波辐射传送到共振腔的波导(14)，和用于将包含离子的等离子体物流注入到共振腔的等离子体炬(40)，所述离子用于与从气体入口(18)流到气体出口(20)的气体反应。
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公开(公告)号：CN101248506A
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200680029637.7
申请日：2006-07-27
申请人： 爱德华兹有限公司
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32844 , H01J37/32192 , H01J37/32229 , Y02C20/30
摘要： 本发明描述了一种用于处理来自多晶硅蚀刻过程的废气的方法，该方法采用等离子消除装置用以处理气体。该装置包括具有用于接收气体的气体入口以及气体出口的不锈钢气室。由于气体可包含卤代化合物和水蒸气，故气室被加热至抑制在气室内的表面上吸收水的温度，由此抑制气室的腐蚀。然后气体被传向气室以便处理，而气室温度维持在处理气体时的所述温度以上。
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公开(公告)号：CN101248226A
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200680026836.2
申请日：2006-07-06
申请人： 爱德华兹有限公司
发明人： R·A·阿布雷乌阿布雷乌 , J·D·M·沃特森
CPC分类号： B82Y30/00 , D01F9/127 , D01F9/133 , D01F11/122
摘要： 一种用于生产纳米结构的方法，包括以下步骤：使包含所述纳米结构的组分的气体到达一个或多个中空阴极反应器以便形成所述纳米结构、收集所述纳米结构且随后通过使排出气体与氧化气体一起通过一个或多个中空阴极反应器而从所述排出气体中去除副产物。
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