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公开(公告)号：CN102096338B
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201110008388.6
申请日：2011-01-14
申请人： 清华大学
摘要： 一种掩膜台系统，主要用于光刻机系统中。该系统包括磁悬浮装置，振动装置、驱动装置和掩膜台。所述磁悬浮装置由固定在掩膜台上的永磁体和被永磁体吸引的固定在光刻机机架上的铁磁性部件组成，在驱动装置的配合下使掩膜台在工作中保持悬浮状态；所述振动装置包括两个设置在掩模台两端的永磁体和与永磁体配合的固定在光刻机机架上的两个电磁铁，且两者同极相对而互斥；所述驱动装置由固定在光刻机机架上的线圈阵列和固定在掩膜台上的永磁体阵列组成，在调整掩膜台姿态的同时直接驱动掩膜台在振动装置中往复高速运动。该系统简化了掩膜台结构，提高了掩模台的速度，加速度和控制带宽，进而提高了光刻机的生产率、套刻精度和分辨率。
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公开(公告)号：CN102410836A
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201110210439.3
申请日：2011-07-26
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01C21/00
CPC分类号： G01B11/14 , G03F7/70775
摘要： 一种基于二维位置敏感传感器的空间六自由度物体定位系统，针对光刻机硅片台、掩膜台的定位而发明。该系统主要包括半导体激光器、光纤准直器、光纤、光纤分路器、滤光片、三个PSD传感器及信号处理系统。半导体激光器发射的激光照射到光纤准直器上，后经光纤分路器分三路分别传输，经滤光片滤除背景光后由PSD传感器接收，激光光斑在三个PSD传感器上的位置经信号处理系统处理得到空间六自由度物体的位姿。该定位系统采用非接触式测量，避免了线缆对平台运动精度的影响，同时具有定位精度高、响应快、结构简单及成本低等特点。
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公开(公告)号：CN109104125B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201810707358.6
申请日：2018-07-02
申请人： 清华大学
摘要： 一种感应式驱动的气浮动量球系统。包括：气浮动量球模块、传感器测量组件、上位机控制器及驱动模块。气浮动量球模块包括定子阵列、球形动子和气浮组件。球形动子由气浮组件支承悬浮，由定子阵列驱动旋转。传感器测量组件包括力/力矩测量组件和转速测量组件。转速测量组件包括测量框架与鼠标传感器，通过测量框架准确测量传感器空间位置，结合鼠标传感器的线速度测量，解算出球形动子的转速，用于反馈控制。上位机控制器根据解算得到的转速信号，通过驱动器对各定子线圈进行电流分配，从而实现对气浮动量球绕任意轴转动控制。
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公开(公告)号：CN104753273B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201510197943.2
申请日：2015-04-23
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
摘要： 一种磁悬浮动量球，用于航天器姿态调整，磁悬浮动量球包含一个球壳形动子和多个定子，所述定子有三组，每组包含两个以动子的球心为对称中心的定子，三组定子的轴线相互正交，每个定子包含定子铁芯和线圈阵列，定子铁芯与动子相配合的内表面为球面，并和动子的外表面留有气隙，定子铁芯沿径向开有通槽，通槽在定子铁芯的圆周上均匀分布；线圈阵列采用盘式电机定子绕组，线圈阵列中每个线圈的两个有效边分别放置于定子铁芯的两个通槽内。本发明成本低，悬浮、旋转驱动一体化，结构简单紧凑，体积小质量轻，并且属于固有的稳定悬浮，悬浮控制简单。
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公开(公告)号：CN104359410B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201410720041.8
申请日：2014-12-01
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC分类号： G01B11/02
摘要： 一种利用可旋转光栅测量的位移测量系统，包括激光器、凸透镜、折光元件、光栅、光电转换器、电子信号处理部件；该系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量，位移测量功能不受待测物体绕一个固定方向转动的限制，当光栅相对激光器做平面运动或绕激光光轴转动时，测量系统能够始终输出所需测量方向的位移信息，不受光栅面内平动或转动的影响。该测量系统安装灵活，调整方便，对环境敏感性低、测量信号易于处理，分辨率与精度可达亚纳米甚至更高。该测量系统可以为光刻机超精密工件台进行位置位移测量，提升工件台综合性能，也可应用于精密机床、三坐标测量机、半导体检测设备等的工件台多自由度位移的精密测量。
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公开(公告)号：CN103956880B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201410222778.7
