-
公开(公告)号：CN115334428B
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202211255106.7
申请日：2022-10-13
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
IPC: H04R19/04
Abstract: 本申请公开了一种麦克风组件及电子设备。麦克风组件包括基底、第一支撑件、第二支撑件、以及两个振膜组件和背极板，所述背极板具有镂空区域并且位于所述两个振膜组件之间；每个所述振膜组件均包括第一振膜和与所述第一振膜固定连接且间隔设置的第二振膜，所述第二振膜位于所述第一振膜和所述背极板之间，在所述基底的厚度方向上，所述第一振膜的一端和所述背极板的一端分别与所述第一支撑件固定连接，并且所述第一振膜的另一端以及所述背极板的另一端分别与所述第二支撑件固定连接，所述第二振膜的边缘悬空；本申请所公开的麦克风组件不仅具有较高的长宽比，增加了产品的应用范围，而且提高了麦克风组件的电信号侦测的灵敏度和准确性。
-
公开(公告)号：CN115403005A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202211360267.2
申请日：2022-11-02
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种压力感测模组、电阻式压力传感器及其制作方法，旨在通过在玻璃基板内制作贯穿所述玻璃基板厚度方向上的导电结构以及部分贯穿所述玻璃基板的空腔，然后将具有导电结构及空腔的所述玻璃基板与具有至少一个压阻以及与所述至少一个压阻对应电连接的第一焊盘的硅衬底进行键合，采用本发明实施例提供的技术方案，具有键合成本低、制作工序简单的优点，而且电性能的引出方式简单。
-
公开(公告)号：CN115002633B
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202210920136.9
申请日：2022-08-02
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
Abstract: 本发明中涉及一种麦克风组件及电子设备，其中麦克风组件包括：基底、位于基底的一侧上的层叠结构，层叠结构包括至少一个第一振膜、与至少一个第一振膜连接的第二振膜、以及至少一个背极板；基底的中部具有背腔，层叠结构的边缘区域通过第一支撑体与基底固定连接并且层叠结构的非边缘区域悬置于背腔之上；层叠结构中的至少一个背极板的边缘区域通过第二支撑体与至少一个第一振膜固定连接，第二振膜位于由该第一振膜、该背极板以及第二支撑体围成的腔体内；其中，第二振膜通过连接结构与第一振膜固定连接并且第二振膜的边缘悬空，由此，在声波传入背腔后，第二振膜整体上实现了平移，由此提高了麦克风组件的灵敏度以及信噪比。
-
公开(公告)号：CN114885264B
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202210808627.4
申请日：2022-07-11
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种麦克风组件及电子设备，所述麦克风组件沿层叠方向包括基底、第一振膜、背极板、以及第二振膜，所述背极板和所述第一振膜之间具有部分区域贯通的第一绝缘体，所述第二振膜与所述背极板之间具有部分区域贯通的第二绝缘体；其中，所述第一绝缘体具有设置在所述第一电极边缘的第一环形结构，所述第二绝缘体具有设置在所述第三电极边缘的第二环形结构，所述第一电极背极板之间由所述第一环形结构连接以形成第一空腔，所述背极板与所述第三电极之间由所述第二环形结构连接以形成第二空腔，形成的第一空腔和形成的第二空腔构成真空密闭空腔。本发明所提供的技术方案显著提升了麦克风的防尘效果和信噪比。
-
公开(公告)号：CN115334389A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202211255119.4
申请日：2022-10-13
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
IPC: H04R1/08
Abstract: 本发明提供了一种麦克风组件及电子设备，其中，所述麦克风组件包括基底、第一支撑件、第二支撑件、以及位于所述第一支撑件和所述第二支撑件之间的两个振膜组件和背极板，所述背极板位于所述两个振膜组件之间，所述基底上设置有空腔，所述第一支撑件部分封闭所述空腔的一侧，所述第二支撑件位于所述空腔内；在基底的厚度方向上，所述第一振膜的一端和所述背极板的一端分别与所述第一支撑件固定连接，并且所述第一振膜的另一端以及所述背极板的另一端分别与所述第二支撑件固定连接，所述第二振膜的边缘悬空；本申请所公开的技术方案使麦克风组件不仅具有较高的长宽比，增加了产品的应用范围，而且提高了麦克风组件的电信号侦测的灵敏度和准确性。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115177035A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210895569.3
