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公开(公告)号：CN105290915A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510556239.1
申请日：2015-09-02
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明公开一种大口径超精密磨床集成系统，包括Z轴主轴箱和可拆卸地连接到所述Z轴主轴箱上的二维振动辅助激光扫描在位检测系统；所述二维振动辅助激光扫描在位检测系统包括所述随动导轨和X轴导轨，以及与所述随动导轨匹配连接的随动导轨连接件；所述随动导轨平行于所述X轴导轨，可沿所述X轴导轨方向来回滑动，而所述随动导轨连接件在X轴方向上保持不动。本发明还包括在位砂轮修整装置，能够实现对弧面砂轮的在位自动化修整。本发明是一种面向大口径光学镜面加工、检测、修整一体化的超精密光学磨床，将非接触式传感器应用到大口径光学镜面磨削机床上，能够极大地提高检测效率和加工效率，最大限度减小被测元件搬运过程中引入的误差。
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公开(公告)号：CN104827400A
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201410661461.3
申请日：2014-11-19
申请人： 襄阳振本传动设备有限公司
发明人： 秦志洪
IPC分类号： B24B53/06
摘要： 一种磨床仿形砂轮修整器，用于磨床。装有靠模板的靠模板座固定在上滑板上表面；上滑板前部固定有直线导轨，直线导轨滑块与金钢笔杆套联为一体，金钢笔杆在导向销导向下，在金钢笔杆套内孔中做横向往复移动，金钢笔杆前部装有金钢笔，金钢笔杆中部装有弹簧与螺母，金钢笔杆后部安装有顶头，用螺母锁紧，顶头下部为四方结构，其中一个棱被弹簧压在靠模板的工作面上；金钢笔杆套通过连接板与液压缸的活塞杆联为一体，液压缸与液压缸连接板联接，液压缸连接板与上滑板联为一体，液压缸的活塞杆推动金钢笔杆套在直线导轨上做纵向直线往复移动。本发明彻底解决了修整大曲率圆弧或任意光滑复合曲线成型砂轮的难题，且修整半径不受机床的限制。
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公开(公告)号：CN104708539A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201510020545.3
申请日：2008-09-29
IPC分类号： B24B53/017
CPC分类号： B24B53/12 , B24B53/02 , B24B53/017
摘要： 一种CMP衬垫修整器，其包括多个研磨块。每个研磨块包括块坯和附着于块坯的研磨层，该研磨层包括超硬研磨材料。还提供一种衬垫修整器基底。所述多个研磨块中的每一个以一个取向被永久固定在衬垫修整器基底上，其能够随着衬垫修整器和CMP衬垫的相对移动通过研磨层从CMP衬垫上消除材料。
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公开(公告)号：CN104551999A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410813044.6
申请日：2014-12-24
申请人： 洛阳鸿元轴承科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种液压回转式砂轮修整器，其包括主机座、旋转油缸、过渡法兰、轴承和修整器模块，旋转油缸安装在主机座内，旋转油缸的输出轴通过联轴器与过渡法兰实现驱动连接，过渡法兰的另一端连接有修整器模块，所述修整器模块包括导轨、导轨上滑座、导轨下滑座、驱动机构和金刚笔，所述导轨下滑座上开设有滑槽，导轨安装在滑槽内，导轨上滑座配装在导轨内，且导轨上滑座与导轨下滑座之间能够产生相对滑动，在导轨上滑座的上端面上设置有与导轨下滑座连接的驱动机构，在导轨下滑座的下端面上通过金刚笔安装座安装有金刚笔，所述导轨上滑座与过渡法兰紧固连接。
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公开(公告)号：CN104476402A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201410751481.X
申请日：2014-12-02
申请人： 无锡中亚工具厂
摘要： 本发明公开一种弓柄，包括本体，所述本体呈“Z”字形结构，其一端加工有圆形轴心通孔，另一端依次向外在圆形轴心通孔的同一侧加工有台阶和截面呈“V”字型的直线滑槽，所述滑槽的反面加工有凸台。本发明的一种弓柄，不仅通过圆形轴心通孔的中心实现了圆周运动，而且通过“V”字型的直线滑槽，可实现砂轮的直线修整功能，本发明扩展了修整器的使用范围，拓宽了零件的磨削加工范围，提高了加工精度，且具有结构紧凑、制造成本低、使用方便等优点。
