一种导电用自动夹紧装置及其应用

    公开(公告)号:CN114164480B

    公开(公告)日:2024-07-19

    申请号:CN202111501293.8

    申请日:2021-12-09

    IPC分类号: C25D17/08 C25D17/00

    摘要: 本发明公开了一种导电用自动夹紧装置及其应用,包括导电滑触接电机构、压接机构、夹紧控制机构以及导向纠偏机构;本发明的导电用自动夹紧装置可以垂直控制阴极导电夹的夹紧部分同时上下开合,不会产生侧向的移动,也减少了夹印。导电滑触接电部分有弹簧缓冲,增加了铜块在运动中的平稳性,减缓了接触面磨损的速度,同时也能够稳定导电,使得镀膜能够达到要求,镀层厚度达到均一性。本发明结构简单,对上下导电触点起到开合作用之一的弹簧,无需人员手动频繁的操作,系统自动实现开合,使用起来便捷性强。

    用于制备太阳能电池的硅片吸杂方法及制备太阳能电池的方法

    公开(公告)号:CN116053113A

    公开(公告)日:2023-05-02

    申请号:CN202310057230.0

    申请日:2023-01-17

    IPC分类号: H01L21/02

    摘要: 本申请公开了一种用于制备太阳能电池的硅片吸杂方法及制备太阳能电池的方法,属于太阳能电池制备技术领域。一种用于制备太阳能电池的硅片吸杂方法,所述方法包括:对硅片进行前清洗;对前清洗后的硅片进行吸杂,以去除硅片内部的金属杂质;其中,所述前清洗包括:对硅片进行至少一次清洗;对至少一次清洗后的硅片进行干燥;对干燥后的硅片进行臭氧氧化处理,以使硅片的表面具有亲水性质的界面。本申请可以解决当前对于硅片的吸杂前清洗处理不利于提高吸杂工序涂布的均匀性的问题,通过更适宜的吸杂前清洗方式,提高吸杂工艺涂布的均匀性、沉积速率以及覆盖度,提升吸杂效果,更有效地改善硅片质量,降低方块电阻。

    收紧式槽盖装置和清洗槽

    公开(公告)号:CN115846336A

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202211421368.6

    申请日:2022-11-15

    IPC分类号: B08B13/00 B08B3/08 H01L21/67

    摘要: 本发明提供了一种收紧式槽盖装置,包括了一种收紧式槽盖装置,包括了双开式槽盖板(7),设置在槽本体(1)外壁的导向盘(4)、同步块(9),槽盖板(7)设置在L形连杆(5)的长臂段顶端,L形连杆(5)的短臂段同步块(9)活动连接,L形连杆(5)长臂段的下段开设弹簧槽(17),弹簧槽(17)内设有可以沿槽内上下活动的连接轴块(2),连接轴块(2)与第一轴承(6)连接,连接轴块(2)的下方设有弹簧固定轴(18)和弹簧,还包括了驱动机构(3)。本发明的收紧式槽盖装置,既能有效减少开盖后高度上的尺寸,又能减少开盖后宽度方向的极限尺寸,从而能够有限减小整个机组的外形尺寸。

    一种单晶硅片制绒剂及制绒方法

    公开(公告)号:CN112708938B

    公开(公告)日:2022-03-22

    申请号:CN202011543031.3

    申请日:2020-12-22

    IPC分类号: C30B33/10 H01L31/18

    摘要: 本发明提供了一种单晶硅片制绒剂,单晶硅片制绒剂包括碱液,碱液中分布有带有动能的微米颗粒,微米颗粒为含氟高分子、抗碱腐蚀有机高分子、无机非金属、金属材料中的至少一种。还提供了一种单晶硅片制绒方法,包括单晶硅片制绒剂的配置,即碱液的配置、微米颗粒加入制备混合溶液、混合溶液中微米颗粒动能的获取等步骤),和将单晶硅片置入单晶硅片制绒剂中在第三温度及t时间内进行制绒。本发明提供的单晶硅片制绒剂及制绒方法能够影响氢气气泡的大小、密度,及在单晶硅片表面的粘附时间等参数,会直接影响制备的绒面形貌、大小以及均匀性,从而影响单晶硅片表面的减反效果和与其他膜层之间的匹配状况,具有绿色、环保以及低成本的优点。

