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公开(公告)号：CN118276267A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410368918.5
申请日：2024-03-28
申请人： 佛山市华道超精科技有限公司
摘要： 本发明涉及精密操作或者测量设备技术领域，公开了一种柔性铰链姿态高精度调整平台及其应用，由至少一组柔性平台组成，所述柔性平台的一侧具有变形开口，还包括与所述柔性平台转动连接的调节组件，所述调节组件对称设置于所述变形开口的一侧，以使所述柔性平台实现厚度和/或角度的调整。本发明在柔性铰链结构的基础上，用可调长度的调节组件替代拉伸螺栓和紧定螺钉组合，每个自由度仅需一个调节组件，即双活节螺栓和双牙螺母配合，通过调节组件的长度变化实现偏角调整，解决了传统光学调节平台组成零件多、稳定性差、精度与强度矛盾，以及柔性铰链机构中拉伸螺栓和紧定螺钉组合调节存在过约束和调节复杂的弊端。
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公开(公告)号：CN117387821A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311688757.X
申请日：2023-12-08
申请人： 佛山市华道超精科技有限公司
IPC分类号： G01L5/1627
摘要： 本发明涉及传感器领域，尤其涉及正交柔性铰链片组合式六维力传感器，目的是解决目前传感器采用多柔性铰链并联方式冗余太多，计算量大，精度较低的问题。其技术方案包括柔性单元，所述柔性单元包括至少三组柔性铰链，所述柔性铰链沿轴线方向相互正交连接；至少偶数个的转换单元，所述转换单元沿每组所述柔性铰链的最小弯曲刚度的方向设置，且对称安装在所述柔性铰链的两侧面。本发明采用正交片式柔性单元，并将应变传感器布置在片式柔性铰链最薄尺寸的两面中间，通过差分对称布置，消除拉伸和扭转影响，实现纯弯曲测量，还通过多种不同方式的灵活组合成六维传感器，不仅解决传统应变片贴片困难的问题，而且测量精度可达单自由度力传感器的精度。
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公开(公告)号：CN117287606A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311344379.3
申请日：2023-10-17
申请人： 广东工业大学 , 佛山市华道超精科技有限公司
摘要： 本发明公开一种刚柔耦合二维运动平台，包括基座、一体刚柔耦合平台以及二维驱动机构；所述一体刚柔耦合平台包括刚性框架、X向耦合组件以及Y向耦合组件；所述刚性框架内设有第一安装腔体；所述X向耦合组件包括设置在第一安装腔体内的X向平台和X向柔性铰链片，所述X向柔性铰链片设有两组且对称地设置在刚性框架和X向平台之间；所述X向平台内设有第二安装腔体；所述Y向耦合组件包括设置在第二安装腔体内的Y向平台和Y向柔性铰链片，所述Y向柔性铰链片设有两组且对称地设置在X向平台的内侧壁和Y向平台的外侧壁之间。本发明通过将两个运动方向的柔性铰链集成一体，不仅可以有效提高运动速度以及精度，还可以简化结构，减小占用的空间。
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公开(公告)号：CN117226539A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311387023.8
申请日：2023-10-24
申请人： 佛山市华道超精科技有限公司
摘要： 本发明涉及多轴运动平台组成的高端装备精密装配技术领域，尤其涉及滑块融合组合式高精度姿态调整机构。其技术方案包括工作平台和位于所述工作平台下方的滑块，还包括：俯仰调节机构，设置于所述工作平台与所述滑块之间，用于调节所述工作平台与所述滑块的之间的高度实现对工作平台的偏转俯仰调节；水平调节组件，用于调节所述工作平台与所述滑块的水平相对位置。本发明只需要三个以上的侧面调节螺栓，自动形成一个回转中心，从而使得厚度可调柔性铰链可以随意设置于滑块上，更方便实施；另外，组合式的机构，制造成本更低，避免了在先技术所描述的悬臂结构，可以用于重载设备，从而使用面更广。
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公开(公告)号：CN114922935B
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202210538147.0
申请日：2022-05-18
申请人： 佛山市华道超精科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种刚柔耦合位力复合执行机构及恒力控制方法，属于机械精密制造技术领域，所述执行机构包括：机架，设置在机架上的刚柔耦合导向缓冲组合体和驱动组合体；刚柔耦合导向缓冲组合体包括：直线导向机构、弹簧片和输出轴；输出轴与驱动组合体柔性连接或刚性连接。本发明采用导轨导向刚柔耦合结构，在调整阶段用导轨导向，实现大范围位移调整；在力控制阶段靠柔性铰链导向，消除摩擦力对力反馈与传递的影响。为实现恒力控制，采用伺服电机驱动滚珠丝杠调节缓冲弹簧实现力控制，伺服驱动反应灵敏，缓冲弹簧能够降低位移偏差带来的力波动。为实现重力补偿，采用重力角度传感单元获得重力角度，从而实现在控制系统中进行重力补偿的效果。