申请日：2022-07-28
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
Inventor： 李成涛
Abstract: 本发明涉及一种压力感应结构及电子烟，其中压力感应结构包括支撑体以及感测组件，支撑体具有相对的第一侧和第二侧，第一侧上设置有第一空腔，第二侧上设置有与第一空腔连通的第一过孔，第一过孔与外部环境连通；感测组件嵌入到第一空腔内，并且感测组件的一侧表面与第一过孔连通，另一侧表面与所述电子烟的烟腔连通，以感测外部环境与烟腔之间的压差，本发明中的压力感应结构以及电子烟无需在支撑体上开设过线孔从而避免多增漏油点。
-
公开(公告)号：CN114789987B
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210716451.X
申请日：2022-06-23
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
IPC: H01L23/522
Abstract: 本发明提供了用于感测的封装结构及其制作方法，其中，用于感测的封装结构包括衬底、器件结构、以及具有环形开口部的顶盖体，旨在通过设置贯穿于器件结构、氧化层以及部分顶盖体的至少一个导电结构，以将所述顶盖体通过至少一个导电结构与位于所述衬底上的接地端子电连接，以解决由于SOI键合技术中的氧化层的存在所导致的氧化层的上下层电互联困难的问题，实现了将所述顶盖体与位于衬底上的接地端子电连接，从而显著提升了用于感测的封装结构产品的屏蔽性能以及提升了用于感测的封装结构的可靠性。
-
公开(公告)号：CN114966112A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210492743.X
申请日：2022-05-07
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
IPC: G01P15/125 , B81C1/00 , B81B7/02 , B81B3/00
Abstract: 本发明提供了一种MEMS电容式加速度计及其制备方法，所述MEMS电容式加速度计包括：衬底层；质量块层，设置在所述衬底层上方，所述质量块层包括固定区和可动区，所述可动区在运动时发生位移；背极板，与所述质量块层相对设置；其中，所述背极板包括与所述可动区相对设置的检测区，所述检测区与所述可动区形成电容结构，并根据所述可动区的位移输出不同的电容值以检测加速度，所述加速度包括纵向加速度、横向加速度和垂向加速度中的至少一种。本发明的加速度计不仅体积小，而且能够有效防止加速度计内部过度位移发生损坏。
-
公开(公告)号：CN114513730B
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN202210414581.8
申请日：2022-04-20
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
Abstract: 本申请公开了一种麦克风组件及电子设备。所述麦克风组件包括基底以及振膜；所述基底的部分区域构成第一电极，所述振膜具有声波敏感区域，所述声波敏感区域构成第二电极；其中，所述第一电极以及所述第二电极两者在垂直于所述基底的厚度方向的平面上的投影相交叠。本申请所公开的技术方案通过基底的部分区域构成第一电极，在基底与振膜之间无须额外设置第一电极以形成电容结构，能够减小麦克风组件的体积，有效解决了现有的MEMS麦克风的尺寸过大，无法满足电子产品轻薄化设计的问题。
-
公开(公告)号：CN114858874A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210793399.8
申请日：2022-07-07
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
Inventor： 李萍萍
IPC: G01N27/22
Abstract: 本发明提供了湿度感测结构、湿度传感器及湿度感测结构的制作方法，所述第一湿敏电极和所述第二湿敏电极以预设的间隙排布在所述第二介质层远离所述至少一个加热电极的一侧表面，该第二介质层作为绝缘保护层，与第一介质层形成一个整体，共同对加热电极进行包覆，不仅能够防止水汽渗透进加热电极中，并且可以保护加热电极不被空气中的水、氧进行氧化，从而能够避免加热电极发生漏电的情况，使用起来也更加安全可靠。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
552
records
(took 0.045 seconds)