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公开(公告)号：CN104416466A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201310376775.4
申请日：2013-08-26
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： B24B53/12
CPC分类号： B24B53/017 , B24B53/12
摘要： 本发明提供一种用于化学机械抛光工艺的抛光垫修整方法，所述抛光垫修整方法至少包括步骤：提供修整器，以设定的压力将所述修整器压于抛光垫上；提供抛光头，所述抛光头夹持晶圆与所述抛光垫接触；完成每片晶圆抛光工艺的时间内，所述修整器修整抛光垫至少两次。本发明提供的用于化学机械抛光的抛光垫修整方法能够使晶圆在抛光过程中保持稳定的抛光率，提高产品良率。本发明方案简单，便于工业化应用。
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公开(公告)号：CN104385138A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201410633899.0
申请日：2014-11-12
申请人： 巫溪县绿野实业有限公司
发明人： 郑玉成
IPC分类号： B24B53/06
摘要： 本发明公开了一种砂轮修磨机，包括机架、机架上的支撑砂轮旋转的轴承座、与砂轮圆周接触的修磨盘，所述机架上设有驱动砂轮转动的传动机构和驱动修磨盘沿平行砂轮轴线方向移动的轴向横移机构，所述修磨盘轴线与砂轮轴线呈锐角。在修磨同时修磨盘沿砂轮轴向移动以修磨长度比修磨盘较长的砂轮，而修磨盘轴线与砂轮轴线呈锐角，这样修磨盘在修磨砂轮时刚性更好，特别是修磨直径比修磨盘较大的砂轮的时修磨盘不易变形。
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公开(公告)号：CN104369106A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201410717012.6
申请日：2014-12-03
申请人： 无锡市翱宇特新科技发展有限公司
发明人： 张鹏 , 其他发明人请求不公开姓名
摘要： 本发明公开一种中心轴，属于精密机床附件技术领域，包括本体，所述本体呈圆柱形结构，中心加工有通孔，所述本体的外圆表面加工有至少二个环形沟槽。本发明的一种中心轴，具有结构简单，刚性好，且容易制造、容易装配等优点。
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公开(公告)号：CN104369105A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201410730283.5
申请日：2014-12-05
申请人： 浙江优特轴承有限公司
IPC分类号： B24B53/075 , B24B53/12
CPC分类号： B24B53/075 , B24B53/12
摘要： 本发明公开了一种用于角接触球轴承套圈沟道加工的砂轮修整器，包括支架、摆臂、摆臂驱动装置和金刚笔，所述摆臂上下两端可转动的支承于支架上，所述摆臂驱动装置装设于支架上并与摆臂连接，所述金刚笔装设于摆臂上，所述摆臂与支架的支承连接处设有转动支承组件，所述转动支承组件包括一件支承球和两件锥套，所述两件锥套均设有锥面凹槽，且两件锥套分设于摆臂与支架上，所述支承球压紧于两件锥套的锥面凹槽之间。该用于角接触球轴承套圈沟道加工的砂轮修整器具有支承刚性好、强度高，修整精度高、效率高，使用寿命长、维护成本低的优点。
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公开(公告)号：CN104191373A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410441966.9
申请日：2014-09-02
申请人： 昆明惠雕机械有限公司
IPC分类号： B24B53/06
摘要： 本发明公开了一种砂轮角度修整器，旨在提供一种砂轮角度修整精度高的砂轮角度修整器。它包括修整器主体、手柄以及安装有金刚笔的两条导轨机构，所述修整器主体内设置有与导轨机构啮合的齿轮，所述导轨机构包括：齿条导轨，与金刚笔固定连接，其带齿条的一面与修整器主体内的齿轮啮合，通过转动手柄实现齿条导轨的移动；以及固定设置于修整器主体上与齿条导轨配合的两条导条，两条导条分别位于齿条导轨的两侧并通过交叉滚子配合连接。本发明通过两条导条配合交叉滚子实现齿条导轨的定位移动，其可以提供比常规导轨机构较高的预紧力而不影响齿条导轨的正常滑动，保证导轨间间基本没有晃动的间隙，有效提高金刚笔的加工精度。
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