    机械臂控制方法、存储介质及电子设备

    公开(公告)号:CN116394233B

    公开(公告)日:2024-03-19

    申请号:CN202310039721.2

    申请日:2023-01-12

    发明人: 孔祥才 龚庆

    IPC分类号: B25J9/16 B25J18/00

    摘要: 本公开实施例提供的一种机械臂控制方法、存储介质及电子设备,应用于槽式清洗机,槽式清洗机包括多个槽体,每个槽体具有对应的工艺。基于取篮位置和放篮位置为清洗机生成取放篮任务,并将取放篮任务基于每个机械臂的作业区域,分配至对应的机械臂,并在任务分配完成后,调度机械臂执行对应的取放篮任务,提高了控制机械臂的灵活度从而提高了清洗效率。

    生成工艺流程的方法、存储介质及电子设备

    公开(公告)号:CN116031140A

    公开(公告)日:2023-04-28

    申请号:CN202211509994.0

    申请日:2022-11-29

    摘要: 本公开实施例提供的一种生成工艺流程方法、存储介质及电子设备,应用于槽式清洗机,所述槽式清洗机包括多个槽体,每个所述槽体具有对应的工艺,根据客户的需要事先设计好各个槽体对应的工艺参数并完成调试,用户可以根据需要自定义编码串,系统自动对编码串的合理性进行判断,当判断编码串合理时,按照合理编码串中编码对应的工艺,按编码顺序自动形成工艺流程,当判断编码串不合理时输出错误提示信息,验收方或使用方可以重新形成合理编码串;通过本公开,在对槽式清洗机验收或后续使用过程中,可以方便修改工艺流程,并可以根据实际作业需要自动生成多个工艺流程,提高工艺流程调整的灵活度。

    药液浓度的控制方法、设备及计算机可读存储介质

    公开(公告)号:CN115599054A

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202211211850.7

    申请日:2022-09-30

    IPC分类号: G05B19/418 H01L21/67

    摘要: 本申请公开了一种药液浓度的控制方法、设备及计算机可读存储介质,属于半导体工艺技术领域。一种药液浓度的控制方法,应用于半导体工艺设备,该控制方法包括:获取硅片于半导体工艺设备中与药液反应预设时间前后的质量差;根据质量差,获得药液中活性成分的第一损失量以及硅化产物的浓度;判断硅化产物的浓度是否大于或等于阈值;若否,则根据第一损失量调整药液中活性成分的浓度;若是,则按照第一排放量将半导体工艺设备中的部分药液排出,并根据第一排放量和第一损失量调整药液中活性成分的浓度。本申请可以解决当前对硅片处理过程中槽内的药液的有效成分会随着反应的进行不断被消耗所造成的处理过程不稳定的问题。

    循环清洗装置
    9.
    发明公开
    循环清洗装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN114871191A

    公开(公告)日:2022-08-09

    申请号:CN202210536516.2

    申请日:2022-05-17

    摘要: 本发明涉及一种循环清洗装置,包括反应槽和循环泵,其中反应槽具有主槽和副槽,主槽用于容纳待清洗件,主槽具有主槽进液口,副槽具有设置高度高于主槽进液口的副槽出液口,副槽出液口连通主槽进液口;循环泵的一端连接主槽,另一端连接副槽,循环泵配置为能够将主槽内的清洗液抽取至副槽内,直至副槽内的清洗液溢流回至主槽内,以循环清洗待清洗件。使得在该循环过程中,气泡较多地产生于副槽中,从而消除气泡对待清洗件的不利影响。同时,由于主槽容积大于副槽容积,主槽中并不需要流出太多清洗液即可填满副槽,副槽也不需溢流回太多清洗液即可填满主槽,从而可使副槽的容积大大减少,进而缩小了整个循环清洗装置的体积,降低了生产制造成本。

    清洁装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114798569A

    公开(公告)日:2022-07-29

    申请号:CN202210738543.8

    申请日:2022-06-28

    摘要: 本发明涉及一种清洁装置,包括:机体,包括沿第一方向依次设置且相互连通的上料位、清洁位及出料位,上料位用于水平放置硅片,清洁位用于清洁硅片,出料位与扩散炉的进料口对接且用于输出硅片;传动模块,包括传动轴及多组传动单元,传动轴沿第一方向贯穿且可转动地安装于机体,多组传动单元沿第一方向设置于传动轴;输送模块,包括从上料位排布至出料位且同向转动的多组输送单元,输送单元包括沿竖直方向间隔设置于上料位两侧的两个第一输送轴,两个第一输送轴分别可转动地安装于机体,且与传动单元传动连接。两个第一输送轴夹持着硅片可靠且稳定地运动,减少对硅片的损伤,出料位与扩散炉的进料口对接,省去上下料工序,降低了占地空间及成本。