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公开(公告)号：CN116337292A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310614291.2
申请日：2023-05-27
申请人： 佛山市华道超精科技有限公司
摘要： 本发明属于力传感器技术领域，尤其是刚柔复合导向力传感器结构及其应用，解决了力传感器位置调整测量受导向摩擦影响和量程不可调的问题，其技术方案包括：力传感器和刚柔复合导向机构，所述刚柔复合导向机构包括柔性导向机构，柔性导向机构由至少一组柔性铰链组成，且所述力传感器的作用端通过柔性铰链与刚性框架连接，外力通过柔性导向机构作用在所述力传感器上，以消除摩擦力的影响。本发明的力传感器结构，被测力通过柔性导向机构作用到力传感器上，在应用过程中不会受限于驱动组件所产生的摩擦力，即力的传递不受摩擦影响，进而明显提高力传感器的检测精度，同时通过更换不同的柔性导向机构厚度，获得不同的量程，节约成本。
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公开(公告)号：CN116136399A
公开(公告)日：2023-05-19
申请号：CN202310317234.8
申请日：2023-03-27
申请人： 佛山市华道超精科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种用于加工尺寸的检测装置及其检测方法，该检测装置包括：平台、工作台和检测机构；所述平台设有直线导轨和龙门架，所述龙门架沿横向跨置在直线导轨的上方，所述直线导轨沿纵向水平延伸，所述工作台受控于一驱动件对应滑动配置在直线导轨上；所述检测机构包含宽度检测构件、高度检测构件以及孔位检测构件；通过宽度检测构件、高度检测构件以及孔位检测构件，分别对应于板件的各类特征尺寸的快速、精准测量，以达到全方位、高效率的准确测量，提升加工尺寸在检测时的精准度，显著改善对规则孔的板件的检测方式。进一步结合图像处理的高速度与机械测量的高精度，实现对规则孔的板类零件的特征尺寸进行快速、精准的检测。
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公开(公告)号：CN114922935A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202210538147.0
申请日：2022-05-18
申请人： 佛山市华道超精科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种刚柔耦合位力复合执行机构及恒力控制方法，属于机械精密制造技术领域，所述执行机构包括：机架，设置在机架上的刚柔耦合导向缓冲组合体和驱动组合体；刚柔耦合导向缓冲组合体包括：直线导向机构、弹簧片和输出轴；输出轴与驱动组合体柔性连接或刚性连接。本发明采用导轨导向刚柔耦合结构，在调整阶段用导轨导向，实现大范围位移调整；在力控制阶段靠柔性铰链导向，消除摩擦力对力反馈与传递的影响。为实现恒力控制，采用伺服电机驱动滚珠丝杠调节缓冲弹簧实现力控制，伺服驱动反应灵敏，缓冲弹簧能够降低位移偏差带来的力波动。为实现重力补偿，采用重力角度传感单元获得重力角度，从而实现在控制系统中进行重力补偿的效果。
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公开(公告)号：CN113059537B
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202110215471.4
申请日：2021-02-26
申请人： 佛山市华道超精科技有限公司
IPC分类号： B25H1/00
摘要： 本申请公开了一种柔性铰链机构、超精密直线运动平台及双工件工作台，柔性铰链机构可以通过控制至少三个音圈电机的同步升降来实现工作台的高度调节，可以通过处于同一边上的音圈电机升降与其它边上的音圈电机产生高度差来实现工作台的偏转俯仰。一方面采用冗余驱动替代并联机构，无需解耦；另一方面，采用音圈电机驱动的柔性铰链组，所述柔性铰链片组分别与所述基座和工作台固定，单一模态，避免了高速运动时的多模态叠加。上述柔性铰链机构可应用在机械导轨式直线平台上，通过偏摆俯仰和高度调节，实现更高的平面度和直线度；还可以配合接触切换式多轴气浮导轨平台，六自由度工件台，满足光刻机的六自由度调整需求。
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公开(公告)号：CN112994396A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110147054.0
申请日：2021-02-03
申请人： 佛山市华道超精科技有限公司
摘要： 本发明涉及位移装置技术领域，且公开了一种高频往复精密位移装置，包括驱动单元，其固定设置于基座表面；弹簧组件，其存储或释放从所述驱动单元获得的能量，所述驱动单元驱动弹簧组件往复运动；弹簧刚度调节组件，其用于调节所述弹簧组件的刚度。该种高频往复精密位移装置，采用刚度可调弹簧，将系统的固有频率调节为工作频率，电机按照给定固有频率激励，累加后振幅逐渐增加，阻尼力也逐渐增加，当电机输入能量与阻尼衰减能量平衡时振幅保持稳定，通过控制输入力的幅值，就可以控制振幅。光栅尺可以精密测量幅值。存在摩擦力时，可以通过柔性铰链补偿摩擦死区，提高位移控制精度。
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