申请日：2014-05-23
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC分类号： H02K41/03
摘要： 一种动铁式直线电机多盘式线圈切换装置及方法，所述切换装置含有布置在一根转轴上的多相圆盘组，每一相圆盘组包含线圈圆盘和驱动器圆盘，线圈圆盘上布置有线圈电极，驱动器圆盘上布置有驱动器电极，每一相线圈通过导线与该相线圈电极相连，每一相驱动器通过导线与该相驱动器电极相连，线圈圆盘和驱动器圆盘随着磁钢阵列的运动而绕着转轴相对转动，实现线圈电极与驱动器电极的接触与分离，从而实现驱动器对线圈阵列中不同相线圈的供电。本发明降低能耗和电机发热，减少驱动器数量，能够实现在动铁式直线电机行程较大，参与切换的线圈数量较多的场合中线圈的有效切换。
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公开(公告)号：CN104019744B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201410255840.2
申请日：2014-06-10
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC分类号： G01B11/00
摘要： 一种二维自标定标记点检测对准系统，包括零位信号读取仪，二维工作台，光栅尺辅助标定板，读数头检测部分，测量基准架；光栅尺辅助标定板包括X、Y方向带有零位标记点的光栅尺；读数头检测部分包括光栅尺读数头及安装支架；该对准系统基于光栅尺检测对准原理以及零位信号检测原理实现标记点对准。读数头通过检测光栅尺辅助标定板上零位标记点信号，将信号传输给零位信号读取仪，同时二维工作台记录自身的位置坐标并将信号传输给零位信号读取仪，获得零位标记点位置坐标。该对准系统能够用于二维自标定技术中，实现纳米级分辨率及对准精度；信号读出延时小，能应用于工作台动态、高速标定；整体结构相对简单，性价比高，对环境不敏感。
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公开(公告)号：CN103973074B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201410222779.1
申请日：2014-05-23
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
发明人： 朱煜 , 张鸣 , 陈安林 , 支凡 , 成荣 , 杨开明 , 蔡田 , 张利 , 秦慧超 , 赵彦坡 , 胡清平 , 田丽 , 叶伟楠 , 张金 , 尹文生 , 穆海华 , 胡金春 , 刘召
IPC分类号： H02K41/02
摘要： 一种动铁式直线电机单盘式线圈切换装置及方法，所述切换装置含有线圈圆盘和驱动器圆盘，线圈圆盘上布置有线圈电极，驱动器圆盘上布置有驱动器电极。线圈阵列中的线圈通过导线与线圈电极相连，驱动器通过导线与驱动器电极相连。线圈圆盘和驱动器圆盘随着磁钢阵列的运动而绕着转轴相对转动，实现线圈电极与驱动器电极的接触与分离，从而实现驱动器对线圈阵列中不同线圈的供电。本发明实现了动铁式直线电机线圈的每一相单独切换，降低了发热并减少了驱动器数量，结构简单，不需要复杂的控制，解决了漏电流和电子切换时间延迟等问题。
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公开(公告)号：CN104009586B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410253931.2
申请日：2014-06-09
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC分类号： H02K9/19
摘要： 一种电机冷却散热结构，涉及直线电机和平面电机，主要应用于电机功率较大、发热量大且对电机温度控制要求较高的各种高精度、高速度、高加速运动系统。该冷却散热结构含有盖板、骨架和毛细管阵列；盖板上设有进水口出水口，并加工有水道；在骨架上设有四周水道、线圈安装槽和毛细管安装孔，在毛细管的外层镀有一层绝缘层；毛细管安装孔可以为单排孔结构，也可以为双排孔结构，双排孔结构相对散热面积更大，散热更充分。本发明与现有技术相比，其优点体现在可形成对线圈六个面的全方位冷却，且不会产生明显电涡流效应。
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公开(公告)号：CN105319989A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510802623.5
申请日：2015-11-19
申请人： 清华大学
CPC分类号： G05B17/02 , G06F17/5009
摘要： 本发明是一种永磁弹射掩模台弹射区电机出力最小轨迹规划方法。所述方法是基于一种永磁弹射掩模台往复扫描运动，根据其运动特征和是否存在永磁弹射力，把掩模台的运动区间划分为非弹射区和弹射区。需根据弹射区的运动需求和运动的对称性，以电机出力最小为优化目标，选择多项式结构作为弹射区的运动轨迹函数；掩模台出入弹射区的加速度、速度、位移等的限制作为约束条件，采用遗传算法求解多项式轨迹函数最优参数。本发明不仅适用于永磁弹射掩模台，对于拥有弹射结构的设备具有一定的适应性。
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