利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

10 条记录 (耗时 0.029 秒)

    对CIGS工艺进行直列式过程控制的方法和装置
    2.
    发明授权
    对CIGS工艺进行直列式过程控制的方法和装置 有权 转让

    公开(公告)号：CN100524838C

    公开(公告)日：2009-08-05

    申请号：CN200580013692.2

    申请日：2005-03-04

    申请人： 索里布罗研究公司

    发明人： L·斯托尔特 ,  J·克斯勒

    IPC分类号： H01L31/04 ,  H01L31/032

    CPC分类号： H01L31/18 ,  C23C14/0623 ,  C23C14/548 ,  C23C14/56 ,  H01L21/02491 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02631 ,  H01L31/0322 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

    摘要： 描述了一种直列式生产装置和方法，所述装置和方法用于控制通过共蒸沉积工艺制造的铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池的成分。沉积条件使得沉积的含有过量铜的总成分转变为最终的CIGS膜的缺乏铜的总成分。具有钼层的基底(21)以恒定速度移动通过CIGS加工室(7)。使用传感器检测基底上的从富含铜的成分至缺乏铜的成分的转变，该传感器检测与所述转变相关的物理参数(如发射率)。在本发明的可替代的优选实施例中，传感器(20)设置为检测沉积层中的元素成分。连接到所述传感器的控制器(17)调节来自蒸发剂源(11，12，13)的流量，以在基底的宽度方向上提供成分和厚度均匀的CIGS层。使用两行蒸发源可调节基底的宽度方向上的CIGS层的元素成分和厚度。

    对CIGS工艺进行直列式过程控制的方法和装置
    4.
    发明授权
    对CIGS工艺进行直列式过程控制的方法和装置 有权

    公开(公告)号：CN101599515B

    公开(公告)日：2013-10-30

    申请号：CN200910150553.4

    申请日：2005-03-04

    申请人： 索里布罗研究公司

    发明人： L·斯托尔特 ,  J·克斯勒

    IPC分类号： H01L31/18

    CPC分类号： H01L31/18 ,  C23C14/0623 ,  C23C14/548 ,  C23C14/56 ,  H01L21/02491 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02631 ,  H01L31/0322 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

    摘要： 描述了一种直列式生产装置和方法，所述装置和方法用于控制通过共蒸沉积工艺制造的铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池的成分。沉积条件使得沉积的含有过量铜的总成分转变为最终的CIGS膜的缺乏铜的总成分。具有钼层的基底(21)以恒定速度移动通过CIGS加工室(7)。使用传感器检测基底上的从富含铜的成分至缺乏铜的成分的转变，该传感器检测与所述转变相关的物理参数(如发射率)。在本发明的可替代的优选实施例中，传感器(20)设置为检测沉积层中的元素成分。连接到所述传感器的控制器(17)调节来自蒸发剂源(11，12，13)的流量，以在基底的宽度方向上提供成分和厚度均匀的CIGS层。使用两行蒸发源可调节基底的宽度方向上的CIGS层的元素成分和厚度。

    蒸发坩埚
    9.
    发明公开
    蒸发坩埚 失效

    公开(公告)号：CN107109627A

    公开(公告)日：2017-08-29

    申请号：CN201580070840.8

    申请日：2015-10-23

    申请人： 索里布罗研究公司 ,  北京铂阳顶荣光伏科技有限公司

    发明人： F·克劳斯 ,  J·马西亚森

    IPC分类号： C23C14/24

    CPC分类号： C23C14/243

    摘要： 本发明涉及一种用于接收蒸发物的设备，以及用于制作这样的设备(1)的方法，其中，该设备(1)包括一个具有一个接收腔(3)的接收件(2)，其中，该设备(1)包括一个具有一个排出口(5)的顶端件(4)，其中，该接收件(2)具有一个用于与该顶端件(4)机械连接的螺纹区段(6)，其中，该顶端件(4)具有一个用于与该接收件(2)机械连接的对应螺纹区段(7)，其中，该接收件(2)由热解的氮化硼构成。